基于周期性亚波长蹄型结构孔阵列的表面等离子体分光器制造技术

本实用新型专利技术涉及微纳光子器件领域，特别是涉及一种基于周期性亚波长蹄型孔阵列的表面等离子体分光器，包括电介质基底和设于电介质基底上的产生表面等离子体的金属薄膜，金属薄膜上设有N个透光单元，N≥9，所述的透光单元包括一个贯穿金属薄膜厚度方向的蹄型孔，该蹄型孔由一个U结构与一个矩形结构组成，所述的N个透光单元周期性阵列排列。本实用新型专利技术具有如下优点：1、本实用新型专利技术仅包括电介质基底和具有周期性阵列排布的透光单元的金属薄膜，结构简单、制作工艺要求低、尺寸小便于集成，且只需通过改变入射光的偏振方向便能实现动态调节分光比例；2、本实用新型专利技术通过改变入射光的偏振方向，同时实现该器件在不同波段的光开关的功能。

【技术实现步骤摘要】
基于周期性亚波长蹄型结构孔阵列的表面等离子体分光器
本技术涉及微纳光子器件领域，特别是涉及一种基于周期性亚波长蹄型孔阵列的表面等离子体分光器。
技术介绍
随着社会的进步，电子器件已经很难满足人们对信息传输速度和存储量的需求，人们逐渐将目光转向了光子器件。而光子器件存在衍射极限的问题，使得光子器件无法小型化和集成化，极大限制了光子器件在信息领域的应用。表面等离子体(SurfacePlasmon,SP)具有亚波长、电场高度局域化以及局域场增强等优良特性。表面等离子体器件通过控制外部因素改变结构中SP的激发或传输，进而调控光的传输，从而实现对光的可控操作。在传统的分光器中，必须将器件的入射部、光检测元件及分光部等的各光学要素精准的放置，并使封装体紧密化。因此，对于使用环境十分苛刻。而分光器精度的增加，也会使得器件的集成更加困难。而表面等离子体光子器件在小于衍射极限尺度内实现对光的控制，从而在纳米尺度上实现器件的集成。因而利用表面等离子体设计并实现微纳光子器件可有效解决光子器件的衍射极限问题。例如在圆结构中镶嵌一个尖端，通过改变入射光的偏振方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于周期性亚波长蹄型孔阵列的表面等离子体分光器，其特征在于：包括电介质基底和设于电介质基底上的产生表面等离子体的金属薄膜，金属薄膜上设有N个透光单元，N≥9，所述的透光单元包括一个贯穿金属薄膜厚度方向的蹄型孔，该蹄型孔由一个U结构与一个矩形结构组成，所述的N个透光单元周期性阵列排列。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于周期性亚波长蹄型孔阵列的表面等离子体分光器，其特征在于：包括电介质基底和设于电介质基底上的产生表面等离子体的金属薄膜，金属薄膜上设有N个透光单元，N≥9，所述的透光单元包括一个贯穿金属薄膜厚度方向的蹄型孔，该蹄型孔由一个U结构与一个矩形结构组成，所述的N个透光单元周期性阵列排列。


2.一种根据权利要求1所述基于周期性亚波长蹄型孔阵列的表面等离子体分光器，其特征在于：所述电介质基底的电介质材料为石英或苯并环丁烯。


3.一种根据权利要求2所述基于周期性亚波长蹄型孔阵列的表面等离子体分光器，其特征在于：所述电介质的厚度为175nm-225nm。


4.一种根据权利要求1所述基于周期性亚波长蹄型孔阵列的表面等离子体分光器，其特征在于：所述金属薄膜的材料为银或金。


5.一种根据权利要求4所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：文奎，杨俊波，何新，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：新型
国别省市：湖南;43