【技术实现步骤摘要】
一种防磨损涂布机真空干燥单元装置
本技术是一种防磨损涂布机真空干燥单元装置,属于光刻
技术介绍
液晶面板显示行业与半导体行业,这2大行业都是在洁净度很高的环境下工作,所以微小颗粒变成了技术人员共同需要克服的难题。微粒种类很多,有机类的、无机类的、金属类的等等,因其体积较小(最小到几个um),不易被发现,改善难度痕大,故经常需要借助高精度的扫描显微镜、元素分析仪、红外光谱仪等高尖端仪器来判定particle是具体哪类物质来针对性的改善;现有的各类机台可能都会出现磨损的问题从而导致持续产尘或者设备异常,因此,改善机构接触式磨损变得非常重要。狭缝涂布机(以下简称silt涂布机)中有一道装置叫真空干燥单元,是指玻璃基板在真空状态下进行光刻胶固化作业,由高密度真空抽取真空干燥单元腔室内的空气,使之在较短时间内到达所设真空压力值。因为真空干燥单元整体空间较小,液晶面板较薄(0.5mm),所以在抽气、破真空时,容易将真空干燥单元腔室内的微粒扬起附着在玻璃基板表面,使得异物较多影响产品品质。现有机台因设计的需要,采用紧固螺栓将承载玻璃基板的金属托盘与底板锁死,但是真空状态下的来回抽气与排气,导致金属托盘与底板产生摩擦,致使相连的部位磨损产生金属碎屑,从而严总影响产品品质。
技术实现思路
本技术提出的是一种防磨损涂布机真空干燥单元装置,其目的在于针对现有技术中真空干燥单元装置里的金属托盘与底板之间的摩擦,容易致使相连的部位磨损产生金属碎屑,进而影响产品品质的缺陷,提出了一种在磨损部位加装塑料刮片、有效 ...
【技术保护点】
1.一种防磨损涂布机真空干燥单元装置,其特征是其结构包括上盖板(1)、底板(2)、金属托盘(3)、螺栓(4)、顶升销(5)、O型圈(6)、玻璃基板(7)、真空泵阀门(8)、CDA控制阀门(9)、CDA系统(10)、真空泵(11)和塑料刮片(12);其中,上盖板(1)与底板(2)连接形成空腔,连接处设有O型圈(6)密封,金属托盘(3)设于底板(2)上端面,通过螺栓(4)固定,金属托盘(3)上端面设有多个顶升销(5)连接玻璃基板(7),真空泵(11)和CDA系统(10)连接金属托盘(3)下端面,真空泵(11)连接管上设有真空泵阀门(8),CDA系统(10)连接管上设有CDA控制阀门(9),所述塑料刮片(12)安装于金属托盘(3)与底板(2)中间接触位置。/n
【技术特征摘要】
1.一种防磨损涂布机真空干燥单元装置,其特征是其结构包括上盖板(1)、底板(2)、金属托盘(3)、螺栓(4)、顶升销(5)、O型圈(6)、玻璃基板(7)、真空泵阀门(8)、CDA控制阀门(9)、CDA系统(10)、真空泵(11)和塑料刮片(12);其中,上盖板(1)与底板(2)连接形成空腔,连接处设有O型圈(6)密封,金属托盘(3)设于底板(2)上端面,通过螺栓(4)固定,金属托盘(3)上端面设有多个顶升销(5)连接玻璃基板(7),真空泵(11)和C...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐飞,熊谟勇,张良,王伟杰,姚强,钱伟伟,张国曦,
申请(专利权)人:南京中电熊猫液晶材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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