固体摄像元件制造技术

本发明专利技术提供一种使用行选择控制这样的通常的固体摄像元件所具有的功能来降低1/f噪声的固体摄像元件。固体摄像元件(1A)包括：像素阵列(A)，其排列有多列像素(P)；行选择部(13)，其指定像素阵列(A)的读取行；以及控制装置(30)，其通过对行选择部(13)进行控制从而对各像素(P)所保持的信息进行多次扫描，并输出与通过该扫描获得的来自各像素(P)的信息的多次读取结果对应的输出值。

【技术实现步骤摘要】
固体摄像元件
本专利技术的一个方案涉及一种包括产生基于所射入的放射线的射线量的电信号的传感器元件的固体摄像元件。
技术介绍
作为输出与所射入的放射线例如X射线的射线量对应的电信号的传感器元件，已知有将X射线直接转换为电信号的直接转换型的传感器元件。另外，还已知有在利用闪烁器将X射线转换为光后利用光电二极管等光电转换元件转换为电信号的间接转换型传感器元件。X射线图像摄像用的面板通过如下方式构成：按每个像素设置上述传感器元件并将该像素以二维矩阵状配置在基板(面板)上。在这样的面板中，针对各像素的控制使用薄膜晶体管(TFT：ThinFilmTransistor)元件。并且，在直接转换型及间接转换型的任意一者中，均将对应于X射线的射线量而产生的电信号(电荷)蓄积于各像素内的电容。对于将该蓄积于电容的电信号(电荷)经由TFT元件向位于面板的外部的放大器传送的构造，将其称为无源像素型。另外，对于将TFT元件用作放大元件而将所蓄积于电容的电信号(电荷)放大并向外部的电路传输的构造，将其称为有源像素型。对于有源像素型，由于能够在像素内放大所蓄积本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种固体摄像元件，其特征在于，包括：/n像素阵列，其排列有多列像素；/n行选择部，其指定所述像素阵列的读取行；以及/n控制部，其通过控制所述行选择部，对各像素所保持的信息进行多次扫描，并输出与通过该扫描获得的来自各像素的所述信息的多次读取结果对应的输出值。/n

【技术特征摘要】
20181226 US 62/7848491.一种固体摄像元件，其特征在于，包括：
像素阵列，其排列有多列像素；
行选择部，其指定所述像素阵列的读取行；以及
控制部，其通过控制所述行选择部，对各像素所保持的信息进行多次扫描，并输出与通过该扫描获得的来自各像素的所述信息的多次读取结果对应的输出值。


2.根据权利要求1所述的固体摄像元件，其特征在于，
所述控制部输出通过多次所述扫描获得的读取结果的平均值以作为所述输出值。


3.根据权利要求2所述的固体摄像元件，其特征在于，
所述控制部在对多次所述扫描期间产生的电荷的泄漏进行修正后计算所述平均值。

【专利技术属性】
技术研发人员：芦田伸之，饭塚邦彦，田口滋也，盐田昌弘，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP