一种柔性无机-有机复合水汽氧气阻隔薄膜及其低温制备方法技术

本发明专利技术提出一种柔性无机‑有机复合水汽氧气阻隔薄膜及其低温制备方法，阻隔薄膜包括基底层，重复交替的Al

【技术实现步骤摘要】
一种柔性无机-有机复合水汽氧气阻隔薄膜及其低温制备方法
本专利技术属于器件防水、封装及密封
，具体涉及一种柔性无机-有机复合水汽氧气阻隔薄膜及其低温制备方法。
技术介绍
柔性电子是将有机/无机材料电子与显示器件制作在柔性/可延性基底层上，进而实现整个器件的挠曲弯折，能够在一定程度上适应不同的环境，满足设备的变形要求。柔性电子因具有独特的柔性/可延展性、高效以及低成本制造工艺等特点，在信息、能源、医疗、国防等领域具有广泛的应用前景，最为广泛研究的是有机电致发光二极管(OLED)和有机薄膜太阳能电池(OPVs)。基于OLED的平板显示器具有色彩丰富、发光亮度高、低电流驱动节能以及制备工艺较为简单等特点。然而，水汽和氧气对OLED的工作寿命及效率影响很大，其根本原因是较为活泼的阴极材料与水汽、氧气发生反应，以及水汽与空穴输出层、电子传输层发生化学反应，进而导致其使用寿命大大降低。此外，量子点膜技术的引入进一步提高显示的色域，具有更高的色彩显示能力，然而环境中的水汽和氧气同样导致量子点薄膜的寿命大打折扣。因OPVs具有成本低廉、质本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性无机-有机复合水汽氧气阻隔薄膜低温制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：/n步骤1、将基底层置于原子层沉积系统反应腔，向反应腔内通入惰性载气，使惰性载气直接流经基底层表面；/n步骤2、加热反应腔及前驱体储物罐；/n步骤3、在基底层表面沉积三氧化二铝无机阻隔层，包括向反应腔内注入三甲基铝反应前驱体；待基底层表面化学反应充分发生后用惰性载气吹扫；吹扫完全后注入水蒸气反应前驱体；待基底层表面化学反应充分发生后再次用惰性载气吹扫；/n步骤4、循环执行步骤3，获得一定厚度范围的三氧化二铝无机阻隔层；/n步骤5、在基底层表面沉积聚脲有机阻隔层，包括向反应腔内注入对苯二异氰酸酯反应前驱...

【技术特征摘要】
1.一种柔性无机-有机复合水汽氧气阻隔薄膜低温制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：
步骤1、将基底层置于原子层沉积系统反应腔，向反应腔内通入惰性载气，使惰性载气直接流经基底层表面；
步骤2、加热反应腔及前驱体储物罐；
步骤3、在基底层表面沉积三氧化二铝无机阻隔层，包括向反应腔内注入三甲基铝反应前驱体；待基底层表面化学反应充分发生后用惰性载气吹扫；吹扫完全后注入水蒸气反应前驱体；待基底层表面化学反应充分发生后再次用惰性载气吹扫；
步骤4、循环执行步骤3，获得一定厚度范围的三氧化二铝无机阻隔层；
步骤5、在基底层表面沉积聚脲有机阻隔层，包括向反应腔内注入对苯二异氰酸酯反应前驱体；待基底层表面化学反应充分发生后用惰性载气吹扫；吹扫完全后注入乙二胺反应前驱体；待基底层表面化学反应充分发生后再次用惰性载气吹扫；
步骤6、循环执行步骤5，获得一定厚度范围的聚脲有机阻隔层；
步骤7、循环执行步骤3至步骤6，获得一定厚度范围的重复交替的三氧化二铝无机阻隔层与聚脲有机阻隔层的柔性无机-有机复合水汽氧气阻隔薄膜。


2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述基底层为柔性基底层或刚性基底层。


3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述惰性载气为氮气、氦气或氩气中的一种。
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【专利技术属性】
技术研发人员：冯昊，李建国，秦利军，龚婷，张王乐，惠龙飞，
申请(专利权)人：西安近代化学研究所，
类型：发明
国别省市：陕西;61