一种基于金属多孔材料的三维椭圆振动柔性装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种基于金属多孔材料的三维椭圆振动柔性装置，属于光学零件加工技术领域。刀具通过螺栓固定在柔性基体的T型刀座中间的刀槽中，竖直方向压电叠堆头部与直板型柔性铰链接触、下端通过螺栓拧紧预紧块预紧，电容位移传感器夹紧在传感器夹持上，水平方向压电叠堆头部分别接触直板型柔性铰链，电容位移传感器分别夹紧在传感器夹持上，底座下方与燕尾条螺栓连接。优点在于：柔性基体既可以有效降低刀尖处的振动传导到机床导轨，保证了装置的运动精度，又实现了机构自润滑效果，提高了使用寿命，能实现多种面型的切削加工，同时四个压电叠堆都配有电容传感器实时监测实际位移并反馈给控制器进行补偿，加工精度高。

【技术实现步骤摘要】
一种基于金属多孔材料的三维椭圆振动柔性装置
本专利技术属于超精密切削及难加工材料复杂光学零件加工
，特别是涉及一种基于金属多孔材料的三维椭圆振动柔性装置。
技术介绍
脆硬材料因其良好的接触刚性、稳定性、光学性能等，近年来在光学系统的镜头、半导体行业中的晶圆等复杂光学精密零件的制造中被广泛的应用，但因其脆硬特性在加工过程中存在很多技术难题，用传统加工方式很难实现，精度很难保证。为解决上述问题，椭圆振动切削技术应运而生。它具有很多独特的加工优势，主要有：增大金刚石刀具在黑色金属切削中的寿命、大幅减小切削力、抑制了毛刺与积屑瘤的产生、改善了被加工表面质量、降低了切削热等优点。因此椭圆振动切削已经成为了超精密加工中的一个重要的发展方向。椭圆振动切削(EVC)技术根据椭圆振动装置的振动形式可以分为非共振型(NT-EVC)和共振型(RT-EVC)。共振型椭圆振动特点是工作频率和装置的固有频率是相等的，因此频率不可调节，难以适应不同的加工需求，且纵弯振动之间存在耦合现象，互相串扰。而根据运动的维数，非共振椭圆振动切削又有一维、二维和三维本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于金属多孔材料的三维椭圆振动柔性装置，其特征在于：刀具通过螺栓固定在柔性基体的T型刀座中间的刀槽中，竖直方向压电叠堆一和竖直方向压电叠堆二平行分布、各个头部与直板型柔性铰链一和直板型柔性铰链二接触、下端通过螺栓拧紧预紧块一、螺栓拧紧预紧块二分别预紧，电容位移传感器一和电容位移传感器二分别夹紧在传感器夹持一上、其头部分别对准T型刀座表面，传感器夹持一固定在外支架上；水平方向压电叠堆一和水平方向压电叠堆二平行分布、其头部分别接触直板型柔性铰链三和直板型柔性铰链四、后端通过螺栓拧紧预紧块三和螺栓拧紧预紧块四分别预紧，电容位移传感器三和电容位移传感器四分别夹紧在传感器夹持二和传感器夹持三上、...

【技术特征摘要】
1.一种基于金属多孔材料的三维椭圆振动柔性装置，其特征在于：刀具通过螺栓固定在柔性基体的T型刀座中间的刀槽中，竖直方向压电叠堆一和竖直方向压电叠堆二平行分布、各个头部与直板型柔性铰链一和直板型柔性铰链二接触、下端通过螺栓拧紧预紧块一、螺栓拧紧预紧块二分别预紧，电容位移传感器一和电容位移传感器二分别夹紧在传感器夹持一上、其头部分别对准T型刀座表面，传感器夹持一固定在外支架上；水平方向压电叠堆一和水平方向压电叠堆二平行分布、其头部分别接触直板型柔性铰链三和直板型柔性铰链四、后端通过螺栓拧紧预紧块三和螺栓拧紧预紧块四分别预紧，电容位移传感器三和电容位移传感器四分别夹紧在传...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘强，李世斌，周晓勤，李松泽，张志辉，张旭，滕帅，楚镇亚，邢向，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：发明
国别省市：吉林;22