【技术实现步骤摘要】
一种激光腔镜头保护装置
本技术涉及气体激光器,尤其涉及一种气体激光器的激光腔镜头保护装置。
技术介绍
气体激光器利用气体作为工作物质产生激光的器件,现有准分子气体激光器激光腔镜头直接与激光腔内的反应气体接触,在内部电极放电和激光输出时,容易导致内部污染物(主要为金属氯化物、含氯烃以及其他颗粒)附着在镜头表面,导致镜头透过率下降,激光输出效率降低,因此对于一种激光腔镜头保护装置,减少镜头上污染物附着几率是我们要解决的问题。
技术实现思路
为克服上述缺点,本技术的目的在于提供一种高透过率的激光腔镜头保护装置。为了达到以上目的,本技术采用的技术方案是:包括激光装置本体,激光装置本体具有激光腔体,激光腔体内部设置有激光管,激光腔体与激光装置本体上设置的开口连通,开口有两个,每个开口处都设置有镜头,每个镜头的一侧设置有隔离板,两个隔离板都位于激光腔体内,每个隔离板与镜头之间形成进气部,每个隔离板与激光管之间形成排气部,激光装置本体外部设置有加压泵、气体过滤器和真空抽泵且依次连通,加压泵与进气部连通,真空抽泵与排 ...
【技术保护点】
1.一种激光腔镜头保护装置,其特征在于:包括激光装置本体(1),所述激光装置本体(1)具有激光腔体(2),所述激光腔体(2)内部设置有激光管(5),所述激光腔体(2)与激光装置本体(1)上设置的开口连通,所述开口有两个,每个所述开口处都设置有镜头(4),每个所述镜头(4)的一侧设置有隔离板(3),两个所述隔离板(3)都位于激光腔体(2)内,每个所述隔离板(3)与镜头(4)之间形成进气部(10),每个所述隔离板(3)与激光管(5)之间形成排气部(11),所述激光装置本体(1)外部设置有加压泵(6)、气体过滤器(7)和真空抽泵(8)且依次连通,所述加压泵(6)与进气部连通,所述 ...
【技术特征摘要】
1.一种激光腔镜头保护装置,其特征在于:包括激光装置本体(1),所述激光装置本体(1)具有激光腔体(2),所述激光腔体(2)内部设置有激光管(5),所述激光腔体(2)与激光装置本体(1)上设置的开口连通,所述开口有两个,每个所述开口处都设置有镜头(4),每个所述镜头(4)的一侧设置有隔离板(3),两个所述隔离板(3)都位于激光腔体(2)内,每个所述隔离板(3)与镜头(4)之间形成进气部(10),每个所述隔离板(3)与激光管(5)之间形成排气部(11),所述激光装置本体(1)外部设置有加压泵(6)、气体过滤器(7)和真空抽泵(8)且依次连通,所述加压泵(6)与进气部连通,所述真空抽泵(8)与排气部连通。
2.根据权利要求1所述一种激光腔镜头保护装置,其特征在于:还包括减噪箱,所述减噪箱和激光装置本体(1)侧端连接且固定,所述减噪箱内壁设置有吸音海绵,所述加压泵(6)、气体过滤器(7)和真空抽泵(...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵靖,
申请(专利权)人:张家港梓阳电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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