一种用于掩膜板的精准定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及掩膜板的定位技术领域，具体是一种用于掩膜板的精准定位装置，用于解决现有技术中掩膜板与放置框之间放置不精准的问题。本实用新型专利技术包括机架、CCD相机和传送机构，所述传送机构的顶面放置有载板，所述载板的顶面放置有多个放置框，所述放置框内放置有多个硅片，所述载板的顶面还开有多个定位孔；还包括型材架子，所述型材架子的顶面安装有DD马达，所述型材架子的下部均匀的安装有多个吸盘，所述吸盘的下端吸附有掩膜板，所述型材架子上还安装有与定位孔对应的定位装置。本实用新型专利技术通过DD马达的位置参数将掩膜板补偿到达理想位置，通过定位装置与定位孔的配合可以使掩膜板精准的定位在放置框上。

【技术实现步骤摘要】
一种用于掩膜板的精准定位装置
本技术涉及掩膜板的定位
，更具体的是涉及一种用于掩膜板的精准定位装置。
技术介绍
随着社会的不断发展与科技的不断进步，机械化、智能化生产已经逐渐成为工业发展趋势。在过去，中国制造业的蓬勃发展依靠了大量廉价劳动力，然而时过境迁，随着近年来新增劳动人口减少，人们生活水平不断提高，劳动力不再是廉价资源，一工难求已变得越来越普遍，为了满足生产的需求，智能化生产逐渐被企业所倾向。而机械智能化的发展与完善将工业生产引向一个工业革命的新时代，通过智能控制系统，真正达到大工业生产及减轻劳动强度，提高劳动效率，使得工业生产水平迈向了一个新的台阶。其中，光伏电池在PECVD和CAT-CVD设备镀膜前，需要将硅片放置在载板上的放置框内，然后在硅片上面放置掩膜板，随后一同进入镀膜的真空环境中下沉积特定功能的薄膜，但是目前由于掩膜板放置不精准导致硅片碎片和电池片因为绕镀而导致电性能不良的现象较多。现有技术中，为了解决掩膜板放置不准确的问题，发现有掩膜板放置不准确时就需要立即停下设备进行手动将掩膜板放置规整，但是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于掩膜板的精准定位装置，其特征在于：包括机架(7)，所述机架(7)的上部安装有多个CCD相机(8)，下部安装有传送机构(1)，所述传送机构(1)的顶面放置有载板(2)，所述载板(2)的顶面放置有多个放置框(3)，所述放置框(3)内放置有多个硅片(4)，所述载板(2)的顶面还开有多个定位孔(31)；/n还包括型材架子(5)，所述型材架子(5)的顶面安装有DD马达(6)，所述型材架子(5)的下部均匀的安装有多个吸盘(15)，所述吸盘(15)的下端吸附有掩膜板(16)，所述型材架子(5)上还安装有与定位孔(31)对应的定位装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于掩膜板的精准定位装置，其特征在于：包括机架(7)，所述机架(7)的上部安装有多个CCD相机(8)，下部安装有传送机构(1)，所述传送机构(1)的顶面放置有载板(2)，所述载板(2)的顶面放置有多个放置框(3)，所述放置框(3)内放置有多个硅片(4)，所述载板(2)的顶面还开有多个定位孔(31)；
还包括型材架子(5)，所述型材架子(5)的顶面安装有DD马达(6)，所述型材架子(5)的下部均匀的安装有多个吸盘(15)，所述吸盘(15)的下端吸附有掩膜板(16)，所述型材架子(5)上还安装有与定位孔(31)对应的定位装置。


2.根据权利要求1所述的一种用于掩膜板的精准定位装置，其特征在于：所述定位装置包括距离传感器(9)、定位销(14)和下压锤(13)，所述距离传感器(9)安装在吸盘(15)的上端，所述型材架子(5)上安装有第一气缸(10)和第二气缸(11)，所述定位销(14)安装在第一气缸(10)的活塞上且穿过掩膜板(16)，所述定位销(14)可进入定位孔(31)内，所述下压锤(13)安装在第二气缸(11)的活塞上且与掩膜板(16)的顶面接触，所述掩膜板(16)的底面安装有定位柄(12)，所述定位柄(12)的中心线与下压锤(13)的中心线在同一竖直线上。


3.根据权利要求2所述的一种用于掩膜板的精准定位装置，其特征在于：所述定位销(14)包括相互成型为一体的连接段(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：李健，张智富，
申请(专利权)人：中威新能源成都有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51