一种红外激光功率检测装置及其应用制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种红外激光功率检测装置及其应用，属于红外激光器领域，包括：固定连接的镜屋和功率计屋；镜屋呈圆筒状，其第二端中心开设有呈圆台形状的激光入射口；功率计屋呈圆筒状，其内部的功率采样面将其分为两个部分；功率采样面，其底面为圆形，其反射面的圆心处呈半径较小的圆锥体；由镜屋第二端的外端面、反射面以及功率计屋的侧壁包围构成衰减匀化区；功率采样面的圆形底面上内嵌了偶数支沿圆周均匀分布的功率探头，其中一半为采光的功率探头，用于采集含有噪声的激光功率，另一半为不采光功率探头，用于采集温度引起的噪声功率；两类功率探头交错间隔分布，且相邻功率探头之间反串联。本发明专利技术能够提高红外激光器功率的检测速度和精度。

【技术实现步骤摘要】
一种红外激光功率检测装置及其应用
本专利技术属于红外激光器领域，更具体地，涉及一种红外激光功率检测装置。
技术介绍
目前，机械切割在工业加工领域的性能逐渐不能满足现代生产的需求，激光切割以其效率高、加工精度高、人工成本低等优点成为新的加工方式。激光功率是高功率激光器中最主要的参量，激光输出功率对激光加工的质量有着极其重要的影响。对于CO激光器、CO2激光器等5-10微米波段的红外激光功率的高速检测一直没有较好的方案。传统的激光功率检测方法是在光路上设置旋转取样针，将部分光反射到功率探头上去进行功率检测，由于其需要将检测装置安装在高功率激光光路上，对操作人员具有安全风险，而且在光路调整时，需要同时调整功率检测装置的安装位置，否则会影响检测精度，另外，采样针的反射面污染也会影响采样精度。另外一种常用的方法是采用具有微小透过率(如0.3％或0.5％)的反射镜作为激光器尾镜，由于尾镜透射光与输出激光具有固定比例，通过对透射光功率的检测即可知道激光的输出功率，这样千瓦级的激光器的透射功率即可采用检测量程为数瓦或数十瓦的功率探头就可以进行检测，但是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种红外激光功率检测装置，其特征在于，包括：镜屋(13)和功率计屋(14)；/n所述镜屋(13)呈圆筒状，其第一端用于与红外激光器的谐振腔尾端固定连接，其第二端的端面中心开设有呈圆台形状的激光入射口(5)，且所述激光入射口(5)靠近所述镜屋(13)第一端的一面开口半径大于另一面的开口半径；/n所述功率计屋(14)呈圆筒状，其第一端与所述镜屋(13)的第二端固定连接，其内部设置有功率采样面(4)，且所述功率采样面(4)将所述功率计屋(14)分为两个部分；/n所述功率采样面(4)，其底面为圆形且远离所述功率计屋(14)的第一端，其另一面为反射面，所述反射面的圆心处呈半径较小的圆锥体；所述激光入...

【技术特征摘要】
1.一种红外激光功率检测装置，其特征在于，包括：镜屋(13)和功率计屋(14)；
所述镜屋(13)呈圆筒状，其第一端用于与红外激光器的谐振腔尾端固定连接，其第二端的端面中心开设有呈圆台形状的激光入射口(5)，且所述激光入射口(5)靠近所述镜屋(13)第一端的一面开口半径大于另一面的开口半径；
所述功率计屋(14)呈圆筒状，其第一端与所述镜屋(13)的第二端固定连接，其内部设置有功率采样面(4)，且所述功率采样面(4)将所述功率计屋(14)分为两个部分；
所述功率采样面(4)，其底面为圆形且远离所述功率计屋(14)的第一端，其另一面为反射面，所述反射面的圆心处呈半径较小的圆锥体；所述激光入射口(5)、所述功率采样面(4)的圆形底面、所述圆锥体以及红外激光器的谐振腔尾端均同轴设置；由所述镜屋(13)第二端的外端面、所述反射面以及所述功率计屋(14)的侧壁包围构成衰减匀化区(2)；
所述功率采样面(4)的圆形底面上内嵌了偶数支沿圆周均匀分布的功率探头(1)，其中一半为采光的功率探头(7)，另一半为不采光的功率探头(8)；所述采光的功率探头(7)与所述衰减匀化区(2)以小孔相通以采光，用于采集含有噪声的激光功率；所述不采光的功率探头(8)不与所述衰减匀化区(2)连通，用于采集温度引起的噪声功率；两类功率探头交错间隔分布，且相邻功率探头之间反串联从而消除激光功率信号中由环境温度所带来的误差。


2.如权利要求1所述的红外激光功率检测装置，其特征在于，所述功率探头(1)为热电堆红外测温传感器。


3.如权利要求1所述的红外激光功率检测装置，其特征在于，在所述功率采样面(4)的圆形底面上，在功率探头(1)的外周设置有恒温水冷却通道(18)；
所述恒温水冷却通道(18)用于通入恒温水，进行散热。


4.如权利要求1所述的红外激光功率检测装置，其特征在于，所述衰减匀化区(2)的各表面及功率采样面(4)均经...

【专利技术属性】
技术研发人员：李波，方奇，贺昌玉，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：湖北;42