地壳钻孔体积式应变仪制造技术

本发明专利技术公开了一种地壳钻孔体积式应变仪，设于地下钻孔内，感受腔(7)内设两个以上的MEMS压力传感器(12)，MEMS压力传感器(12)固定于金属柱芯(8)或隔板(11)的下表面上；所述的测量腔(5)上顶部设有独立的顶腔(13)，顶腔(13)内设电路模块(14)，MEMS压力传感器(12)的连接线穿过隔板(11)与测量腔(5)顶板(16)绝缘连接电路模块(14)，电路模块(14)通过外接电缆(15)与地面电子线路连接。压力传感器采用MEMS数字芯片，精度高，功耗小，有效地解决了传统工艺在膜片破裂后上下腔导通的技术难题，延长了应变仪的使用寿命，无需多次频繁的维修，节约人力成本，体积小，安装简单。

【技术实现步骤摘要】
地壳钻孔体积式应变仪
本专利技术涉及一种机械电子测量结构
，尤其涉及一种应用于地震前兆应变观测、矿山及其他工程测量等钻孔体应变观测领域的地壳钻孔体积式应变仪。
技术介绍
目前地壳钻孔应变观测仪器的探头一般置于钻孔中数十米深的地壳的基岩中，观测的是地壳表层的应变变化。观测对象包括：体应变。地壳钻孔体积式应变仪的观测原理是：当盛有不可压缩液体的可变形容器所受压力发生变化时，向上的出口处的液面高度就会随之变化。目前钻孔应变观测台网使用的体应变观测仪器。如图1所示，现有的地壳钻孔体积式应变仪，结构上包括一个长圆形筒体，中间设置隔板分上下两个腔室，上腔为测量腔5，下腔为感受腔7，内设金属柱芯8，感受腔7内充满硅油9，测量腔内装有压力传感器3及电磁阀4，并充有硅油9和氩气2。压力传感器3及电磁阀4连接外接电缆，外接电缆通过端帽1伸出与地面电子线路连接。由于氩气2的存在，测量腔5的压力P0基本恒定，但在感受腔7，只要外力使得腔室的体积有微量变化时，硅油9的压力P1即会产生明显的变化。压力传感器3用来感受测量腔5与感受腔7的压力之差，即P1-P0本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种地壳钻孔体积式应变仪，设于地下钻孔内，其特征在于：包括圆筒体(10)，圆筒体(10)内设隔板(11)将圆筒体(10)分为上腔与下腔，上腔为测量腔(5)，下腔为感受腔(7)；感受腔(7)内设金属柱芯(8)，感受腔(7)内充满硅油(9)；测量腔(5)下部充硅油(9)上部充氩气(2)；所述的隔板(11)上有电磁阀(4)，连通或封闭测量腔(5)与感受腔(7)的硅油通路；/n所述的感受腔(7)内设两个以上的MEMS压力传感器(12)，MEMS压力传感器(12)固定于金属柱芯(8)或隔板(11)的下表面上；/n所述的测量腔(5)上顶部设有独立的顶腔(13)，顶腔(13)内设电路模块(14)，MEM...

【技术特征摘要】
1.一种地壳钻孔体积式应变仪，设于地下钻孔内，其特征在于：包括圆筒体(10)，圆筒体(10)内设隔板(11)将圆筒体(10)分为上腔与下腔，上腔为测量腔(5)，下腔为感受腔(7)；感受腔(7)内设金属柱芯(8)，感受腔(7)内充满硅油(9)；测量腔(5)下部充硅油(9)上部充氩气(2)；所述的隔板(11)上有电磁阀(4)，连通或封闭测量腔(5)与感受腔(7)的硅油通路；
所述的感受腔(7)内设两个以上的MEMS压力传感器(12)，MEMS压力传感器(12)固定于金属柱芯(8)或隔板(11)的下表面上；
所述的测量腔(5)上顶部设有独立的顶腔(13)，顶腔(13)内设电路模块(14)，MEMS压力传感器(12)的连接线穿过隔板(11)与测量腔(5)顶板(16)绝缘连接电路模块(14)，电路...

【专利技术属性】
技术研发人员：李海亮，马京杰，
申请(专利权)人：中国地震局地壳应力研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11