成膜方法技术

本发明专利技术的课题在于提供一种在通过气溶胶沉积法进行的成膜中，能够进行高精度地图案化的成膜的成膜方法。通过将包含成膜材料的原料液气溶胶化，向基材供给气溶胶，将成膜材料成膜于基材上时，基材在被成膜面上具有相对于原料液为疏液性的疏液区域及相对于原料液为亲液性的亲液区域，将疏液区域的宽度设为L，将气溶胶的直径设为D时，满足“D≥L/2”来解决课题。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】成膜方法
本专利技术涉及一种通过气溶胶沉积法进行的成膜方法。
技术介绍
作为薄膜的成膜技术，将包含成膜材料的原料液气溶胶化，通过由载气传送而将所生成的气溶胶供给至基材，使附着于基材的气溶胶中的溶剂气化，由此将成膜材料成膜的技术。该成膜技术也称作气溶胶沉积法。气溶胶沉积法相比喷墨及喷雾涂布等的成膜中的液滴通过非常小的气溶胶进行成膜。因此，根据气溶胶沉积法，能够精密地形成相对于基材的凹凸等的追随性(覆盖性)高且厚度均匀的膜。通过喷墨进行的成膜中，能够在目标位置选择性地滴落液滴。例如，喷墨中，通过根据目标配线图案滴落油墨液滴，能够形成配线图案。相对于此，气溶胶沉积法中，则基本上向基材的整个表面大致均匀地供给气溶胶。即，气溶胶沉积法中，无法对基材上的所希望的位置选择性地进行成膜。相对于此，提出了通过在基材上图案化形成对原料液具有疏液性的疏液区域及对原料液具有亲液性的亲液区域，而通过气溶胶沉积法，在基材的所希望的区域进行成膜，从而形成与配线图案等对应的膜。例如，专利文献1中记载有一种器件制造方法，该方法具备本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种成膜方法，其特征在于，将包含成膜材料的原料液气溶胶化，向基材供给所述气溶胶，将所述成膜材料成膜于所述基材上时，/n所述基材在被成膜面上具有相对于所述原料液为疏液性的疏液区域及相对于所述原料液为亲液性的亲液区域，/n将所述疏液区域的宽度设为L，将所述气溶胶的直径设为D时，满足“D≥L/2”。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171222 JP 2017-2461511.一种成膜方法，其特征在于，将包含成膜材料的原料液气溶胶化，向基材供给所述气溶胶，将所述成膜材料成膜于所述基材上时，
所述基材在被成膜面上具有相对于所述原料液为疏液性的疏液区域及相对于所述原料液为亲液性的亲液区域，
将所述疏液区域的宽度设为L，将所述气溶胶的直径设为D时，满足“D≥L/2”。


2.根据权利要求1所述的成膜方法，其中，
一边使所述基材振动，一边向所述基材供给所述气溶胶。


3.根据权利要求1或2所述的成膜方法，其中，
一边加热所述基材，一边向所述基材供给所述气溶胶。


4.根据权利要求3所述的成膜方法，其中，
将所述基材加热至所述基材的表面温度达到100℃以上。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：长谷川昌孝，金沢勇人，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP