一种柔性基板、其制备方法以及包含其的柔性显示面板和柔性显示器件技术

本发明专利技术提供一种柔性基板、其制备方法以及包含其的柔性显示面板和柔性显示器件，所述柔性基板从下至上依次包括叠合在一起的第一柔性材料层、图案化的无机层或金属层以及第二柔性材料层。本发明专利技术将柔性基板的无机层或金属层进行图案化，可以降低膜层的应力，提高耐弯折性，第二层柔性材料层的存在可以平坦化无机层或金属层图案化所造成的膜面凹凸，为在其上进行薄膜晶体管的制作提供均一性较优的膜面。将所述柔性基板应用于柔性显示器件，使得柔性显示器件具有良好的耐弯折性，并能保持良好的光电性能。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性基板、其制备方法以及包含其的柔性显示面板和柔性显示器件
本专利技术属于显示面板
，涉及一种柔性基板及其制备方法以及包含其的柔性显示面板和柔性显示器件。
技术介绍
柔性显示是一种基于柔性基底形成的显示装置，由于柔性显示装置具有可卷曲、宽视角、便于携带等特点，因此具有广阔的应用前景和良好的市场潜力。，柔性显示装置的弯折性最主要依赖于柔性基板的设计，包括柔性基板的材料、柔性基板的结构等。柔性显示器件的制作需要使用聚酰亚胺高分子材料等柔性材料，聚酰亚胺材料本身的阻水氧能力较低；现通常采用双层聚酰亚胺加无机/金属层的结构提高柔性基板的阻水氧能力；整面性的无机层/金属层大大降低了基板的耐弯折性能，不利于柔性显示耐弯折性能的提高。CN107768530A公开了一种柔性基板，包括二层柔性基底，在二层柔性基底之间设有至少一层由氧化硅和非晶硅构成的叠层材料。其需要在制作完叠层材料后对叠层材料进行去氢处理，以保证其弯折性以及减少柔性基板在后段制程中缺陷的产生。因此，在本领域中，如何在保证具有良好耐弯折性能的同时保持柔性基本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性基板，其特征在于，所述柔性基板从下至上依次包括叠合在一起的第一柔性材料层、图案化的无机层或金属层以及第二柔性材料层。/n

【技术特征摘要】
1.一种柔性基板，其特征在于，所述柔性基板从下至上依次包括叠合在一起的第一柔性材料层、图案化的无机层或金属层以及第二柔性材料层。


2.根据权利要求1所述的柔性基板，其特征在于，所述柔性材料为聚酰亚胺、聚醚砜、聚丙烯酸酯、聚醚酰亚胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚、聚丙烯酯、聚碳酸酯或者醋酸丙酸纤维素的聚合树脂中的任意一种或至少两种的组合，优选聚酰亚胺。


3.根据权利要求1或2所述的柔性基板，其特征在于，所述无机层为氮化硅层、氧化硅层或非晶硅层中的任意一种；
优选地，所述金属层为金属铜层、金属银层、金属钛层或金属铝层中的任意一种。


4.根据权利要求1-3中任一项所述的柔性基板，其特征在于，所述图案化的无机层或金属层的图案为三角形、菱形、正方形、长方形、圆形或梯形中的任意一种或两种以上的任意组合；
优选地，所述图案化的无机层或金属层的图案与图案之间的空隙可由第二柔性材料层的柔性材料填充。


5.根据权利要求1-4中任一项所述的柔性基板，其特征在于，所述第一柔性材料层的厚度为5-15μm；
优选地，所述图案化的无机层或金属层中图案部分的厚度为10-1000nm；
优选地，所述第二柔性材料层的厚度为5-15μm。


6.根据权利要求1-5中任一项所述的柔性基板，其特征在于，所述柔性基板从下至上依次包括叠合在一起的第一柔性材料层、图案化的无机层或金属层以及第二柔性材料层，所述图案化的无机层或金属...

【专利技术属性】
技术研发人员：苑志磊，
申请(专利权)人：上海和辉光电有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31