水溶液的气体浓度提升装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种水溶液的气体浓度提升装置，包括一浓度提升槽、一气体输入端、一循环管线、一冷却装置及一洒水装置，其中浓度提升槽内具有水溶液，并经由气体输入端将气体输送至浓度提升槽。循环管线将浓度提升槽内的水溶液输送至洒水装置，并以冷却装置降低循环管线输送的水溶液的温度。洒水装置将经过冷却的水溶液以水滴或水柱的状态喷洒在浓度提升槽内，其中水滴或水柱会接触浓度提升槽内的气体，使得气体溶解在水溶液，并落在气体浓度提升槽的底部，通过循环管线及冷却装置多次循环及冷却水溶液，可有效提升水溶液中的气体浓度。

【技术实现步骤摘要】
水溶液的气体浓度提升装置
本专利技术有关于一种水溶液的气体浓度提升装置，可有效高气体溶解在水溶液的效率，并提升水溶液中的气体浓度。
技术介绍
在半导体、发光二极体或液晶等电子工业制品的制程中，经常会使用湿式化学清洗制程来去除基板表面上的微粒子。具体而言可利用一定浓度的气体水溶液或药剂活化硅晶圆及微粒子表面，进而达到洗净目的。一般而言通常会依据气体对水的溶解度，选择适合的装置将气体溶于水中，以形成需要的气体水溶液。具体而言，排水集气法适用于难溶于水的气体，向上排气法适用于易溶于水，且比空气重的气体，而向下排气法则适用于易溶水，比空气轻的气体，然而依据气体的特性分别使用不同的装置及方法，使得气体可顺利溶于水中，有可能会增加采购不同设备需要的成本，亦无法有效提高气体的溶解效率。
技术实现思路
为了解决上述习用构造的问题，本专利技术提出一种新颖的水溶液的气体浓度提升装置，在使用时不需要依据气体的溶解度或比重，选择不同的装置或方法将气体溶于水中，此外亦可增加气体溶于水的效率，并提高水溶液的气体浓度。本专利技术的一目的，在于提供一种水溶液的气体浓度提升装置，主要包括一浓度提升槽、一循环管线及一洒水装置，其中循环管线连接浓度提升槽，而洒水装置则位于浓度提升槽内。循环管线将浓度提升槽内的水溶液输送至洒水装置，并通过洒水装置将水溶液以水滴或水柱的方式喷洒，使得水滴或水柱与浓度提升槽内的气体接触，以提高水溶液中的气体浓度。本专利技术的一目的，在于提供一种水溶液的气体浓度提升装置，主要于循环管线上设置一冷却装置，其中冷却装置通过热传导的方式降低循环管线内的水溶液的温度。而后通过洒水装置将低温的水溶液以水滴或水柱的方式喷洒，以利于气体溶解在水溶液中，并提高水溶液的气体浓度。本专利技术的一目的，在于提出一种水溶液的气体浓度提升装置，其中洒水装置连接一转动机构，转动机构用以驱动洒水装置相对于浓度提升槽转动，使得洒水装置喷洒出的水滴或水柱均匀的通过浓度提升槽的各个区域，以利于气体溶解在水溶液中。本专利技术的一目的，在于提供一种水溶液的气体浓度提升装置，包括：一浓度提升槽，包括一容置空间用以容置一气体及一水溶液；一气体输入端，连接浓度提升槽，并将气体输送至浓度提升槽的容置空间内；一循环管线，连接浓度提升槽，并用以输送浓度提升槽的容置空间内的水溶液；一帮浦，连接循环管线；一冷却装置，连接循环管线，并用以降低循环管线内的水溶液的温度；及一洒水装置，位于浓度提升槽的容置空间内，并连接循环管线，其中帮浦用以将浓度提升槽的容置空间内的水溶液经由循环管线输送至洒水装置，并经由洒水装置将水溶液以复数个水滴或复数个水柱的状态喷洒至浓度提升槽的容置空间内，使得浓度提升槽内的气体与水溶液接触，以提高水溶液中溶解的气体的浓度。所述的水溶液的气体浓度提升装置，其中洒水装置为一十字形或一米字形，并于十字形或米字形的洒水装置的表面设置复数个穿孔。所述的水溶液的气体浓度提升装置，其中洒水装置为一柱状，并于柱状的洒水装置的表面设置复数个狭缝，使得水溶液经由狭缝喷洒出片状的水柱。所述的水溶液的气体浓度提升装置，包括一转动机构连接洒水装置，并驱动洒水装置相对于浓度提升槽转动。所述的水溶液的气体浓度提升装置，包括一隔热层包覆浓度提升槽。所述的水溶液的气体浓度提升装置，包括一溶液输出端连接浓度提升槽，并将水溶液输出浓度提升槽。所述的水溶液的气体浓度提升装置，包括一液体输入端连接浓度提升槽，并用以将水溶液输送至浓度提升槽的容置空间内。所述的水溶液的气体浓度提升装置，其中液体输入端连接循环管线或帮浦，并经由循环管线将水溶液输送至浓度提升槽的容置空间内。所述的水溶液的气体浓度提升装置，其中洒水装置位于气体输入端的上方。本专利技术的有益效果是：本专利技术在使用时不需要依据气体的溶解度或比重，选择不同的装置或方法将气体溶于水中，此外亦可增加气体溶于水的效率，并提高水溶液的气体浓度。附图说明图1为本专利技术水溶液的气体浓度提升装置一实施例的构造示意图。图2为本专利技术水溶液的气体浓度提升装置的洒水装置一实施例的构造示意图。图3为本专利技术水溶液的气体浓度提升装置的洒水装置又一实施例的构造示意图。图4为本专利技术水溶液的气体浓度提升装置一实施例的构造示意图。图5为本专利技术水溶液的气体浓度提升装置的洒水装置又一实施例的立体示意图。图6为本专利技术水溶液的气体浓度提升装置的洒水装置又一实施例的构造示意图。附图标记说明：10-气体浓度提升装置；11-浓度提升槽；111-容置空间；12-水溶液；121-水滴；131-气体输入端；133-液体输出端；135-液体输入端；14-气体；15-冷却装置；151-容置槽；153-输入端；155-输出端；16-帮浦；17-循环管线；18-隔热层；19-洒水装置；191-穿孔；193-转动机构；20-气体浓度提升装置；221-水柱；223-重迭区；29-洒水装置；291-狭缝。具体实施方式请参阅图1，为本专利技术水溶液的气体浓度提升装置一实施例的构造示意图。如图所示，水溶液的气体浓度提升装置10包括一浓度提升槽11、一气体输入端131、一冷却装置15、一循环管线17及一洒水装置19，其中气体输入端131及循环管线17流体连接浓度提升槽11。浓度提升槽11可为封闭的中空的槽体，并包括一容置空间111用以容纳气体及/或液体。具体而言，浓度提升槽11内可放置一水溶液12，并通过连接浓度提升槽11的气体输入端131将一气体14输送至浓度提升槽11的容置空间111内，其中有部分的气体14可能会溶于水溶液12。循环管线17流体连接浓度提升槽11，并用以循环浓度提升槽11的容置空间111内的水溶液12。具体而言，循环管线17的两端皆连接浓度提升槽11，例如循环管线17的一端连接浓度提升槽11的底部，而另一端则连接浓度提升槽11的顶部。在本专利技术一实施例中，循环管线17可连接一帮浦16，并通过帮浦16将浓度提升槽11底部的水溶液12经由循环管线17输送至浓度提升槽11的顶部。洒水装置19设置于浓度提升槽11的容置空间111内，并连接循环管线17的一端。在本专利技术一实施例中，洒水装置19的外观类似莲蓬头，并具有复数个穿孔191。帮浦16用以将浓度提升槽11的容置空间111内的水溶液12经由循环管线17输送至洒水装置19，并经由洒水装置19的穿孔191将水溶液12以复数个水滴121或水柱的状态喷洒至浓度提升槽11的容置空间111内。具体而言，洒水装置19可设置在气体输入端131的上方，例如连接浓度提升槽11的顶部，其中洒水装置19喷洒的水滴121会受到重力的作用而往浓度提升槽11的底部落下。水滴121下落的过程中会与下方的气体输入端131输出的气体14接触，其中气体14会溶于水滴121中，使得水滴121中气体14浓度逐渐提高，而后水滴121会汇集在浓度提升槽11的底部。在实际应用时，帮浦16及循环管线17可不断的循环水溶液本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水溶液的气体浓度提升装置，其特征在于，包括：/n一浓度提升槽，包括一容置空间用以容置一气体及一水溶液；/n一气体输入端，连接该浓度提升槽，并将该气体输送至该浓度提升槽的该容置空间内；/n一循环管线，连接该浓度提升槽，并用以输送该浓度提升槽的该容置空间内的该水溶液；/n一帮浦，连接该循环管线；/n一冷却装置，连接该循环管线，并用以降低该循环管线内的该水溶液的温度；及/n一洒水装置，位于该浓度提升槽的该容置空间内，并连接该循环管线，其中该帮浦用以将该浓度提升槽的该容置空间内的该水溶液经由该循环管线输送至该洒水装置，并经由该洒水装置将该水溶液以复数个水滴或复数个水柱的状态喷洒至该浓度提升槽的该容置空间内，使得该浓度提升槽内的该气体与该水溶液接触，以提高该水溶液中溶解的该气体的浓度。/n

【技术特征摘要】
1.一种水溶液的气体浓度提升装置，其特征在于，包括：
一浓度提升槽，包括一容置空间用以容置一气体及一水溶液；
一气体输入端，连接该浓度提升槽，并将该气体输送至该浓度提升槽的该容置空间内；
一循环管线，连接该浓度提升槽，并用以输送该浓度提升槽的该容置空间内的该水溶液；
一帮浦，连接该循环管线；
一冷却装置，连接该循环管线，并用以降低该循环管线内的该水溶液的温度；及
一洒水装置，位于该浓度提升槽的该容置空间内，并连接该循环管线，其中该帮浦用以将该浓度提升槽的该容置空间内的该水溶液经由该循环管线输送至该洒水装置，并经由该洒水装置将该水溶液以复数个水滴或复数个水柱的状态喷洒至该浓度提升槽的该容置空间内，使得该浓度提升槽内的该气体与该水溶液接触，以提高该水溶液中溶解的该气体的浓度。


2.根据权利要求1所述的水溶液的气体浓度提升装置，其特征在于，该洒水装置为一十字形或一米字形，并于该十字形或该米字形的该洒水装置的表面设置复数个穿孔。


3.根据权利要求1所述的水溶液的气体浓度提升装置，其特征在于，其中该洒水装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：范尚圣，
申请(专利权)人：紫锐集团有限公司，范尚圣，邱创祺，
类型：发明
国别省市：中国香港;81