一种MEMS镜头驱动器制造技术

本发明专利技术公开了一种MEMS镜头驱动器，包括顶部开口的支撑框架，支撑框架的内部底部的中心部位设有永磁体，支撑框架的内部上部同轴设有镜头支撑架，镜头支撑架和支撑框架之间连接有弹簧，镜头支撑架的上部中心部位设有光学镜头，镜头支撑架的顶面设有驱动线圈组件，驱动线圈组件包括两个横向驱动线圈、两个纵向驱动线圈以及环形驱动线圈，环形驱动线圈沿圆周方向环设于光学镜头外部。本发明专利技术的MEMS镜头驱动器，以电磁驱动作为驱动方式，可实现光学镜头X、Y、Z三轴方向的防抖，可以更好地调整光学镜头位置，实现光学镜头的对焦和收集图像的功能，防抖动响应时间短、成本低廉、驱动电压低、驱动位移大、防抖防摔防震、结构简单、使用方便。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS镜头驱动器
本专利技术涉及一种MEMS镜头驱动器，属于微机电与光学

技术介绍
MEMS(MicroElectro－MechanicalSystem)是指在集成电路工艺基础上发展起来的，集微传感器、微型机构、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件于一体的能完成某种特定功能的机械装置或系统。目前，MEMS技术因其具有微型化、集成化、多样化、智能化等特点，已广泛应用于航空航天、汽车工业、生物医疗、通信等领域，并正逐步向更小型化发展。微驱动器(MicroActuator)是MEMS的核心部件，是一种可实现输出诸如力、力矩、位移等物理量的微器件，其可根据控制信号，将光、电、热等多种形式的能量转化为机械能输出。现阶段，微驱动器按能量转换形式可分为电热驱动、电磁驱动、压电驱动、形状记忆合金驱动等形式。MEMS目前被广泛应用于智能手机、照相机、扫描镜等具有成像功能的设备中，对于成像设备而言，镜头稳定对成像效果具有重要影响，因此，通常采用一定的手段使镜头具有较好的防抖功能。中国专利“CN201920281755.1一种光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS镜头驱动器，其特征在于：包括顶部开口的支撑框架，所述支撑框架的内部底部的中心部位设有永磁体，所述支撑框架的内部上部同轴设有镜头支撑架，所述镜头支撑架和支撑框架之间连接有弹簧，所述镜头支撑架的上部中心部位设有光学镜头，所述镜头支撑架的顶面设有可通入正向电流或反向电流的驱动线圈组件，所述驱动线圈组件包括两个对称分布的横向驱动线圈、两个对称分布的纵向驱动线圈以及位于横向驱动线圈和纵向驱动线圈的中间的环形驱动线圈，所述环形驱动线圈沿圆周方向环设于光学镜头外部。/n

【技术特征摘要】
1.一种MEMS镜头驱动器，其特征在于：包括顶部开口的支撑框架，所述支撑框架的内部底部的中心部位设有永磁体，所述支撑框架的内部上部同轴设有镜头支撑架，所述镜头支撑架和支撑框架之间连接有弹簧，所述镜头支撑架的上部中心部位设有光学镜头，所述镜头支撑架的顶面设有可通入正向电流或反向电流的驱动线圈组件，所述驱动线圈组件包括两个对称分布的横向驱动线圈、两个对称分布的纵向驱动线圈以及位于横向驱动线圈和纵向驱动线圈的中间的环形驱动线圈，所述环形驱动线圈沿圆周方向环设于光学镜头外部。


2.根据权利要求1所述的MEMS镜头驱动器，其特征在于：所述支撑框架、永磁体、镜头支撑架、光学镜头、环形驱动线圈的中心...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓伟，苗晓丹，高翔，
申请(专利权)人：上海工程技术大学，
类型：发明
国别省市：上海;31