水溶液的气体浓度提升装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种水溶液的气体浓度提升装置，包括一浓度提升槽、一气体输入端、一循环管线、一冷却装置及一洒水装置，其中浓度提升槽内具有水溶液，并经由气体输入端将气体输送至浓度提升槽。循环管线将浓度提升槽内的水溶液输送至洒水装置，并以冷却装置降低循环管线输送的水溶液的温度。洒水装置将经过冷却的水溶液以水滴或水柱的状态喷洒在浓度提升槽内，其中水滴或水柱会接触浓度提升槽内的气体，使得气体溶解在水溶液，并落在气体浓度提升槽的底部，通过循环管线及冷却装置多次循环及冷却水溶液，可有效提升水溶液中的气体浓度。

【技术实现步骤摘要】
水溶液的气体浓度提升装置
本专利技术有关于一种水溶液的气体浓度提升装置，可有效高气体溶解在水溶液的效率，并提升水溶液中的气体浓度。
技术介绍
在半导体、发光二极体或液晶等电子工业制品的制程中，经常会使用湿式化学清洗制程来去除基板表面上的微粒子。具体而言可利用一定浓度的气体水溶液或药剂活化硅晶圆及微粒子表面，进而达到洗净目的。一般而言通常会依据气体对水的溶解度，选择适合的装置将气体溶于水中，以形成需要的气体水溶液。具体而言，排水集气法适用于难溶于水的气体，向上排气法适用于易溶于水，且比空气重的气体，而向下排气法则适用于易溶水，比空气轻的气体，然而依据气体的特性分别使用不同的装置及方法，使得气体可顺利溶于水中，有可能会增加采购不同设备需要的成本，亦无法有效提高气体的溶解效率。
技术实现思路
为了解决上述习用构造的问题，本专利技术提出一种新颖的水溶液的气体浓度提升装置，在使用时不需要依据气体的溶解度或比重，选择不同的装置或方法将气体溶于水中，此外亦可增加气体溶于水的效率，并提高水溶液的气体浓度。本专利技术的一目的，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水溶液的气体浓度提升装置，其特征在于，包括：/n一浓度提升槽，包括一容置空间用以容置一气体及一水溶液；/n一气体输入端，连接该浓度提升槽，并将该气体输送至该浓度提升槽的该容置空间内；/n一循环管线，连接该浓度提升槽，并用以输送该浓度提升槽的该容置空间内的该水溶液；/n一帮浦，连接该循环管线；/n一冷却装置，连接该循环管线，并用以降低该循环管线内的该水溶液的温度；及/n一洒水装置，位于该浓度提升槽的该容置空间内，并连接该循环管线，其中该帮浦用以将该浓度提升槽的该容置空间内的该水溶液经由该循环管线输送至该洒水装置，并经由该洒水装置将该水溶液以复数个水滴或复数个水柱的状态喷洒至该浓度提升槽的...

【技术特征摘要】
1.一种水溶液的气体浓度提升装置，其特征在于，包括：
一浓度提升槽，包括一容置空间用以容置一气体及一水溶液；
一气体输入端，连接该浓度提升槽，并将该气体输送至该浓度提升槽的该容置空间内；
一循环管线，连接该浓度提升槽，并用以输送该浓度提升槽的该容置空间内的该水溶液；
一帮浦，连接该循环管线；
一冷却装置，连接该循环管线，并用以降低该循环管线内的该水溶液的温度；及
一洒水装置，位于该浓度提升槽的该容置空间内，并连接该循环管线，其中该帮浦用以将该浓度提升槽的该容置空间内的该水溶液经由该循环管线输送至该洒水装置，并经由该洒水装置将该水溶液以复数个水滴或复数个水柱的状态喷洒至该浓度提升槽的该容置空间内，使得该浓度提升槽内的该气体与该水溶液接触，以提高该水溶液中溶解的该气体的浓度。


2.根据权利要求1所述的水溶液的气体浓度提升装置，其特征在于，该洒水装置为一十字形或一米字形，并于该十字形或该米字形的该洒水装置的表面设置复数个穿孔。


3.根据权利要求1所述的水溶液的气体浓度提升装置，其特征在于，其中该洒水装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：范尚圣，
申请(专利权)人：紫锐集团有限公司，范尚圣，邱创祺，
类型：发明
国别省市：中国香港;81