一种电容电压转换装置制造方法及图纸

本公开提供了一种电容电压转换装置，包括：电荷积分模块，包括第一运算放大器、反馈电容以及第三开关；采样保持模块，包括第三电容、第四电容、第五电容、第二运算放大器以及多个开关；第五电容的一端与第三电容的另一端连接，其另一端通过两开关分别与第二运算放大器的输出端和同相输入端连接；第四电容跨接于第二运算放大器的输出端和反向输入端；第二运算放大器的同相输入端还连接参考电压输入端；至少一个可调电容补偿模块，每一可调电容补偿模块均包括多个并联的电容支路，每一电容支路包括一补偿电容以及一调节开关；其中，检测传感器的的检测电容、反馈电容中的一个或多个为可调电容补偿模块。

【技术实现步骤摘要】
一种电容电压转换装置
本公开涉及集成电路
，尤其涉及一种电容电压转换装置。
技术介绍
电容式传感器是一种被广泛应用的传感器，如压力传感器、加速度计、陀螺仪等。近年来MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem)发展十分迅速，随着MEMS技术的普及，MEMS传感器应运而生。MEMS传感器具有体积小、重量轻、价格便宜、易于与CMOS读出电路系统集成等优点。但由于其体积小的特点决定了传感器的电容值一般为pF量级，输出电容变化量非常微弱，往往只有几或几十fF，如果将它连接到外部电路，寄生电容、分布参数等会对有用信号产生很大的影响，需要通过检测电路来检测微小电容的变化量，提高传感器的检测精度。常见的检测电路有：连续时间电流读出方式、连续时间电压读出方式、开关电容电荷积分方式等。在连续时间电流读出方式中，通过跨阻放大器(TIA)检测电路中因电荷转移而产生的交流电流，但是，这种结果的噪声性能不如其他电路电容读出结构，由于该结构的高通频率特性响应，高频时跨阻放大器的热噪声将被放大输出。连续时间电压读出电路需要采用大电阻来本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电容电压转换装置，包括：/n电荷积分模块，包括第一运算放大器、反馈电容以及第三开关，其中，所述反馈电容以及第三开关并联，均跨接于所述第一运算放大器的反向输入端和输出端，所述第一运算放大器的反向输入端还连接检测传感器的输出端；/n采样保持模块，包括第三电容、第四电容、第五电容、第二运算放大器以及多个开关，其中，所述第三电容一端与所述第一运算放大器的输出端连接，其另一端通过两开关分别与所述第二运算放大器的反向输入端和同相输入端连接；所述第五电容的一端与所述第三电容的另一端连接，其另一端通过两开关分别与所述第二运算放大器的输出端和同相输入端连接；所述第四电容跨接于所述第二运算放大器的输出端和...

【技术特征摘要】
1.一种电容电压转换装置，包括：
电荷积分模块，包括第一运算放大器、反馈电容以及第三开关，其中，所述反馈电容以及第三开关并联，均跨接于所述第一运算放大器的反向输入端和输出端，所述第一运算放大器的反向输入端还连接检测传感器的输出端；
采样保持模块，包括第三电容、第四电容、第五电容、第二运算放大器以及多个开关，其中，所述第三电容一端与所述第一运算放大器的输出端连接，其另一端通过两开关分别与所述第二运算放大器的反向输入端和同相输入端连接；所述第五电容的一端与所述第三电容的另一端连接，其另一端通过两开关分别与所述第二运算放大器的输出端和同相输入端连接；所述第四电容跨接于所述第二运算放大器的输出端和反向输入端；所述第二运算放大器的同相输入端还连接参考电压输入端；
至少一个可调电容补偿模块，每一所述可调电容补偿模块均包括多个并联的电容支路，每一电容支路包括一补偿电容以及一调节开关；
其中，所述检测传感器的的检测电容、反馈电容中的一个或多个为所述可调电容补偿模块。


2.根据权利要求1所述的装置，每一所述可调电容补偿模块包括n+1个电容支路，所述n+1个电容支路的电容值分别为单位电容的2x倍，X从0开始以步长1递增至预设值n。


3.根据权利要求1所述的装置，所述至少一个可调电容补偿模块中每一可调电容补偿模块包含的电容支路数量不相等。


4.根据权利要求1所述的装置，所述调节...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文昌，朱紫兰，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11