数字散斑干涉系统的测量精度确定方法及装置制造方法及图纸

本公开涉及一种数字散斑干涉系统的测量精度确定方法及装置。所述方法包括：采用激光双频干涉仪监控物面绕偏摆轴执行多次偏摆，其中，所述物面绕所述偏摆轴每次偏摆的角度为第一预设角度；采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变；根据所述第一预设角度和所述目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变，确定所述数字散斑干涉系统的面外形变测量精度。本公开可以实现对数字散斑干涉系统的面外形变测量的精度评价，进而可以在面外形变测量时有效实现对数字散斑干涉系统的标定和校准。

【技术实现步骤摘要】
数字散斑干涉系统的测量精度确定方法及装置
本公开涉及全场光测量
，尤其涉及一种数字散斑干涉系统的测量精度确定方法及装置。
技术介绍
数字散斑干涉技术是一种能够测量微小变形和应变的全场光学测试技术，广泛应用于航空航天、精密仪器检测等领域，但目前其测量精度无法标定和评估。对数字散斑干涉系统进行校准和标定将更有利于数字散斑干涉技术的应用。因此，亟需一种标定和确定数字散斑干涉系统的测量精度的方法。
技术实现思路
有鉴于此，本公开提出了一种数字散斑干涉系统的测量精度标定和评定方法及装置。根据本公开的一方面，提供了一种数字散斑干涉系统的测量精度确定方法，包括：采用激光双频干涉仪监控物面绕偏摆轴执行多次偏摆，其中，所述物面绕所述偏摆轴每次偏摆的角度为第一预设角度；采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变；根据所述第一预设角度和所述目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变，确定所述数字散斑干涉系统的面外形变测量精度。在一种可能的实现方式中，所述根据所述第一预设角度和所述目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变，确定所述数字散斑干涉系统的面外形变测量精度，包括：根据所述第一预设角度，确定所述目标观测点对应的第二面外形变；根据所述第二面外形变和所述目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变之间的差异，确定所述数字散斑干涉系统的面外形变测量精度。在一种可能的实现方式中，所述根据所述第一预设角度，确定所述目标观测点对应的第二面外形变，包括：通过下述公式确定所述第二面外形变：Δω＝Δθ·Δx；其中，Δω为所述第二面外形变，Δθ为所述第一预设角度，Δx为所述目标观测点到所述偏摆轴的距离。在一种可能的实现方式中，所述采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变，包括：针对任一次偏摆，采用所述数字散斑干涉系统确定本次偏摆所引起的物面相位变化；根据所述物面相位变化，确定所述目标观测点本次偏摆对应的第一面外形变。根据本公开的另一方面，提供了一种数字散斑干涉系统的测量精度确定方法，包括：采用激光双频干涉仪监控物面绕滚转轴执行多次滚转，其中，所述物面绕所述滚转轴每次滚转的角度为第二预设角度；采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的第一目标观测点和第二目标观测点每次滚转对应的第一面内形变差；根据所述第二预设角度，以及所述第一目标观测点和所述第二目标观测点每次滚转对应的第一面内形变差，确定所述数字散斑干涉系统的面内形变测量精度。在一种可能的实现方式中，所述根据所述第二预设角度，以及所述第一目标观测点和所述第二观测点每次滚转对应的第一面内形变差，确定所述数字散斑干涉系统的面内形变测量精度，包括：根据所述第二预设角度，确定所述第一目标观测点和所述第二目标观测点对应的第二面内形变差；根据所述第二面内形变差，以及所述第一目标观测点和所述第二目标观测点每次滚转对应的第一面内形变差之间的差异，确定所述数字散斑干涉系统的面内形变测量精度。在一种可能的实现方式中，所述根据所述第二预设角度，确定所述第一目标观测点和所述第二目标观测点对应的第二面内形变差，包括：确定所述第一目标观测点和所述第二目标观测点之间的水平距离；根据所述第二预设角度和所述水平距离的乘积，确定所述第二面内形变差。在一种可能的实现方式中，所述采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的第一目标观测点和第二目标观测点每次滚转对应的第一面内形变差，包括：针对任一次滚转，采用所述数字散斑干涉系统确定本次滚转所引起的物面相位变化；根据所述物面相位变化，确定所述第一目标观测点和所述第二目标观测点本次滚转对应的第一面内形变差。根据本公开的另一方面，提供了一种数字散斑干涉系统的测量精度确定装置，包括：偏摆模块，用于采用激光双频干涉仪监控物面绕偏摆轴执行多次偏摆，其中，所述物面绕所述偏摆轴每次偏摆的角度为第一预设角度；面外形变测量模块，用于采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变；第一确定模块，用于根据所述第一预设角度和所述目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变，确定所述数字散斑干涉系统的面外形变测量精度。根据本公开的另一方面，提供了一种数字散斑干涉系统的测量精度确定装置，包括：滚转模块，用于采用激光双频干涉仪监控物面绕滚转轴执行多次滚转，其中，所述物面绕所述滚转轴每次滚转的角度为第二预设角度；面内形变测量模块，用于采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的第一目标观测点和第二目标观测点每次滚转对应的第一面内形变差；第二确定模块，用于根据所述第二预设角度，以及所述第一目标观测点和所述第二目标观测点每次滚转对应的第一面内形变差，确定所述数字散斑干涉系统的面内形变测量精度。通过采用激光双频干涉仪监控物面绕偏摆轴执行多次偏摆，其中，物面绕偏摆轴每次偏摆的角度为第一预设角度；采用数字散斑干涉系统测量物面中的目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变；根据第一预设角度和目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变，确定数字散斑干涉系统的面外形变测量精度，从而可以实现对数字散斑干涉系统的面外形变测量的精度评价，进而可以在面外形变测量时有效实现对数字散斑干涉系统的标定和校准。通过采用激光双频干涉仪监控物面绕滚转轴执行多次滚转，其中，物面绕滚转轴每次滚转的角度为第二预设角度；采用数字散斑干涉系统测量物面中的第一目标观测点和第二目标观测点每次滚转对应的第一面内形变差；根据第二预设角度，以及第一目标观测点和第二目标观测点每次滚转对应的第一面内形变差，确定数字散斑干涉系统的面内形变测量精度，从而可以实现对数字散斑干涉系统的面内形变测量的精度评价，进而可以在面内形变测量时有效实现对数字散斑干涉系统的标定和校准。根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明，本公开的其它特征及方面将变得清楚。附图说明包含在说明书中并且构成说明书的一部分的附图与说明书一起示出了本公开的示例性实施例、特征和方面，并且用于解释本公开的原理。图1示出本公开实施例的一种数字散斑干涉系统的测量精度确定方法的流程图；图2示出本公开实施例的一种确定数字散斑干涉系统的测量精度的光路示意图；图3示出本公开实施例的一种数字散斑干涉系统的测量精度确定方法的流程图；图4示出本公开实施例的一种确定数字散斑干涉系统的测量精度的光路示意图；图5示出本公开实施例的一种数字散斑干涉系统的测量精度确定装置的框图；图6示出本公开实施例的一种数字散斑干涉系统的测量精度确定装置的框图。具体实施方式以下将参考附图详细说明本公开的各种示例性实施例、特征和方面。附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件。尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图。在这里本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种数字散斑干涉系统的测量精度确定方法，其特征在于，包括：/n采用激光双频干涉仪监控物面绕偏摆轴执行多次偏摆，其中，所述物面绕所述偏摆轴每次偏摆的角度为第一预设角度；/n采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变；/n根据所述第一预设角度和所述目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变，确定所述数字散斑干涉系统的面外形变测量精度。/n

【技术特征摘要】
1.一种数字散斑干涉系统的测量精度确定方法，其特征在于，包括：
采用激光双频干涉仪监控物面绕偏摆轴执行多次偏摆，其中，所述物面绕所述偏摆轴每次偏摆的角度为第一预设角度；
采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变；
根据所述第一预设角度和所述目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变，确定所述数字散斑干涉系统的面外形变测量精度。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一预设角度和所述目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变，确定所述数字散斑干涉系统的面外形变测量精度，包括：
根据所述第一预设角度，确定所述目标观测点对应的第二面外形变；
根据所述第二面外形变和所述目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变之间的差异，确定所述数字散斑干涉系统的面外形变测量精度。


3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一预设角度，确定所述目标观测点对应的第二面外形变，包括：
通过下述公式确定所述第二面外形变：
Δω＝Δθ·Δx；
其中，Δω为所述第二面外形变，Δθ为所述第一预设角度，Δx为所述目标观测点到所述偏摆轴的距离。


4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变，包括：
针对任一次偏摆，采用所述数字散斑干涉系统确定本次偏摆所引起的物面相位变化；
根据所述物面相位变化，确定所述目标观测点本次偏摆对应的第一面外形变。


5.一种数字散斑干涉系统的测量精度确定方法，其特征在于，包括：
采用激光双频干涉仪监控物面绕滚转轴执行多次滚转，其中，所述物面绕所述滚转轴每次滚转的角度为第二预设角度；
采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的第一目标观测点和第二目标观测点每次滚转对应的第一面内形变差，其中，所述第一目标观测点和所述第二目标观测点相对于所述滚转轴对称分布；
根据所述第二预设角度，以及所述第一目标观测点和所述第二目标观测点每次滚转对应的第一面内形变差，确定所述数字散斑干涉系统的面内形变测量精度。


6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述第二预设角度，以及所述第一目标观测点和所述第二目标观测...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴思进，吴凡，李伟仙，
申请(专利权)人：北京信息科技大学，
类型：发明
国别省市：北京;11