一种多路高精度高压电源制造技术

本发明专利技术公开了一种多路高精度高压电源，属于电子源技术领域，包括至少4路分支电源，分别为第一分高压电源、第二分高压电源、第三分高压电源与低压电源，所述第二分高压电源、所述第三分高压电源与所述低压电源均与所选第一分高压电源连接并悬浮于其上，所述第一分高压电源与所述低压电源分别与微焦点X射线源的灯丝两端连接；所述第二分高压电源、所述第三分高压电源分别与微焦点X射线源的两组电极连接，组成静电透镜。本发明专利技术的各支路电源均可精确控制，从而实现对微焦点X射线源发射出的电子束的精确控制。

【技术实现步骤摘要】
一种多路高精度高压电源
本专利技术涉及电子源
，具体涉及一种多路高精度高压电源。
技术介绍
微焦点X射线源广泛应用于无损检测领域，其发出的X射线穿透被检测样品后在探测器上成像，生成被检测物内部的组织结构，实现对被检测物的缺陷检测等。微焦点X射线源的焦点小，成像分辨率高，可实现对检测物的高清晰成像。一般微焦点X射线源由阴极(灯丝)、电磁透镜组成。目前市面上的用于微焦点X射线源的高压电源多为一路高压电源和一路灯丝电源组成，电子束聚焦通过磁透镜完成。但是对于电子透镜为静电透镜、电子束发射为场发射式、源中心单亮斑的应用场景，并没有对应且方便使用的高压电源。基于静电透镜的微焦点X射线源，一般由灯丝、阴极、第一阳极、第二阳极组成，各极均需要高压或低压供电，且对各路电源稳定度纹波要求高以保证微焦点X射线源的聚焦、亮度等性能。为此，提供一种多路高精度高压电源。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于：为基于静电透镜式场发射式微焦点X射线源提供电源，该电源为多路高精度高压电源，其各支路电源均可精确控制，从而实现对微焦点X本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多路高精度高压电源，其特征在于，包括至少4路分支电源，分别为第一分高压电源、第二分高压电源、第三分高压电源与低压电源，所述第二分高压电源、所述第三分高压电源与所述低压电源均与所选第一分高压电源连接并悬浮于其上；/n所述第一分高压电源用于加速从微焦点X射线源的灯丝发射出的电子，所述第二分高压电源用于与所述第三分高压电源组成静电透镜，所述低压电源用于对微焦点X射线源的灯丝进行热处理；/n所述第一分高压电源与所述低压电源分别与微焦点X射线源的灯丝两端连接；所述第二分高压电源、所述第三分高压电源分别与微焦点X射线源的两组电极连接，组成静电透镜。/n

【技术特征摘要】
1.一种多路高精度高压电源，其特征在于，包括至少4路分支电源，分别为第一分高压电源、第二分高压电源、第三分高压电源与低压电源，所述第二分高压电源、所述第三分高压电源与所述低压电源均与所选第一分高压电源连接并悬浮于其上；
所述第一分高压电源用于加速从微焦点X射线源的灯丝发射出的电子，所述第二分高压电源用于与所述第三分高压电源组成静电透镜，所述低压电源用于对微焦点X射线源的灯丝进行热处理；
所述第一分高压电源与所述低压电源分别与微焦点X射线源的灯丝两端连接；所述第二分高压电源、所述第三分高压电源分别与微焦点X射线源的两组电极连接，组成静电透镜。


2.根据权利要求1所述的一种多路高精度高压电源，其特征在于：所述高精度高压电源还包括一路负高压电源，所述负高压电源与所述第一分高压电源连接并悬浮于其上，用于为微焦点X射线源的压缩极供电。


3.根据权利要求2所述的一种多路高精度高压电源，其特征在于：通过调节所述负高压电源的电压可调节电子束的发射张角。


4.根据权利要求1所述的一种多路高精度高压电源，其特征在于：通过调节所述第二分高压电源的输出电压与所述第三分高压电源的输出电压可实现在第一分高压电源的不同输出电压下对电子束进行静电聚焦。


5.根据权利要求1所述的一种多路高精度高压电...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡贤斌，陈迪志，周自顾，王鹏，李嘉欣，王翠珍，王帅，徐松，刘华荣，李光辉，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第三十八研究所，
类型：发明
国别省市：安徽;34