宽带付立叶变换测微技术制造技术

本发明专利技术涉及激光衍射测量细微物体和图形尺寸的方法．采用宽带付立叶变换镜头研制的激光测微仪可以测量２～２００ｕｍ的微小尺寸．本发明专利技术根据付立叶镜头的设计要求，为使一般镜头用作副变镜头，提出使镜片按要求弯曲的办法，产生一定的球差来抵消衍射中的非线性偏差．用此方法可作出宽带付立叶变换镜头．用此镜头作成的专用激光测微仪，采用了标准光珊校准的方法，可以对２～２００ｕｍ的物体进行绝对测量，并采用副瓣对管法可进行动态测量，在２～２００ｕｍ之间的测量范围内能分辨出０．１％的直径变化．（*该技术在2005年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用激衍射法测量微小物体直径的装置，其特征在于具有宽带付立叶变换测微镜头和用来进行动态测量而在ｓｉｎ↑〔２〕ｃ函数各级付瓣中心所设置的ＰＩＮ光电二极管。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：马华锦，
申请(专利权)人：西北电讯工程学院，
类型：发明
国别省市：87[中国|西安]