阀装置、泵头及泵装置制造方法及图纸

本发明专利技术的一个方式的阀装置具有：阀座、阀构件以及紧固件。所述阀座由锥体状的凹面形成，所述锥体状的凹面具有形成有连接孔的底部并在所述连接孔的周围形成有多个通气孔。所述阀构件具有支承部和多个阀部，所述支承部与所述底部相向；所述多个阀部具有从所述支承部的外侧向径向延伸的多个缝隙，所述多个阀部与所述多个通气孔相向并能够弹性变形。所述紧固件与所述连接孔连接并将所述支承部固定在所述阀座。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】阀装置、泵头及泵装置
本专利技术涉及吸排气用的阀装置、泵头以及具有该泵头的泵装置。
技术介绍
作为容积型泵的一种的隔膜泵是将进行流体的流通通道的开闭控制的阀机构与隔膜的往复运动进行组合而使流体移动。在阀机构中使用了止回阀，作为止回阀，常常使用阀舌结构的板状阀(以下称为舌阀。)、圆形结构的圆形阀。舌阀一般使用钢等弹簧应力比较强的材料。在使用了舌阀的阀机构中，舌阀的一端通过固定螺丝固定在阀座。舌阀的另一端为自由端，能够在与阀座的阀座面接触的关闭位置和离开阀座面的打开位置之间在双向上移动。(例如参照专利文献1。)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2005-282483号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题近年来，在这种泵装置中，要求进一步提高极限真空度。然而，现有的阀机构存在不能实现死区(deadspace)的削减、难以提高极限真空度的问题。本专利技术的目的在于提供一种能够实现极限真空度的提高的阀装置、泵头及具有该泵头的泵装置。用于解决问题的方案为了实现上述目的，本专利技术的一个方式的阀装置具有：阀座、阀构件以及紧固件。所述阀座由锥体状的凹面形成，所述锥体状的凹面具有形成有连接孔的底部并在所述连接孔的周围形成有多个通气孔。所述阀构件具有支承部和多个阀部，所述支承部与所述底部相向，所述多个阀部具有从所述支承部的外侧向径向延伸的多个缝隙，所述多个阀部与所述多个通气孔相向并能够弹性变形。所述紧固件与所述连接孔连接并将所述支承部固定在所述阀座。所述阀构件可以由使用合成树脂材料形成的圆形板材构成，所述多个阀部可以与所述多个通气孔分别对应地配置。所述多个通气孔可以具有与所述连接孔同心的圆弧形状。在所述多个缝隙的所述支承部侧的端部可以具有扩宽部。本专利技术的一个方式的泵头具有：基底构件、吸气阀装置以及排气阀装置。所述基底构件具有第一面以及与所述第一面相反的一侧的第二面。所述吸气阀装置设置在所述第一面。所述排气阀装置设置在所述第二面。所述吸气阀装置和所述排气阀装置分别具有阀座、阀构件以及紧固件。所述阀座由锥体状的凹面形成，所述锥体状的凹面具有形成有连接孔的底部并在所述连接孔的周围形成有多个通气孔。所述阀构件具有支承部和多个阀部，所述支承部与所述底部相向，所述多个阀部具有从所述支承部向径向延伸的多个缝隙，所述多个阀部与所述多个通气孔相向并能够弹性变形。所述紧固件与所述连接孔连接并将所述支承部固定在所述阀座。专利技术效果如上所述，根据本专利技术，能够实现极限真空度的提高。附图说明图1为表示本专利技术的一实施方式的泵装置的整体的立体图。图2为上述泵装置的主要部分的纵向剖视图，表示隔膜位于上死点时的形态。图3为表示上述泵装置中的构成泵头的基底构件的图，(A)为俯视图，(B)为仰视图，(C)为剖视图。图4为表示上述泵头的图，(A)为俯视图，(B)为仰视图，(C)为剖视图。图5为表示在安装于上述基底构件之前的阀构件的自然状态的俯视图。图6为在安装于上述基底构件时的阀构件的立体图。图7为用于说明在上述泵头中的流通通道的形状、流通通道与阀体的位置关系的阀构件的俯视图。图8为上述泵头中的吸气阀装置的部分剖视图，是用于说明阀体的开闭机构的图。图9为用于说明上述泵头中的死区的部分剖视图和俯视图。图10为用于说明第一比较例的泵头中的死区的部分剖视图和俯视图。图11为用于说明第二比较例的泵头中的死区的部分剖视图和俯视图。图12为用于对本专利技术的一实施方式的泵装置的泵头中的死区进行说明的泵装置的部分剖视图。图13为用于对第三比较例的泵装置的泵头中的死区进行说明的泵装置的部分剖视图。图14为用于说明第一比较例的阀装置的泵头的部分剖视图。图15为用于说明第二比较例的阀装置的泵头的部分剖视图。具体实施方式以下，一边参照附图一边说明本专利技术的实施方式。[泵装置]图1为表示本专利技术的一实施方式的泵装置的图。本实施方式的泵装置1具有第一泵部11和第二泵部12，第一泵部11和第二泵部12通过连接管13将泵室串联连接。通过泵装置1，作为流体的气体经由连接于第二泵部12的吸气管14被吸入，并经由连接于第一泵部11的排气管15被排出。泵装置1构成为容积型泵，在本实施方式中，泵装置1为使用了隔膜的隔膜泵。泵装置1用于例如离心蒸发器的抽真空。第一泵部11和第二泵部12分别构成为真空泵。第一泵部11和第二泵部12典型地具有共同的结构，在本实施方式中构成为隔膜泵等。图2为表示第一泵部11的结构的纵向剖视图。在图2中，X轴、Y轴以及Z轴分别表示相互正交的三个轴方向。图2表示隔膜处于上死点时的形态。另外，由于第二泵部12构成为与第一泵部11相同，所以在此主要说明第一泵部11。泵装置1具有泵主体10和送风单元300。泵主体10具有电动机M、转换机构200、泵壳体100、隔膜61、基座109、泵头60以及泵头罩113。泵壳体100收容电动机M和转换机构200。在泵主体10中，泵壳体100、基座109、泵头60以及泵头罩113在Z轴方向上堆叠。基座109由铝合金等金属材料构成，其平面形状形成为大致矩形。基座109配置在泵壳体100与泵头60之间。隔膜61以变形自由的方式收容在由基座109和泵头60形成的空间。泵头60由铝合金等金属材料构成，该泵头是具有第一面60a和第二面60b的平面形状为大致矩形的板状构件，所述第一面60a位于隔膜61侧，所述第二面60b为该第一面60a的相反侧。泵头60配置在基座109的上表面。在泵头60与隔膜61之间形成泵室66。泵头60配置在隔膜61与泵头罩113之间，并分别具有作为阀体的吸气阀41和排气阀51。泵头60的详情在后面叙述。隔膜61以将金属制的型芯(芯材)67包入内部的方式形成为圆形薄板状。隔膜61在沿其周缘的区域具有规定宽度的变形部61a。隔膜61由橡胶、合成树脂等形成。隔膜61是在由基座109和泵头60形成的空间内能够往复运动的往复运动头。隔膜61的周缘部被夹持在基座109与泵头60之间。隔膜61通过往复动作使流体移动而使设置在其与泵头60之间的泵室66的体积变化。隔膜61一边在与Z轴方向平行的方向上变形一边往复移动，通过吸气阀41和排气阀51使泵室66交替地吸气和排气，由此进行规定的泵作用。泵室66包含在泵头60与隔膜61之间形成的主室661(参照图12)、泵头60中的吸气侧阀座71的圆锥台状的凹部75的区域、以及排气侧流通通道52a、52b的区域。型芯67构成为在隔膜61位于上死点(参照图2)时隔膜61的泵头60侧的表面沿着泵头60的第一面60a。此外，在型芯67的与泵头60侧的表面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阀装置，其具有：/n阀座，其由锥体状的凹面形成，所述锥体状的凹面具有形成有连接孔的底部并在所述连接孔的周围形成有多个通气孔；/n阀构件，其具有支承部和多个阀部，所述支承部与所述底部相向，所述多个阀部具有从所述支承部的外侧向径向延伸的多个缝隙，所述多个阀部与所述多个通气孔相向并能够弹性变形；以及/n紧固件，其与所述连接孔连接并将所述支承部固定在所述阀座。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种阀装置，其具有：
阀座，其由锥体状的凹面形成，所述锥体状的凹面具有形成有连接孔的底部并在所述连接孔的周围形成有多个通气孔；
阀构件，其具有支承部和多个阀部，所述支承部与所述底部相向，所述多个阀部具有从所述支承部的外侧向径向延伸的多个缝隙，所述多个阀部与所述多个通气孔相向并能够弹性变形；以及
紧固件，其与所述连接孔连接并将所述支承部固定在所述阀座。


2.根据权利要求1所述的阀装置，其中，
所述阀构件由使用合成树脂材料形成的圆形的板材构成，
所述多个阀部与所述多个通气孔分别对应地配置。


3.根据权利要求2所述的阀装置，其中，
所述多个通气孔具有与所述连接孔同心的圆弧形状。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木雄吾，
申请(专利权)人：爱发科机工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP