复合阀制造技术

本发明专利技术提供一种能以简单的结构减小阀芯与阀座分开的情况下转动把手的力的复合阀。本发明专利技术的复合阀(100)具备：阀座(13)；膜片阀芯(16)；先导机构(101)，其使用空气压使膜片阀芯(16)自动地抵接或离开阀座(13)；以及手动机构(102)，其不论空气压的供给如何都保持膜片阀芯(16)与阀座(13)抵接在一起的状态；该复合阀(100)以如下方式设置活塞杆(26)：在膜片阀芯(16)与阀座(13)分开的状态下以使手动芯杆(31)朝阀座方向移动的方式转动把手(30)的情况下，活塞杆(26)相对于朝反阀座方向被空气压加压的第1活塞(20)及第2活塞(21)而言相对地朝阀座方向移动。

【技术实现步骤摘要】
复合阀
本专利技术涉及先导阀机构与手动机构一体化而成的复合阀。
技术介绍
例如，在半导体制造装置这样的气动设备中，先导阀配设在气体管道上，进行气体的控制。例如为了防止在更换气体管道的作业中因误动作而发生气体泄露，先导阀需要安全装置。另一方面，为了使气动设备变得紧凑，构成气动设备的装置要求小型化。因此，以往将先导阀机构与作为防止先导阀机构的误动作的安全装置进行动作的手动机构一体化而成的复合阀用于气动设备(例如参考专利文献1、专利文献2、专利文献3、专利文献4)。例如在专利文献1记载的复合阀中，在朝阀座方向被施力构件施力的活塞因空气压而朝反阀座方向被加压、使得阀芯与阀座分开的情况下，当转动把手时，把手上结合的手动芯杆借助螺纹部朝阀座方向移动而抵接至副杆。副杆随着手动芯杆朝阀座方向的移动而下压一体地安装在活塞上的活塞杆，使阀芯抵接至阀座。在该状态下，手动芯杆限制了活塞杆朝反阀座方向移动，因此，复合阀不论空气压的供给如何都保持阀芯与阀座抵接在一起的状态。例如，在专利文献2、专利文献3、专利文献4记载的复合阀中，在对先导机构的加压室供给有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种复合阀，其具备：阀座；阀芯；先导机构，其使用空气压使所述阀芯自动地抵接或离开所述阀座；以及手动机构，其不论所述空气压的供给如何都保持所述阀芯与所述阀座抵接在一起的状态；该复合阀的特征在于，/n所述先导机构具有：/n活塞；/n第1施力构件，其朝阀座方向对所述活塞施力；以及/n活塞杆，其可滑动地贯穿在所述活塞上，从所述活塞得到所述第1施力构件的作用力的传递而使所述阀芯抵接至所述阀座；/n所述手动机构具有：/n手动芯杆，其与所述活塞杆配置在同轴上；/n把手，其结合在所述手动芯杆上；以及/n螺纹部，其随着所述把手的转动使所述手动芯杆沿轴线方向移动；/n所述活塞杆以如下方式配置：在所述阀芯与所述...

【技术特征摘要】
20190111 JP 2019-0032351.一种复合阀，其具备：阀座；阀芯；先导机构，其使用空气压使所述阀芯自动地抵接或离开所述阀座；以及手动机构，其不论所述空气压的供给如何都保持所述阀芯与所述阀座抵接在一起的状态；该复合阀的特征在于，
所述先导机构具有：
活塞；
第1施力构件，其朝阀座方向对所述活塞施力；以及
活塞杆，其可滑动地贯穿在所述活塞上，从所述活塞得到所述第1施力构件的作用力的传递而使所述阀芯抵接至所述阀座；
所述手动机构具有：
手动芯杆，其与所述活塞杆配置在同轴上；
把手，其结合在所述手动芯杆上；以及
螺纹部，其随着所述把手的转动使所述手动芯杆沿轴线方向移动；
所述活塞杆以如下方式配置：在所述阀芯与所述阀座分开的状态下以使所述手动芯杆朝阀座方向移动的方...

【专利技术属性】
技术研发人员：青山达人，
申请(专利权)人：CKD株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP