缓冲机构、立式炉及其工艺门制造技术

本申请实施例提供了一种缓冲机构、立式炉及其工艺门。该缓冲机构设置于立式炉工艺门的支撑臂与密封盘之间，其包括安装板及缓冲器；安装板设置于支撑臂上；多个缓冲器均匀分布于安装板上；缓冲器包括导杆、导向组件及弹性组件；导杆的顶端与密封盘连接，导杆的底端通过导向组件穿设于安装板上，并且导杆能相对于安装板沿竖直方向滑动；导向组件设置于安装板上，用于引导导杆沿竖直方向滑动；弹性组件套设于导杆的外侧，并且位于安装板及密封盘之间，弹性组件用于缓冲支撑臂向密封盘施加的压紧力。本申请实施例能够保证密封盘受力时不发生偏斜，从而使得密封盘对工艺腔室的密封效果较佳，而且提高了工艺门及工艺腔室的安全性。

【技术实现步骤摘要】
缓冲机构、立式炉及其工艺门
本申请涉及半导体加工
，具体而言，本申请涉及一种缓冲机构、立式炉及其工艺门。
技术介绍
目前，立式热处理设备作为半导体制造工艺中的前道工艺处理设备，主要进行氧化薄膜、退火及低压力化学气相沉积等热处理工艺。在热处理工艺过程中会通入二氯乙烯(C2H2Cl2)、氯气(Cl2)或氯化氢(HCl)等工艺气体。工艺腔室是进行热处理工艺的空间，在执行热处理工艺时需要严格密封，一方面防止外部环境对工艺腔室内部产生影响，另一方面防止工艺腔室内部的工艺气体泄漏。工艺门设置工艺腔室的开口处，两者之间通过密封圈密封，用于对工艺腔室密封。由于工艺腔室一般是石英管制成，而工艺门是金属结构，因此当工艺门关闭密封时需要压紧工艺腔室的开口处的密封圈，但是又不能施加太大的力压紧密封圈，否则容易压坏工艺腔室。因此在工艺门设计时需要设计缓冲机构，防止工艺门对工艺腔室施加的力过大，同时又能起到密封的作用。但是一般的缓冲结构可能导致工艺门的各部分受力不均匀，影响工艺门的水平性，导致工艺门受压紧力不均匀，从而导致整个工艺门密封性差或者部分压紧力过大导致工艺腔室受到破坏。
技术实现思路
本申请针对现有方式的缺点，提出一种缓冲机构、立式炉及其工艺门，用以解决现有技术存在工艺门的受压紧力不均匀以及工艺门密封较差等技术问题。第一个方面，本申请实施例提供了一种缓冲机构，设置于立式炉工艺门的支撑臂与密封盘之间，用于缓冲所述支撑臂向所述密封盘施加的压紧力，所述支撑臂用于通过压紧所述密封盘以封闭所述立式炉；所述缓冲机构位于所述支撑臂的上方，以及所述缓冲机构位于所述密封盘的下方；所述缓冲机构包括安装板及缓冲器；所述安装板设置于所述支撑臂上；多个所述缓冲器均匀分布于所述安装板上；所述缓冲器包括导杆、导向组件及弹性组件；所述导杆的顶端与所述密封盘连接，所述导杆的底端通过所述导向组件穿设于所述安装板上，并且所述导杆能相对于所述安装板沿竖直方向滑动；所述导向组件设置于所述安装板上，用于引导所述导杆沿竖直方向滑动；所述弹性组件套设于所述导杆的外侧，并且位于所述安装板及所述密封盘之间，所述弹性组件用于缓冲所述支撑臂向所述密封盘施加的压紧力。于本申请的一实施例中，所述导向组件包括直线轴承，所述直线轴承穿设于所述安装板上，所述导杆的底端穿设于所述直线轴承内。于本申请的一实施例中，所述导向组件还包括垫圈及紧固件；所述垫圈套设于所述导杆的底端，所述紧固件包括连接部和操作部，所述连接部穿过所述垫圈后与所述导杆的底端连接，所述操作部将所述垫圈固定于所述导杆的底端；所述垫圈及所述紧固件配合用于对所述导杆进行止挡。于本申请的一实施例中，所述垫圈内设置有台阶部，所述台阶部与所述导杆的底端配合，且所述台阶部的底面与所述导杆底端的端面平齐设置。于本申请的一实施例中，所述弹性组件包括内外嵌套的内弹性件及外弹性件，所述内弹性件的高度大于所述外弹性件的高度，且所述内弹性件的刚性小于所述外弹性件的刚性。于本申请的一实施例中，所述弹性组件还包括有用于分隔所述内弹性件及外弹性件的内罩体，所述内罩体为双层结构且套设于所述内弹性件及外弹性件的外侧；所述内罩体的底端设置于所述安装板上。于本申请的一实施例中，所述缓冲机构还包括支撑块及外罩体，所述导杆的顶端通过所述支撑块与所述密封盘连接，所述外罩体设置所述支撑块外周且向安装板所在方向延伸设置，所述外罩体套设于所述内罩体顶端外侧。于本申请的一实施例中，所述安装板为三角形结构，多个所述缓冲器绕所述安装板的轴心均匀分布。第二个方面，本申请实施例提供了立式炉工艺门，用于选择性密封立式炉工艺腔室的开口，包括支撑臂、密封盘以及如第一个方面提供的缓冲机构；所述安装板通过多个调节螺栓设置于所述支撑臂上，所述调节螺栓用于调节所述安装板的水平状态，所述密封盘与所述导杆的顶端连接；所述支撑臂用于带动所述密封盘密封工艺腔室的开口。第三个方面，本申请实施例提供了一种立式炉，包括有工艺腔室以及如第二个方面提供的立式炉工艺门。本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：本申请实施例通过安装板与密封盘同心设置，并且将多个缓冲器均匀分布于在安装板，从而使得支撑臂向密封盘施加的压紧力更加均匀。由于导杆通过导向组件设置于安装板上，使得导杆沿竖直方向运动，能够保证密封盘受力时不发生偏斜，从而使得密封盘对工艺腔室的密封效果较佳；而且能避免密封盘受到的压紧力过大而造成工艺腔室的损坏，从而提高工艺门及工艺腔室的安全性。本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。附图说明本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1为本申请实施例提供的一种立式炉工艺门的结构示意图；图2为本申请实施例提供的一种缓冲机构的局部剖视示意图；图3为本申请实施例提供的一种缓冲机构省略部分组件的局部剖视示意图；图4为本申请实施例提供的一种缓冲机构的俯视示意图；图5为本申请实施例提供的一种立式炉的结构示意图。具体实施方式下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。本
技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。本申请实施例提供了一种缓冲机构100，设置于立式炉工艺门200的支撑臂201与密封盘202之间，用于缓冲支撑臂201向密封盘202施加的压紧力，支撑壁201用于通过压紧密封盘202以封闭立式炉。该缓冲机构100的结构示意图如图1及图2所示，缓冲机构100包括安装板1及缓冲器2；安装板1设置于支撑臂201上；多个缓冲器2均匀分布于安装板1上，缓冲器2包括导杆21、导向组件22及弹性组件23；导杆21的顶端与密封盘202连接，导杆21的底端通过导向组件22的穿设于安装板1上，并且导杆21能相对于安装板1沿竖直方向滑动；导向组件22设置于安装板1上，用于引导导杆21沿竖直方向滑动；弹性组件23套设于导杆21的外侧，并且位于安装板1及密封盘202之间，弹性组件23用于缓冲支撑臂201向密封盘202施加的压紧力。如图1、图2及图5所示，支撑臂201横向设置于工艺腔室300的底部，其主要起到支撑缓冲机构100及密本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种缓冲机构，设置于立式炉工艺门的支撑臂与密封盘之间，用于缓冲所述支撑臂向所述密封盘施加的压紧力，所述支撑臂用于通过压紧所述密封盘以封闭所述立式炉；所述缓冲机构位于所述支撑臂的上方，以及所述缓冲机构位于所述密封盘的下方；其特征在于，所述缓冲机构包括安装板及缓冲器；/n所述安装板设置于所述支撑臂上；/n多个所述缓冲器均匀分布于所述安装板上；所述缓冲器包括导杆、导向组件及弹性组件；/n所述导杆的顶端与所述密封盘连接，所述导杆的底端通过所述导向组件穿设于所述安装板上，并且所述导杆能相对于所述安装板沿竖直方向滑动；所述导向组件设置于所述安装板上，用于引导所述导杆沿竖直方向滑动；所述弹性组件套设于所述导杆的外侧，并且位于所述安装板及所述密封盘之间，所述弹性组件用于缓冲所述支撑臂向所述密封盘施加的压紧力。/n

【技术特征摘要】
1.一种缓冲机构，设置于立式炉工艺门的支撑臂与密封盘之间，用于缓冲所述支撑臂向所述密封盘施加的压紧力，所述支撑臂用于通过压紧所述密封盘以封闭所述立式炉；所述缓冲机构位于所述支撑臂的上方，以及所述缓冲机构位于所述密封盘的下方；其特征在于，所述缓冲机构包括安装板及缓冲器；
所述安装板设置于所述支撑臂上；
多个所述缓冲器均匀分布于所述安装板上；所述缓冲器包括导杆、导向组件及弹性组件；
所述导杆的顶端与所述密封盘连接，所述导杆的底端通过所述导向组件穿设于所述安装板上，并且所述导杆能相对于所述安装板沿竖直方向滑动；所述导向组件设置于所述安装板上，用于引导所述导杆沿竖直方向滑动；所述弹性组件套设于所述导杆的外侧，并且位于所述安装板及所述密封盘之间，所述弹性组件用于缓冲所述支撑臂向所述密封盘施加的压紧力。


2.如权利要求1所述的缓冲机构，其特征在于，所述导向组件包括直线轴承，所述直线轴承穿设于所述安装板上，所述导杆的底端穿设于所述直线轴承内。


3.如权利要求2所述的缓冲机构，其特征在于，所述导向组件还包括垫圈及紧固件；所述垫圈套设于所述导杆的底端，所述紧固件包括连接部和操作部，所述连接部穿过所述垫圈后与所述导杆的底端连接，所述操作部将所述垫圈固定于所述导杆的底端；所述垫圈及所述紧固件配合用于对所述导杆进行止挡。


4.如权利要求3所述的缓冲机构，其特征在于，所述垫圈内设置有台阶部，所述台阶部与所述导杆的...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋新丰，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11