探针的针头位置调节方法和检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术的探针的针头位置调节方法包括拍摄步骤、存储步骤、检测步骤、确定步骤和调节步骤。在拍摄步骤中，检查装置使摄像机沿着各个探针的高度方向移动，使摄像机以在1个图像内显现有多个探针的针头的方式拍摄多个探针的针头。在存储步骤中，检查装置将由摄像机拍摄的图像与摄像机的聚焦面的位置信息相对应地存储在存储部中。在检测步骤中，检查装置基于所拍摄的各个图像，检测聚焦于探针的针头的图像。在确定步骤中，检查装置基于所检测出的图像中的、所聚焦的探针的针头的位置，确定各探针的针头的位置。在调节步骤中，检查装置基于所确定的各个探针的针头的位置，调节各个探针的针头的位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】探针的针头位置调节方法和检查装置
本专利技术的各个方面和实施方式涉及探针的针头位置调节方法和检查装置。
技术介绍
半导体制造工艺中，在半导体晶片上形成具有规定的电路图案的多个半导体器件。所形成的半导体器件要进行电特性等的检查，甄别出合格品和非合格品。半导体器件电特性的检查在各半导体器件被分割前的半导体晶片的状态下使用检查装置进行。检查装置包括设置有多个探针的探针卡。检查装置以使设置于探针卡的各探针能够接触设置于半导体器件上的测试垫的方式使探针卡与半导体器件靠近。并且，检查装置在各测试垫接触了探针的状态下，经由各探针对半导体器件供给电信号，基于经由各探针从半导体器件输出的电信号甄别该半导体器件是否为非合格品。另外，已知有使用摄像机进行形成于半导体元件上的接合线的形状的检查的技术。在这样的结束中，对半导体元件上的接合线进行落射光照明，将被照明的接合线以多个不同高度方向的位置成为焦平面的方式进行拍摄，获取在接合线的各焦平面中的亮点像的图像数据。并且基于所获取的各焦平面中的亮点像的图像数据中的、存在于规定位置的亮点像的亮度和各焦平面的高度方向位置，确定接合线的高度。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平10-247669号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题但是，伴随着近年来的半导体器件的高集成化，设置于半导体器件的测试垫变小，测试垫间的间隔也变得狭窄。另外，伴随着近年来的半导体器件的高功能化，设置于半导体器件的测试垫的数量变多。因此，在探针卡中，大量的探针以狭窄间距配置。为了使这样的大量的探针与分别对应的测试垫可靠地接触，探针的针头与测试垫的对位变得重要。为了判断探针的针头的位置是否配置于所希望的位置，需要准确地确定探针的针头的位置。作为确定探针的针头的位置的方法，有利用摄像机对探针的针头进行拍摄，基于所拍摄的摄像机的位置与图像内的探针的针头的位置，确定探针的针头的位置的方法。但是，随着近年来的半导体器件的高集成化，在探针卡中设置有庞大数量的探针。因此，如果将一个一个的探针的针头分别地用摄像机进行拍摄，确定探针的针头的位置的处理需要花费大量的时间。因此，半导体器件的检查也需要花费大量的时间。用于解决问题的技术手段本专利技术的一个方面是一种检查装置中的探针的针头位置调节方法，所述检查装置通过使探针的针头与设置于被检查体的多个测试垫的每一个接触，并经由多个探针的针头对被检查体供给电信号，来检查被检查体，在该方法中，检查装置执行拍摄步骤、存储步骤、检测步骤、确定步骤和调节步骤。在拍摄步骤中，检查装置使摄像机沿着各个探针的高度方向移动，使摄像机以在1个图像内显现有多个探针的针头的方式拍摄多个探针的针头。在存储步骤中，检查装置将由摄像机拍摄的图像与摄像机的聚焦面的位置信息相对应地存储在存储部中。在检测步骤中，检查装置基于所拍摄的各个图像，检测聚焦于探针的针头的图像。在确定步骤中，检查装置基于所检测出的图像中的、所聚焦的探针的针头的位置，确定各探针的针头的位置。在调节步骤中，检查装置基于所确定的各个探针的针头的位置，调节各个探针的针头的位置。专利技术效果依据本专利技术的各个方面和实施方式，能够缩短被检查体的检查所需的时间。附图说明图1是表示检查装置的一例的主要部分截面图。图2是表示控制装置的一例的模块图。图3是说明摄像机的移动方向与聚焦面的位置的关系的一例的图。图4是表示由摄像机拍摄的图像的一例的图。图5是表示由摄像机拍摄的图像的一例的图。图6是表示由摄像机拍摄的图像的一例的图。图7是表示由摄像机拍摄的图像的一例的图。图8是说明拍摄悬臂梁型的探针时的摄像机的移动方向与聚焦面的位置的关系的一例的图。图9是表示由摄像机拍摄的图像的一例的图。图10是表示由摄像机拍摄的图像的一例的图。图11是表示由摄像机拍摄的图像的一例的图。图12是表示控制装置的硬件的一例的图。具体实施方式公开的探针的针头位置调节方法，在一个实施方式中是一种检查装置中的探针的针头位置调节方法，所述检查装置通过使探针的针头与设置于被检查体的多个测试垫的每一个接触，并经由多个探针的针头对被检查体供给电信号，来检查被检查体，在该方法中，检查装置执行拍摄步骤、存储步骤、检测步骤、确定步骤和调节步骤。在拍摄步骤中，检查装置使摄像机沿着各个探针的高度方向移动，使摄像机以在1个图像内显现有多个探针的针头的方式拍摄多个探针的针头。在存储步骤中，检查装置将由摄像机拍摄的图像与摄像机的聚焦面的位置信息相对应地存储在存储部中。在检测步骤中，检查装置基于所拍摄的各个图像，检测聚焦于探针的针头的图像。在确定步骤中，检查装置基于所检测出的图像中的、所聚焦的探针的针头的位置，确定各探针的针头的位置。在调节步骤中，检查装置基于所确定的各个探针的针头的位置，调节各个探针的针头的位置。另外，公开的探针的针头位置调节方法的一个实施方式中，检查装置可以在确定步骤中，将与检测步骤所检测出的图像相对应的位置信息所表示的位置，确定为探针的针头的高度方向上的位置。另外，公开的探针的针头位置调节方法的一个实施方式中，检查装置可以在检测步骤中，对于每一个探针，当检测出多个聚焦的图像的情况下，将所检测出的多个图像中的、在高度方向上距离探针的针头最远的位置所拍摄的图像，检测为聚焦于探针的针头的图像。另外，公开的探针的针头位置调节方法的一个实施方式中，检查装置可以在检测步骤中，对于每一个探针，对存储部所存储的各个图像确定聚焦的区域的大小，并将多个图像中的、与各个探针的针头对应的区域大小成为最小的图像，检测为聚焦于探针的针头的图像。另外，公开的探针的针头位置调节方法的一个实施方式中，检查装置可以在检测步骤中，对于每一个探针，对存储部所存储的图像之中的、比存储部所存储的图像的数量少的数量的多个图像的每一个，计算用于评价在探针的针头所显现的区域中的聚焦的指标值，推算所计算出的指标值的变化趋势，并推算在所推算的趋势中指标值成为最大的情况下的高度方向上的聚焦面的位置，将距所推算的位置最近的表示位置的位置信息所对应的图像，检测为聚焦于探针的针头的图像。另外，公开的探针的针头位置调节方法，在一个实施方式中是一种检查装置中的探针的针头位置调节方法，所述检查装置通过使探针的针头与设置于被检查体的多个测试垫的每一个接触，并经由多个探针的针头对被检查体供给电信号，来检查被检查体，在该方法中，检查装置实施第1拍摄步骤、存储步骤、检测步骤、第1确定步骤、移动步骤、第2拍摄步骤、第2确定步骤和调节步骤。在第1拍摄步骤中，检查装置使摄像机沿着各个探针的高度方向移动，在移动了的摄像机的各位置，使摄像机以在1个图像内显现有第1范围内的多个探针的针头的方式拍摄多个探针的针头。在存储步骤中，检查装置将摄像机所拍摄的图像与摄像机的聚焦面的位置信息相对应地存储在存储部中。在检测步骤中，检查装置对于每一个探针，基于存储于存储本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检查装置中的探针的针头位置调节方法，所述检查装置通过使所述探针的针头与设置于被检查体的多个测试垫的每一个接触，并经由多个所述探针的针头对所述被检查体供给电信号，来检查所述被检查体，所述探针的针头位置调节方法的特征在于：/n使检查装置执行以下的步骤，即：/n拍摄步骤，使摄像机沿着各个所述探针的高度方向移动，在移动了的所述摄像机的各位置，使所述摄像机以在1个图像内显现有多个所述探针的针头的方式拍摄多个所述探针的针头；/n存储步骤，将所述摄像机所拍摄的图像与表示所述摄像机的聚焦面的位置的位置信息相对应地存储在存储部中；/n检测步骤，对于每一个所述探针，基于存储于所述存储部中的各个所述图像，检测聚焦于所述探针的针头的图像；/n确定步骤，对于每一个所述探针，基于所述检测步骤所检测出的图像中的、所聚焦的所述探针的针头的位置，确定多个所述探针的排列方向上的所述探针的针头的位置；和/n调节步骤，基于所述确定步骤所确定的各个所述探针的针头的位置，调节各个所述探针的针头的位置。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171201 JP 2017-2318741.一种检查装置中的探针的针头位置调节方法，所述检查装置通过使所述探针的针头与设置于被检查体的多个测试垫的每一个接触，并经由多个所述探针的针头对所述被检查体供给电信号，来检查所述被检查体，所述探针的针头位置调节方法的特征在于：
使检查装置执行以下的步骤，即：
拍摄步骤，使摄像机沿着各个所述探针的高度方向移动，在移动了的所述摄像机的各位置，使所述摄像机以在1个图像内显现有多个所述探针的针头的方式拍摄多个所述探针的针头；
存储步骤，将所述摄像机所拍摄的图像与表示所述摄像机的聚焦面的位置的位置信息相对应地存储在存储部中；
检测步骤，对于每一个所述探针，基于存储于所述存储部中的各个所述图像，检测聚焦于所述探针的针头的图像；
确定步骤，对于每一个所述探针，基于所述检测步骤所检测出的图像中的、所聚焦的所述探针的针头的位置，确定多个所述探针的排列方向上的所述探针的针头的位置；和
调节步骤，基于所述确定步骤所确定的各个所述探针的针头的位置，调节各个所述探针的针头的位置。


2.如权利要求1所述的探针的针头位置调节方法，其特征在于：
所述检查装置在所述确定步骤中，将与所述检测步骤所检测出的图像相对应的位置信息所表示的位置，确定为所述探针的针头的高度方向上的位置。


3.如权利要求1所述的探针的针头位置调节方法，其特征在于：
所述检查装置在所述检测步骤中，对于每一个所述探针，当检测出多个聚焦的图像的情况下，将所检测出的多个图像中的、在所述高度方向上距离所述探针的针头最远的位置所拍摄的图像，检测为聚焦于所述探针的针头的图像。


4.如权利要求1所述的探针的针头位置调节方法，其特征在于：
所述检查装置在所述检测步骤中，对于每一个所述探针，对所述存储部所存储的各个所述图像确定聚焦的区域的大小，并将多个所述图像中的、与各个所述探针的针头对应的所述区域大小成为最小的图像，检测为聚焦于所述探针的针头的图像。


5.如权利要求1所述的探针的针头位置调节方法，其特征在于：
所述检查装置在所述检测步骤中，对于每一个所述探针，对所述存储部所存储的所述图像之中的、比所述存储部所存储的所述图像的数量少的数量的多个图像的每一个，计算用于评价在所述探针的针头所显现的区域中的聚焦的指标值，推算所计算出的所述指标值的变化趋势，并推算在所推算的趋势中所述指标值成为最大的情况下的所述高度方向上的聚焦面的位置，将距所推算的位置最近的表示位置的位置信息所对应的图像，检测为聚焦于所述探针的针头的图像。


6.一种检查装置中的探针的针头位置调节方法，所述检查装置通过使所述探针的针头与设置于被检...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边真二郎，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP