动态量测干涉信号解析的方法技术

一种动态量测干涉信号解析的方法，适用于量测待测物的动态特性，此动态量测干涉信号解析的方法包括下列步骤：当待测物振动时，撷取动态干涉信号；对动态干涉信号进行反褶积运算，以求得还原动态干涉信号。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于 一 种干涉信号解析的方法，且特别是有关于 一 种。
技术介绍
传统的光干涉表面形貌显微量测仪，以测量微结 构表面三轴向起起伏的尺寸为主，多属静态量测，应 用领域相当广泛，包含晶圆的表面粗糙度和平面度的 量测、激光标记深度的量测、覆晶制程中金球凸块的 尺寸和共面度的量测、液晶平面显示器中新式彩色滤光片上间隔柱(spacer)尺寸和高度的量测、光纤端 面和微光学元件表面形貌的量测等等。近几年开始， 陆续有人将动态量测的功能附加上去，更拓展这类量 测仪的应用领域，至涵盖微机械和微光机电产业里， 功能元件和薄膜等动态行为的观察和测量。图1为已知的 一 种静态量测机构的结构示意图， 而其乃利用白光垂直干涉条纹量测静态的待测物表面轮廓，相关的说明请参阅中国台湾第1 2 3 7 6 8 5号 专利。请参考图1 ，已知的静态量测机构1 0 0包括 光源产生器1 1 0 、分光器1 2 0 、干涉镜组1 3 0 、 成像单元1 4 0以及位移器1 5 0 ，而此静态量测机 构1 0 0是用于量测待测物5 0于静态时的表面轮 廓。承接上述，光源产生器l 1 0产生的光束1 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种动态干涉信号解析的方法，适用于量测一待测物的动态特性与动态时的表面轮廓，其特征在于，该动态干涉信号解析的方法包括：该待测物振动时，撷取一动态干涉信号；对该动态干涉信号进行一反褶积运算，以求得一还原动态干涉信号。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈亮嘉，张中柱，黄耀庭，陈金亮，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]