沉积装置、沉积设备及其操作方法制造方法及图纸

本发明专利技术揭露一种用于蒸发材料及用于将所述材料沉积于基板上的沉积装置，所述材料包括碱金属或碱土金属。沉积装置包含：第一腔室，所述第一腔室被配置为用于使材料液化，其中第一腔室包括气体入口，所述气体入口被配置为用于使气体进入第一腔室；蒸发区域，所述蒸发区域被配置为用于使液化的材料蒸发；管线，提供第一腔室与蒸发区域之间的用于液化的材料的流体连通，其中管线包含第一部分，所述第一部分限定管线的流动阻力；阀，所述阀被配置为用于控制第一腔室中的气体的流率而用于控制通过具有所述流动阻力的管线的液化的材料的流率；及一或多个出口，用于将蒸发的材料引向基板。

【技术实现步骤摘要】
沉积装置、沉积设备及其操作方法本申请是申请日为2013年12月06日、申请号为201380081379.7、专利技术名称为“沉积装置、沉积设备及其操作方法”的专利技术专利申请的分案申请。
本公开案的实施方式涉及诸如锂的碱金属或碱土金属的沉积及蒸发。本公开案尤其涉及用于控制蒸发材料的蒸发装置(arrangement)、沉积设备及其操作方法。具体而言，这些实施方式涉及用于蒸发材料及用于将所述材料沉积于基板上的沉积装置，所述材料包括碱金属或碱土金属；用于蒸发材料及用于将所述材料沉积于基板上的沉积设备，所述材料包括碱金属或碱土金属；及蒸发材料的方法，所述材料包括碱金属或碱土金属，尤其是金属锂。
技术介绍
现代的薄膜锂电池通常在真空腔室中制造，其中基板设有数层，包含锂层。举例来说，锂层通过将蒸气状态的锂沉积在基板上而形成。由于锂是高活性的，因此多个考量(measure)需要被解决，以操作及维持此沉积系统。举例来说，在开启真空腔室后，应把暴露至空气环境的氧化蒸气(尤其是水)及与人员的接触减到最少。此外，需要具有高沉积速率及改善的均匀性的蒸发本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于蒸发包括碱金属或碱土金属的材料及用于将所述材料沉积于基板上的沉积装置，包括：/n第一腔室，所述第一腔室被配置为用于使所述材料液化，其中所述第一腔室包括气体入口，所述气体入口被配置为用于使气体进入所述第一腔室中；/n蒸发区域，所述蒸发区域被配置为用于使液化的材料蒸发；/n无阀管线，所述管线提供所述第一腔室与所述蒸发区域之间的用于所述液化的材料的流体连通，其中所述管线包含第一部分，所述第一部分包括阻尼孔并限定所述管线的流动阻力；/n壳，所述壳用于容纳至少所述第一腔室和所述管线以为所述第一腔室和所述管线提供温度受控环境；/n阀，所述阀被配置为用于控制所述第一腔室中的所述气体的流率而用于控...

【技术特征摘要】
1.一种用于蒸发包括碱金属或碱土金属的材料及用于将所述材料沉积于基板上的沉积装置，包括：
第一腔室，所述第一腔室被配置为用于使所述材料液化，其中所述第一腔室包括气体入口，所述气体入口被配置为用于使气体进入所述第一腔室中；
蒸发区域，所述蒸发区域被配置为用于使液化的材料蒸发；
无阀管线，所述管线提供所述第一腔室与所述蒸发区域之间的用于所述液化的材料的流体连通，其中所述管线包含第一部分，所述第一部分包括阻尼孔并限定所述管线的流动阻力；
壳，所述壳用于容纳至少所述第一腔室和所述管线以为所述第一腔室和所述管线提供温度受控环境；
阀，所述阀被配置为用于控制所述第一腔室中的所述气体的流率而用于控制通过具有所述流动阻力的所述管线的所述液化的材料的流率，所述液化的材料的所述流率控制蒸发的材料在所述基板上的沉积速率；及
一或多个出口，所述一或多个出口用于将所述蒸发的材料引向所述基板。


2.如权利要求1所述的装置，进一步包括：
包括所述一或多个出口的蒸气分配喷头。


3.如权利要求2所述的装置，其中所述蒸气分配喷头是线性蒸气分配喷头。


4.如权利要求1所述的装置，其中所述第一部分具有不能变动的横截面面积。


5.如权利要求4所述的装置，其中所述第一部分具有在所述沉积装置的操作期间不能变动的横截面面积。


6.如权利要求1所述的装置，进一步包括：
控制器，所述控制器连接至所述阀，其中所述控制器被配置为控制所述阀而调整所述第一腔室中的所述气体的流率。


7.如权利要求1所述的装置，进一步包括：
控制器，所述控制器连接至所述阀，其中所述控制器被配置为调整所述第一腔室中的所述气体的流率而控制所述蒸气在所述基板上的沉积速率。


8.如权利要求6所述的装置，其中所述控制器是比例-积分-微分控制器。


9.如权利要求7所述的装置，其中所述控制器是比例-积分-微分控制器。

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【专利技术属性】
技术研发人员：乌韦·许斯勒，斯蒂芬·班格特，卡尔·阿尔伯特·凯姆，乔斯·曼纽尔·迭格斯坎波，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US