一种基于气敏膜-电极界面电阻信号的气体传感器制造技术

本发明专利技术属于气敏传感器相关技术领域，其公开了一种基于气敏膜‑电极界面电阻信号的气体传感器，传感器包括基底、测温电极、加热电极及多个气敏组件，所述测温电极、所述加热电极及多个所述气敏组件间隔设置在所述基底上；所述气敏组件包括至少三个测量电极及气敏膜，至少三个所述测量电极对称设置；至少三个所述测量电极间隔设置在所述基底上，所述气敏膜设置在所述基底上，且覆盖至少三个所述测量电极。本发明专利技术可以提供更多且更均匀的活性位点分布，可进一步增强传感器对气体的选择性；气敏膜‑测量电极接触界面易于调控，能够从器件层面增强对气体的选择性；且气敏膜‑测量电极接触电阻信号不易受到气敏膜颗粒生长的影响，长期稳定性好。

【技术实现步骤摘要】
一种基于气敏膜-电极界面电阻信号的气体传感器
本专利技术属于气敏传感器相关
，更具体地，涉及一种基于气敏膜-电极界面电阻信号的气体传感器。
技术介绍
随着经济发展和科技的进步，人们对美好生活的需求日渐增长，环境保护逐渐受到重视，在所有评估环境的指标中，空气质量无疑是非常重要的一项。近年来，空气质量形势不容乐观，这主要是因为工业生产会产生有毒有害的废气，它们大都没有经过处理就直接排放到大气中，造成一系列的环境问题。解决这些问题的关键是一种能够监测这些有毒有害气体的技术，因此气体传感技术应运而生，它在工业领域有着重要的用途以及巨大的需求。气体传感器作为此技术的产物，近年来得到了迅猛的发展。目前，商用的气体传感器主要分为金属氧化物(MOX)传感器、催化燃烧式传感器、电化学式传感器等。这其中，气体传感器由于其低功耗、低价格、可微型化等诸多优点得到最为广泛的应用。但是MOX传感器也存在一些不足之处，主要体现在：(1)金属氧化物气敏膜活性差，表面催化活性点分布不均，因而对气体的敏感性较差；(2)传感器在高温工作的时候，金属氧化物颗粒会长大，烧本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于气敏膜-电极界面电阻信号的气体传感器，其特征在于：/n所述气体传感器包括基底、测温电极、加热电极及多个气敏组件，所述测温电极、所述加热电极及多个所述气敏组件间隔设置在所述基底上；/n所述气敏组件包括至少三个测量电极及气敏膜，至少三个所述测量电极对称设置，即至少三个所述测量电极设置成一个对称结构；至少三个所述测量电极间隔设置在所述基底上，所述气敏膜设置在所述基底上，且覆盖至少三个所述测量电极；所述气体传感器通过获取相邻两个测量电极之间的电阻差异来获取气敏膜-电极界面的电阻信号。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于气敏膜-电极界面电阻信号的气体传感器，其特征在于：
所述气体传感器包括基底、测温电极、加热电极及多个气敏组件，所述测温电极、所述加热电极及多个所述气敏组件间隔设置在所述基底上；
所述气敏组件包括至少三个测量电极及气敏膜，至少三个所述测量电极对称设置，即至少三个所述测量电极设置成一个对称结构；至少三个所述测量电极间隔设置在所述基底上，所述气敏膜设置在所述基底上，且覆盖至少三个所述测量电极；所述气体传感器通过获取相邻两个测量电极之间的电阻差异来获取气敏膜-电极界面的电阻信号。


2.如权利要求1所述的基于气敏膜-电极界面电阻信号的气体传感器，其特征在于：至少三个所述测量电极的材料不同；所述加热电极用于外接电源，以对所述气体传感器进行加热，使得所述气体传感器维持在预定工作温度。


3.如权利要求1所述的基于气敏膜-电极界面电阻信号的气体传感器，其特征在于：所述测温电极用于获取实时温度值，以对所述气体传感器的工作温度进行调节。


4.如权利要求1所述的基于气敏膜-电极界面电阻信号的气体传感器，其特征在于：所述基底的材料为陶...

【专利技术属性】
技术研发人员：张顺平，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：湖北;42