一种钢瓶自动洁净装置制造方法及图纸

一种钢瓶自动洁净装置，包含真空烘箱、真空机组、置换气供应组件、放空阀、主管、系统控制柜；所述主管一端贯穿真空烘箱顶部，进入真空烘箱的内部，主管另一端与置换气供应组件的输出端连通；所述主管在与置换气供应组件的连通处还设有控制连通状态的充气阀；所述真空机组的输入端通过管道与主管连通，管道设有真空阀与电离规管；所述放空阀设置在主管上；所述系统控制柜上设有控制面板，通过控制面板向其内设有的PLC控制器发出工作指令，通过PLC控制器控制真空烘箱、真空机组、放空阀、充气阀、真空阀、电离规管工作；所述主管在位于真空烘箱顶部外的部分还设有压力传感器。本实用新型专利技术，结构简单使用方便。

【技术实现步骤摘要】
一种钢瓶自动洁净装置
本技术涉及钢瓶洁净
，特别是一种钢瓶自动洁净装置。
技术介绍
半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI(大规模集成电路)级，VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。储存电子气体的钢瓶也是影响电子气体纯度的重要因素之一，因此需要对钢瓶内部进行除杂处理后才能对电子气体进行储存；钢瓶内部进行除杂处理为钢瓶去水分，氮气置换，抽真空；现有的钢瓶洁净装置使用不方便，浪费人力物力。
技术实现思路
针对上述缺陷，本技术的目的在于提供一种钢瓶自动洁净装置，通过真空烘箱对钢瓶加热，后通过真空机组对钢瓶进行抽真空，再通过置换气供应组件向钢瓶充入置换气，后打开放空阀放空置换气，即完成对钢瓶的洁净；通过PLC控制器控制自动化程度高，进一步提高生产效率。本技术采用的技术方案是：一种钢瓶自动洁净装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钢瓶自动洁净装置，其特征在于：所述钢瓶自动洁净装置包含真空烘箱（1）、真空机组（2）、置换气供应组件（3）、放空阀（4）、主管（5）、系统控制柜（6）；所述主管（5）一端贯穿真空烘箱（1）顶部，进入真空烘箱（1）的内部，主管（5）另一端与置换气供应组件（3）的输出端连通；所述主管（5）在与置换气供应组件（3）的连通处还设有控制连通状态的充气阀（7）；所述真空机组（2）的输入端通过管道（8）与主管（5）连通，管道（8）设有真空阀（81）与电离规管（82）；所述放空阀（4）设置在主管（5）上；所述系统控制柜（6）上设有控制面板，通过控制面板向其内设有的PLC控制器发出工作指令，通过PLC控...

【技术特征摘要】
1.一种钢瓶自动洁净装置，其特征在于：所述钢瓶自动洁净装置包含真空烘箱（1）、真空机组（2）、置换气供应组件（3）、放空阀（4）、主管（5）、系统控制柜（6）；所述主管（5）一端贯穿真空烘箱（1）顶部，进入真空烘箱（1）的内部，主管（5）另一端与置换气供应组件（3）的输出端连通；所述主管（5）在与置换气供应组件（3）的连通处还设有控制连通状态的充气阀（7）；所述真空机组（2）的输入端通过管道（8）与主管（5）连通，管道（8）设有真空阀（81）与电离规管（82）；所述放空阀（4）设置在主管（5）上；所述系统控制柜（6）上设有控制面板，通过控制面板向其内设有的PLC控制器发出工作指令，通过PLC控制器控制真空烘箱（1）、真空机组（2）、放空阀（4）、充气阀（7）、真空阀（81）、电离规管（82）工作；所述主管（5）在位于真空烘箱（1）顶部外的部分还设有压力传感器（9），通过压力传感器（9）接收主管（5）内的充气压力，并反馈充气压力给PLC控制器，通过PLC控制器控制充气阀（7）的工作状态。


2.根据权利要求1所述的一种钢瓶自动洁净装置，其特征在于：所述主管（5）位于真空烘箱(1)内的端部连接有不锈钢软管（11），通过不锈钢软管（11）方便与放置在真空烘箱（1）内的放置钢瓶（10）用的钢瓶集装格（12）上设有的与钢瓶（10）连通的连接管（13）连接。


3.根据权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘云俊，
申请(专利权)人：江苏中宏机械制造有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32