电介质阻挡放电离子化检测器制造技术

本发明专利技术公开了一种BID，具备：放电部，具有由电介质构成的电介质管，在电介质管的外壁安装有一对电极，一对电极在沿电介质管的管轴的方向上相互隔开间隔地配置，从电介质管的第1端导入等离子体生成气体，在电介质管的内部产生电介质阻挡放电并生成等离子体；检测部，具有用于导入试样气体的试样气体导入部以及用于收集离子的收集电极，利用从放电部中生成的等离子体发出的光使试样气体中的成分离子化，并通过收集电极收集生成的离子来进行检测；电压施加部，在一对电极间产生电位差，电压施加部具备交流电源及电路部，电路部构成为连接至交流电源，使一对电极各自的电位变动，以使一对电极间的电位差周期性地达到规定的最大电位差。

【技术实现步骤摘要】
电介质阻挡放电离子化检测器
本专利技术涉及电介质阻挡放电离子化检测器。
技术介绍
作为气相色谱仪用的检测器，利用了由电介质阻挡放电等离子体实现的离子化的电介质阻挡放电离子化检测器(DielectricBarrierDischargeIonizationDetector；以下称BID)已经投入实际使用(参照专利文献1)。BID通过利用电极表面被电介质覆盖的电介质阻挡放电，生成如利用金属电极的情况那样的热电子以及二次电子等的放出较少的、或者由于低频高压电源使中性气体温度非常低(几乎不发热)的非平衡等离子体，从而能够抑制由于内壁材料的加热而产生的杂质气体，形成稳定性高的放电状态，实现高SN比。专利文献1中公开的BID大致由放电部与设置在其下方的电荷收集部构成。在放电部中，通过将低频的交流高电压施加至与由石英玻璃等电介质构成的管(电介质管)围绕相接的高压电极以及接地电极之间，使被供给至电介质管的管路内的惰性气体电离从而形成大气压非平衡等离子体。而且，通过从该等离子体发出的光(真空紫外光)或激发物等的作用，使被导入至电荷收集部内的试样气体中的试样本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电介质阻挡放电离子化检测器，其特征在于，具备：/n放电部，具有电介质管，在所述电介质管的外壁安装有一对电极，所述一对电极在沿所述电介质管的管轴的方向上相互隔开间隔地配置，从所述电介质管的第1端导入等离子体生成气体，在所述电介质管的内部产生电介质阻挡放电并生成等离子体；/n检测部，具有用于导入试样气体的试样气体导入部以及用于收集离子的收集电极，利用从所述放电部中生成的等离子体发出的光，使所述试样气体中的成分离子化，通过所述收集电极收集生成的离子从而进行检测；/n电压施加部，在所述一对电极之间产生电位差，/n所述电压施加部具备交流电源以及电路部，所述电路部构成为连接至所述交流电源，使所述一...

【技术特征摘要】
20190123 JP 2019-0092041.一种电介质阻挡放电离子化检测器，其特征在于，具备：
放电部，具有电介质管，在所述电介质管的外壁安装有一对电极，所述一对电极在沿所述电介质管的管轴的方向上相互隔开间隔地配置，从所述电介质管的第1端导入等离子体生成气体，在所述电介质管的内部产生电介质阻挡放电并生成等离子体；
检测部，具有用于导入试样气体的试样气体导入部以及用于收集离子的收集电极，利用从所述放电部中生成的等离子体发出的光，使所述试样气体中的成分离子化，通过所述收集电极收集生成的离子从而进行检测；
电压施加部，在所述一对电极之间产生电位差，
所述电压施加部具备交流电源以及电路部，所述电路部构成为连接至所述交流电源，使所述一对电极各自的电位变动，以使所述一对电极之间的电位差周期性地达到规定的最大电位差。


2.如权利要求1所述的电介质阻挡放电离子化检测器，其特征在于，
所述电压施加部相对于所述一对电极分别施加相位相互反转的电位。


3.如权利要求2所述的电介质阻...

【专利技术属性】
技术研发人员：品田恵，北野胜久，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，国立大学法人大阪大学，
类型：发明
国别省市：日本;JP