激光粒度仪专用标准粒子样板制备方法技术

本发明专利技术是一种新颖的激光粒度仪专用标准粒子版制备方法，光路设计独特，用高分辨率激光束直接扫描照相底版，采用计算机控制整个系统，既有效地利用激光的高单色、高亮度特性，消除成象色差、缩短曝光时间；又克服激光散斑效应和普通扫描成象光路中的色差、象差、畸变，可高保真地摄制大量随机分布微小物体。本发明专利技术成象精度好，自动化程度高，制作工艺简单，生产周期短，投资少，可广泛应用于各种高精度微象摄影制版领域。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属激光微粒尺寸测量
，是一种激光粒度仪专用的标准粒子样板制备方法。用激光Fraunhofer衍射原理测量微小粒子群体尺寸分布是国际上近年来迅速发展起来的一门新技术。使用该方法可以快速，精确地对大量微粒群体的尺寸分布(从几微米到几百微米)进行实时，非接触测量。该技术已在航空、航海、化工、医药、轻工、建材等国民经济很多领域获得广泛应用。相应于该测量方法的激光粒度仪市场上已有出售，如英国的MALVERNINSTRUMENTS PARTICLE SIZER。激光粒度仪在使用前必须定标，这是由于该仪器集光学、电子技术、计算机等高精技术为一体，其中任何一个环节调节不当均可引入一定测量误差。目前，国际上通用的定标方法是用激光粒度仪专用高精度标准粒子样板进行定标。例如美国的E.D.HIRLMAN教授(ARIZONA STATE UNIVERSITY)于1982年用计算机控制大型绘图仪制版，再结合大规模集成电路中光学掩膜技术研制成功一种标准粒子样板，用于激光粒度仪的定标测试。此方法需要计算机控制精密绘图仪和大规模集成电路中光刻掩膜和光学精缩等大型设备，投资昂贵，而且，制作样板周期本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制备激光粒度仪专用的标准粒子样板的方法，使用了激光扫描，物孔成象工艺，采用了新的光路设计，并由微机控制操作过程，其特征在于：（１）用高分辨率激光直接扫描照相底版；（２）在系统光路中设置了消激光相干性装置；（３）照相底版根据粒 子分布的要求在扫描控制装置驱动下作二维移动，使激光成象光束始终处于系统光路中心，以实现激光束对照相底版的二维扫描。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：应萱同，
申请(专利权)人：复旦大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]