物体表面检测装置、硅片检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供一种物体表面检测装置，所述装置包括：光源和图像采集装置；其中，所述光源，设置于所述目标物体的一侧，用于提供能够照射至所述目标物体的两个相对待测表面的光束；其中，照射至所述目标物体的第一待测面的第一光束的光色与照射至所述目标物体的第二待测面的第二光束的光色不同；所述图像采集装置，设置于所述目标物体的另一侧，用于采集基于所述光束照射至所述目标物体的所述第一待测面和所述第二待测面后反射所形成的图像。本发明专利技术实施例还提供一种硅片检测装置及基于所述物体表面检测装置的检测方法。

【技术实现步骤摘要】
物体表面检测装置、硅片检测装置及方法
本专利技术属于光电测量领域，具体地涉及一种物体表面检测装置、硅片检测装置及方法。
技术介绍
光伏产业近几年发展迅速，为了提高生产效率及生产质量，对例如太阳能硅片的检测要求越来越严格，硅片的外观品质将直接影响到太阳能电池片的制作及转化效率，影响外观品质的因素包括硅片的外形尺寸、隐裂、崩边、脏污等。然而在进行检测过程中，如何减少来自多个方向照射的光线之间的相互干扰，成为亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的主要目的在于提供一种物体表面检测装置、硅片检测装置及方法，以实现减少来自多个方向照射至目标物体的表面的光线之间的相互干扰，提高物体表面检测的精度。为达到上述目的，本专利技术实施例的技术方案是这样实现的：本专利技术实施例提供了一种物体表面检测装置，所述装置包括：光源和图像采集装置；其中，所述光源，设置于所述目标物体的一侧，用于提供能够照射至所述目标物体的两个相对待测表面的光束；其中，照射至所述目标物体的第一待测面的第一光束的光色与照射至所述目标物体的第二待测面的第二光束的光色不同；所述图像采集装置，设置于所述目标物体的另一侧，用于采集基于所述光束照射至所述目标物体的所述第一待测面和所述第二待测面后反射所形成的图像。上述方案中，所述装置还包括第一滤光元件；所述第一滤光元件，设置于所述第一待测面所在一侧，用于过滤照射向所述第一待测面上的、与所述第二光束的光色相同的光线。上述方案中，所述光源包括第一光源和第二光源；其中，所述第一光源，设置于所述目标物体的所述第一待测面所在一侧，用于发射照射至所述第一待测面的第一光束；所述第二光源，设置于所述目标物体的所述第二待测面所在一侧，用于发射照射至所述第二待测面的第二光束；其中，所述第一光源发射的第一光束和所述第二光源发射的所述第二光束的光色不同。上述方案中，所述第一滤光元件设置于所述第一光源和所述第一待测面之间，所述装置还包括第二滤光元件；所述第二滤光元件，设置于所述第二光源与所述第二待测面之间，用于过滤照射向所述第二待测面上的、与所述第一光束的光色相同的光线。上述方案中，所述装置还包括至少一分光元件，所述至少一分光元件设置于所述光源与所述目标物体之间，用于对所述光源提供的照射至所述目标物体的对应待测表面的光束进行分光，所述分光元件上设置有用于过滤照射向所述对应待测表面上的指定颜色的光线的滤光膜，所述指定颜色与照射向对侧的待测表面的光束的光色相同。上述方案中，所述分光元件包括第一分光元件和第二分光元件，所述第一分光元件设置于所述第一待测面所在一侧，所述第二分光元件设置于所述第二待测面所在一侧，所述第一分光元件用于对照射至所述第一待测面的所述第一光束进行分光，所述第二分光元件用于对照射至所述第二待测面的所述第二光束进行分光；所述第一分光元件上设有用于过滤照射向所述第一待测面上的、与所述第二光束的光色相同的光线的第一滤光膜，所述第二分光元件上设有用于过滤照射向所述第二待测面上的、与所述第一光束的光色相同的光线的第二滤光膜。上述方案中，所述光源包括设置于目标物体的第一待测面所在一侧的单一光源，所述装置还包括表面设置有滤光层的反射元件；所述单一光源，用于发射第一光束，所述反射元件设置于所述目标物体的所述第二待测面所在一侧，所述反射元件用于对所述光源发射的第一光束中的一部分进行滤光并反射，形成照射向所述第二待测面的第二光束。上述方案中，所述装置还包括设置有滤光层的透光元件；所述透光元件设置于所述目标物体的所述第一待测面所在一侧，所述透光元件用于对所述光源发射的第一光束中的另一部分进行滤光后，照射向所述第一待测面；其中，所述反射元件的滤光层所能过滤的光线的光色与所述透射元件的滤光层所能过滤的光线的光色不同。本专利技术实施例还提供了一种硅片检测装置，包括上述所述的物体表面检测装置，所述目标物体为待检测硅片。本专利技术实施例还提供了一种基于上述装置的方法，所述方法包括：控制所述图像采集装置按照预设时间间隔采集所述第一待测面的图像和所述第二待测面的图像；基于所述图像进行分析，确定所述目标物体的表面是否存在瑕疵。本专利技术实施例提供的一种物体表面检测装置、硅片检测装置及方法，该装置包括：光源和图像采集装置；其中，所述光源，设置于所述目标物体的一侧，用于提供能够照射至所述目标物体的两个相对待测表面的光束；其中，照射至所述目标物体的第一待测面的第一光束的光色与照射至所述目标物体的第二待测面的第二光束的光色不同；所述图像采集装置，设置于所述目标物体的另一侧，用于采集基于所述光束照射至所述目标物体的所述第一待测面和所述第二待测面后反射所形成的图像。如此，照射向第一待测面的第一光束可能部分透过而照射至第二待测面上时，由于照射至第二待测面上的第一光束与直接照射向第二待测面上的第二光束的光色不同，可以减少第二待测面上接收到的第一光束对第二光束的干扰，确保第二待测面基于第二光束的照射成像更加清晰；相应地，照射向第二待测面的第二光束可能部分透过而照射至第一待测面上，由于照射至第一待测面上的第二光束与直接照射向第一待测面上的第一光束的光色不同，可以减少第一待测面上接收到的第二光束对第一光束的干扰，确保第一待测面基于第一光束的照射成像更加清晰。也就是说，通过将照射至第一待测面的第一光束的光色与照射至第二待测面的第二光束的光色不同，能够在一定程度上减少两个光束照射至目标物体的相对两个待测表面之间存在的光的干扰现象。进一步地，图像采集装置由于可以采集到不同光色下的第一待测面和第二待测面的图像信息，减少了在同一种光色下对第一待测面和第二待测面的图像进行采集时，由于相对待测表面所接收到的光线之间的相互干扰造成的图像不清晰的现象，因此，可以使物体表面检测装置中得到的目标物体的表面的图像信息更加清晰，最终使得对目标物体的表面是否存在瑕疵的检测结果也更加精准。附图说明图1为本专利技术一实施例所提供的物体表面检测装置的组成结构示意图；图2为本专利技术另一实施例所提供的物体表面检测装置的组成结构示意图；图3为专利技术又一实施例所提供的物体表面检测装置的组成结构示意图；图4为本专利技术一实施例所提供的物体表面检测方法流程示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术作进一步地详细描述，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。图1为本专利技术一实施例所提供的物体表面检测装置的组成结果示意图，如图1所示，所述装置包括：光源10和图像采集装置11；其中，光源10，设置于目标物体12的一侧，用于提供能够照射至目标物体12的两个相对待测表面的光束；其中，照射至目标物体12的第一待测面121的第一光束的光色与照射至目标物体12的第二待测面122的第二光束的光色不本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物体表面检测装置，其特征在于，所述装置包括：光源和图像采集装置；其中，/n所述光源，设置于所述目标物体的一侧，用于提供能够照射至所述目标物体的两个相对待测表面的光束；其中，照射至所述目标物体的第一待测面的第一光束的光色与照射至所述目标物体的第二待测面的第二光束的光色不同；/n所述图像采集装置，设置于所述目标物体的另一侧，用于采集基于所述光束照射至所述目标物体的所述第一待测面和所述第二待测面后反射所形成的图像。/n

【技术特征摘要】
1.一种物体表面检测装置，其特征在于，所述装置包括：光源和图像采集装置；其中，
所述光源，设置于所述目标物体的一侧，用于提供能够照射至所述目标物体的两个相对待测表面的光束；其中，照射至所述目标物体的第一待测面的第一光束的光色与照射至所述目标物体的第二待测面的第二光束的光色不同；
所述图像采集装置，设置于所述目标物体的另一侧，用于采集基于所述光束照射至所述目标物体的所述第一待测面和所述第二待测面后反射所形成的图像。


2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括第一滤光元件；
所述第一滤光元件，设置于所述第一待测面所在一侧，用于过滤照射向所述第一待测面上的、与所述第二光束的光色相同的光线。


3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述光源包括第一光源和第二光源；其中，
所述第一光源，设置于所述目标物体的所述第一待测面所在一侧，用于发射照射至所述第一待测面的第一光束；
所述第二光源，设置于所述目标物体的所述第二待测面所在一侧，用于发射照射至所述第二待测面的第二光束；其中，所述第一光源发射的所述第一光束和所述第二光源发射的所述第二光束的光色不同。


4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述第一滤光元件设置于所述第一光源与所述第一待测面之间，所述装置还包括第二滤光元件；
所述第二滤光元件，设置于所述第二光源与所述第二待测面之间，用于过滤照射向所述第二待测面上的、与所述第一光束的光色相同的光线。


5.根据权利要求1所述装置，其特征在于，所述装置还包括至少一分光元件，所述至少一分光元件设置于所述光源与所述目标物体之间，用于对所述光源提供的照射至所述目标物体的对应待测表面的光束进行分光，所述分光元件上设置有用于过滤照射向所述对应待测表面上的指定颜色的光线的滤光膜，所述指定颜色与照射向对侧的待测表面的光束的...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪晓波，
申请(专利权)人：长沙青波光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南;43