傅立叶变换红外分光装置制造方法及图纸

一种傅立叶变换红外分光装置，能够容易地校正振荡波长。FTIR具备：主干涉仪；控制干涉仪；第一检测器，其检测由主干涉仪生成且穿过了试样或被试样反射的红外干涉光；第二检测器，其检测由控制干涉仪生成的单色干涉光；光谱制作部，基于由第二检测器检测出的单色干涉光的强度和校正前的振荡波长，求出穿过固定镜的光路与穿过移动镜的光路的光路差，通过针对用基于该光路差的分布表示由第一检测器检测出的红外干涉光的强度的干涉图进行高速傅立叶变换，来制作光谱；振荡波长校正部，从由光谱制作部制作出的光谱的峰中确定二氧化碳的吸收峰，通过比较吸收峰的波数或波长与二氧化碳的原本的吸收波数或波长，求出半导体激光器的校正后的振荡波长。

【技术实现步骤摘要】
傅立叶变换红外分光装置
本专利技术涉及一种傅立叶变换红外分光装置(FTIR)。
技术介绍
FTIR一般具有干涉仪，该干涉仪包括多波长红外光源、分束器、固定镜以及移动镜，其中，该多波长红外光源生成叠加有多个波长的红外光(例如，专利文献1)。由光源生成的红外光被分束器分割为两部分，其中一部分被固定镜反射，另一部分被移动镜反射，返回到分束器并合成来对试样进行照射。对试样照射的红外光的强度与移动镜的位置的关系为：在被固定镜反射的红外光与被移动镜反射的红外光的光路差为0时，在所有的波长下强度最大(中心爆发)，移动镜从此处移动而光路差变化，随之使每个波长下峰的位置(间隔)不同的正弦波叠加。被照射到试样上的红外光成为透过了试样的透射光或者被试样反射的反射光，利用检测器进行检测，来获得表示这些透射光或反射光的强度与光路差的关系的干涉图。通过针对该干涉图进行高速傅立叶变换(FFT)，来获得将横轴设为波数(或者波长)、将纵轴设为强度(吸光度、透过率等)的光谱。根据该光谱的峰波数(波长)或峰强度等来进行试样的定性分析或定量分析。为了利用FTIR高精度地进行测本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种傅立叶变换红外分光装置，其特征在于，具备：/n主干涉仪，其包括多波长红外光源、分束器、固定镜以及移动镜；/n控制干涉仪，其包括半导体激光器、所述分束器、所述固定镜以及所述移动镜；/n第一检测器，其检测由所述主干涉仪生成且穿过了试样或被试样反射的红外干涉光；/n第二检测器，其检测由所述控制干涉仪生成的单色干涉光；/n光谱制作部，其基于由所述第二检测器检测出的单色干涉光的强度和校正前的振荡波长，来求出穿过所述固定镜的光路与穿过所述移动镜的光路的光路差，通过针对干涉图进行高速傅立叶变换来制作光谱，该干涉图是用基于该光路差的分布表示由所述第一检测器检测出的红外干涉光的强度的干涉图；以及/n振荡...

【技术特征摘要】
20190108 JP 2019-0012031.一种傅立叶变换红外分光装置，其特征在于，具备：
主干涉仪，其包括多波长红外光源、分束器、固定镜以及移动镜；
控制干涉仪，其包括半导体激光器、所述分束器、所述固定镜以及所述移动镜；
第一检测器，其检测由所述主干涉仪生成且穿过了试样或被试样反射的红外干涉光；
第二检测器，其检测由所述控制干涉仪生成的单色干涉光；
光谱制作部，其基于由所述第二检测器检测出的单色干涉光的强度和校正前的振荡波长，来求出穿过所述固定镜的光路与穿过所述移动镜的光路的光路差，通过针对干涉图进行高速傅立叶变换来制作光谱，该干涉图是用基于该光路差的分布表示由所述第一检测器检测出的红外干涉光的强度的干涉图；以及
振荡波长校正部，其从由所述光谱制作部制作出的光谱中的峰中确定二氧化碳的吸收峰，将该吸收峰的波数或波长与二氧化碳的原本的吸收波数或波长进行比较，由此求出所述半导体激光器的校正后的振荡波长。


2.根据权利要求1所述的傅立叶变换红外分光装置，其特征在于，
还具备振荡波长精密校正部，该振荡波长精密校...

【专利技术属性】
技术研发人员：和久田真也，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP