【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学测量仪器，具体来说，涉及双向条纹计数式双光束干涉仪系统，它可利用任何激光光源来进行精密长度测量，应用于此的激光光束是充分相干的，而输入的激光束为任意的偏振方向。双向电子计数所要求的两个有90°相位差的电信号，是由该干涉仪两输出端的光电探测器得到的。为分束器的涂层而设计的金属薄膜，能够引入垂直和平行的两个偏振分量所需要的严格为90°的相位差。电子对准和控制是由用以连续监控输出端所产生的信号的系统来完成的。该系统将校正值反馈给信号放大系统，以保持输出有准确的90°相位差、相等的幅值和直流偏值为零。这些干涉仪采用的技术，要求减少光学对准量，而且所有的电子调整都受电子系统自动控制。这些仪器的制造成本低，且易于用在实际中，并在测量光程变化中易于达到亚毫微米的分辨率。受到早在1960年研制的，具有高度准直和窄带宽光束的633nm氦氖激光器的促进，干涉测长成了最广泛采用的精密测量技术之一。它可被用来测量长度的范围，从小于1微米到几十米的距离。对于最高精度(接近1×10-9)的测量来说，激光光源必须是稳频的，并且要通过与参考激光器比较进行校准，而测量应用的...
【技术保护点】
一种光学测量仪器，由包括分束器装置在内的干涉仪装置组成，该分束器装置带有部分反射的金属膜，适于在光束的透射分量和反射分量之间产生相位差。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：MJ唐斯，
申请(专利权)人：英国技术集团有限公司，
类型：发明
国别省市：GB[英国]
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