薄膜厚度的测量方法和设备技术

技术编号:2507890 阅读:266 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
运动的卷筒材料或片的非接触式厚度或纸的厚度测量技术采用包括第1传感器头和第2传感器头的传感器装置,两传感器头互相分离以便限定运动的卷筒材料通过的路径。传感器装置将激光产生的多点图案投射到运动卷筒材料的上表面上。图案的图案识别算法分析确定运动卷筒材料的取向、如倾斜度。该装置还测定薄膜的倾斜度、在第1传感器头和第1卷筒材料表面之间的距离、在第2传感器头和第2卷筒材料表面之间的距离和两个传感器头之间的距离以便提供高精度的运动卷筒材料在线厚度测量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般涉及用于非接触式厚度或纸的厚度(caliper)的测量, 和特别是涉及一种装置,它投射激光产生的多点图案,到沿着垂直间 隔的两个传感器头之间的路径运动的薄膜上表面上。该装置测量薄膜 的倾斜度、在上传感器头和薄膜上表面之间的距离、在下传感器头和 薄膜下表面之间的距离、和两个传感器头之间的距离以便测定移动巻 筒材料的厚度。
技术介绍
现有很多方法来测量运动巻筒材料(web)或薄片,如纸的厚度。 两种最通用的技术包括使用接触的滑道或滑轨直接测量厚度,它们沿 着巻筒材料的两个表面轻轻地滑过,和非接触式的推理方法,应用巻 筒材料的辐射吸收来测定巻筒材料单位面积的重量然后推理出厚度, 只要已知有足够精度的该材料的密度。现有这些方法的许多变型和改 进,但是每种技术有很多潜在的缺点。接触方法有3个基本的问题。第1,要测量材料的强度可能限制该 方法。例如,对薄纸这样易碎的片,接触的轨道有可能在片的表面上 磨出偏差,在片上造成伤痕或最终造成片的撕裂。第2,片本身可能伤 害纸厚度传感器,由于在接触元件上的磨损或者由于在片断裂时引起 的实质损害。对横过该片的纸厚度传感器,当传感器跨过该片的边本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种系统,用于测量有第1表面(26)和第2表面(28)的卷筒材料厚度,它包括:(a)设置在卷筒材料(18)第1表面(26)附近的第1传感器头(10),其中第1传感器头(10)包括(i)投射图案(13)到卷筒材料(18)第一表面(26)上的机构和(ii)检测所投射图案的图像(14)和将该图像(14)转换成与电子图像(16)相对应的电信号的机构;(b)分析该电子图像(50)以便测定第1传感器头(10)与卷筒材料(18)第1表面(26)上所选位置之间距离的机构;(c)设置在卷筒材料(18)第2表面(28)附近的第2传感器头(20),其中第2传感器头(20)包括测量从第2传感器头(20)到第2表面(2...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:TW贾辛斯基FM哈兰
申请(专利权)人:霍尼韦尔国际公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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