一种基于赝表面等离激元波导的太赫兹多功能逻辑门器件制造技术

本发明专利技术公开一种基于赝表面等离激元波导的太赫兹多功能逻辑门器件，由具有马赫‑曾德干涉形状的赝表面等离激元波导组成；通过电阻率大于3000Ω的高阻硅制成，采用光刻和深度刻蚀技术在硅基底上得到呈周期排列的长方体结构，并通过蒸镀技术将厚度大于200nm的金覆盖在整个硅结构上；逻辑门器件的结构分为两部分，第一部分为逻辑门提供输入信号，第二部分进行逻辑计算。通过改变金属长方体结构的形状和间距参数，控制赝表面等离激元波导的相位属性，从而调节两路或者两路以上传播的赝表面等离激元波导之间的传播相位；实现与门(AND)、或门(OR)、非门(NOT)、与非门(NAND)、或非门(NOR)、异或门(XOR)和同或门(XNOR)7种不同功能的逻辑门器件。

【技术实现步骤摘要】
一种基于赝表面等离激元波导的太赫兹多功能逻辑门器件
本专利技术属于太赫兹片上集成系统领域，涉及一种用于实现基于赝表面等离激元波导的太赫兹多功能逻辑门器件。
技术介绍
太赫兹(Terahertz,THz)波通常是指频率在0.1THz-10THz(1THz＝1012Hz)波段范围内的电磁波，位于红外和微波之间，是电磁波谱上由电子学向光子学过渡的特殊区域，也是宏观经典理论向微观量子理论的过渡区域。在20世纪80年代中期之前，太赫兹波段两侧的红外和微波技术发展相对成熟，但是人们对太赫兹波段的认识非常有限，究其原因是因为缺乏有效的产生和检测太赫兹波的手段，从而形成了所谓的“太赫兹空隙”。由于太赫兹在电磁波谱中的特殊位置，使其具有很多不同于其他电磁波的特殊性质，其中主要包括：瞬态性、相干性、低能量性、高透射性、吸水性、指纹谱性。由于对太赫兹波段认识的愈发深入，人们开始意识到了太赫兹波段丰富的理化特性所带来的巨大应用价值，这引起了世界范围内对太赫兹波研究的热潮，尤其是在光谱学、成像以及通讯等
因此，对于太赫兹波段功能器件的需求日益升高，如传感器、吸收本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于赝表面等离激元波导的太赫兹多功能逻辑门器件，其特征在于，由具有马赫-曾德干涉形状的赝表面等离激元波导组成；赝表面等离激元波导通过电阻率大于3000Ω的高阻硅制成，采用光刻和深度刻蚀技术在硅基底上得到呈周期排列的长方体结构，并通过蒸镀技术将厚度大于200nm的金覆盖在整个硅结构上；逻辑门器件的结构分为两部分，第一部分为逻辑门提供输入信号，第二部分进行逻辑计算。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于赝表面等离激元波导的太赫兹多功能逻辑门器件，其特征在于，由具有马赫-曾德干涉形状的赝表面等离激元波导组成；赝表面等离激元波导通过电阻率大于3000Ω的高阻硅制成，采用光刻和深度刻蚀技术在硅基底上得到呈周期排列的长方体结构，并通过蒸镀技术将厚度大于200nm的金覆盖在整个硅结构上；逻辑门器件的结构分为两部分，第一部分为逻辑门提供输入信号，第二部分进行逻辑计算。


2.根据权利要求1所述一种基于赝表面等离激元波导的太赫兹多功能逻辑门器件，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖怡，袁明瑞，栗岩锋，谷建强，韩家广，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：天津;12