抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案的制造方法技术

技术编号:24798074 阅读:60 留言:0更新日期:2020-07-07 20:49
本发明专利技术提供一种经时变化小、可以制造图案形状良好的抗蚀剂图案的抗蚀剂组合物。本发明专利技术的抗蚀剂组合物包含羟基由以式(3)表示的基团取代了的线型酚醛树脂、产酸剂、猝灭剂和溶剂,式(3)中,R

【技术实现步骤摘要】
抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案的制造方法
本专利技术涉及抗蚀剂组合物及使用抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的制造方法等。
技术介绍
专利文献1、2中记载有一种抗蚀剂组合物,其含有以叔丁氧基羰基保护了甲酚线型酚醛的羟基的树脂。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开平5-216244号公报专利文献2:日本特开平9-6003号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题本专利技术的目的在于,提供一种经时变化小、能够制造图案形状良好的抗蚀剂图案的抗蚀剂组合物。用于解决问题的方法本专利技术包括以下的专利技术。[1]一种抗蚀剂组合物,其包含羟基由以式(3)表示的基团取代了的线型酚醛树脂、产酸剂、猝灭剂和溶剂。[式(3)中,Ra10表示碳原子数1~20的烃基。*表示键合端。][2]根据[1]记载的抗蚀剂组合物,其中,线型酚醛树脂为苯酚线型酚醛树脂。[3]根据[1]或[2]记载的抗蚀剂组合物,其还包含具有以式(2)表示的基团的树脂。[式(2)中,Ra1’及Ra2’相互独立地表示氢原子或碳原子数1~12的烃基,Ra3’表示碳原子数1~20的烃基;或者Ra1’表示氢原子或碳原子数1~12的烃基,Ra2’及Ra3’相互键合并与它们所键合的碳原子及氧原子一起形成碳原子数2~20的杂环基。该碳原子数1~12的烃基、该碳原子数1~20的烃基及该碳原子数2~20的杂环基中所含的亚甲基可以由氧原子或硫原子置换。*表示键合端。][4]根据[3]记载的抗蚀剂组合物,其中,具有以式(2)表示的基团的树脂为包含以式(a1-2)表示的结构单元的树脂。[式(a1-2)中,Ra1’及Ra2’相互独立地表示氢原子或碳原子数1~12的烃基,Ra3’表示碳原子数1~20的烃基;或者Ra1’表示氢原子或碳原子数1~12的烃基,Ra2’及Ra3’相互键合并与它们所键合的碳原子及氧原子一起形成碳原子数2~20的2价的杂环基。该碳原子数1~12的烃基、该碳原子数1~20的烃基及该碳原子数2~20的杂环基中所含的亚甲基可以由氧原子或硫原子置换。Ra5表示氢原子或甲基。Ra6表示碳原子数1~6的烷基或碳原子数1~6的烷氧基。m表示0~4的任意整数。在m为2以上时,多个Ra6彼此可以相同也可以不同。][5]根据[3]记载的抗蚀剂组合物,其中,具有以式(2)表示的基团的树脂为线型酚醛树脂,并且为该线型酚醛树脂的羟基由以式(2)表示的基团取代了的线型酚醛树脂。[6]一种抗蚀剂图案的制造方法,该制造方法包括:(1)将[1]~[5]中任一项记载的抗蚀剂组合物涂布于基板上的工序、(2)使涂布后的组合物干燥而形成组合物层的工序、(3)对组合物层进行曝光的工序、以及(4)将曝光后的组合物层显影的工序。专利技术效果根据本专利技术的抗蚀剂组合物,其经时变化小,可以制造图案形状良好的抗蚀剂图案。附图说明图1表示线条图案的剖面形状的示意图。图1(a)表示顶部形状及下部形状接近矩形而良好的剖面,图1(b)表示顶部形状不佳的剖面。具体实施方式本说明书中,只要没有特别写出,则所谓“(甲基)丙烯酸酯”是指“选自丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯中的至少一种”。“(甲基)丙烯酸”、“(甲基)丙烯酰基”等表述也具有相同的含义。在例示出具有“CH2=C(CH3)-CO-”或“CH2=CH-CO-”的结构单元的情况下,视为同样地例示出具有双方基团的结构单元的情况。另外,在存在立体异构体的情况下,包含所有的立体异构体。本说明书中,所谓“抗蚀剂组合物的固体成分”,是指从抗蚀剂组合物的总量中去掉后述的溶剂(D)而得的成分的总和。〔抗蚀剂组合物〕本专利技术的抗蚀剂组合物是包含树脂(以下有时称作“树脂(A)”)、产酸剂(以下有时称作“产酸剂(B)”)、猝灭剂(以下有时称作“猝灭剂(C)”)和溶剂(以下有时称作“溶剂(D)”)的抗蚀剂组合物。树脂(A)包含线型酚醛树脂的羟基由以式(3)表示的基团取代了的线型酚醛树脂(以下有时称作“树脂(A1)”。)。树脂(A)可以还包含不同于树脂(A1)的树脂(以下有时称作树脂(A2)及树脂(A3))。本专利技术的抗蚀剂组合物可以还包含密合性提高剂(以下有时称作“密合性提高剂(E)”)。〔树脂(A1)〕树脂(A1)是羟基由以式(3)表示的基团取代了的线型酚醛树脂,并且是指线型酚醛树脂所具有的羟基部分地由以式(3)表示的基团取代了的树脂。[式(3)中,Ra10表示碳原子数1~20的烃基。*表示键合端。]作为以Ra10表示的烃基,可以举出链式烃基(烷基、烯基及炔基)、脂环式烃基、芳香族烃基及通过将它们组合而形成的基团等。作为烷基,可以举出甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、以及辛基等。作为烯基,可以举出乙烯基、丙烯基、异丙烯基、丁烯基、异丁烯基、叔丁烯基、戊烯基、己烯基、庚烯基、辛烯基、异辛烯基、壬烯基。作为炔基,可以举出乙炔基、丙炔基、异丙炔基、丁炔基、异丁炔基、叔丁炔基、戊炔基、己炔基、辛炔基、壬炔基等。脂环式烃基可以是单环式及多环式的任意种。作为单环式的脂环式烃基,可以举出环戊基、环己基、环庚基、环辛基等环烷基。作为多环式的脂环式烃基,可以举出十氢萘基、金刚烷基、降冰片基及下述的基团(*表示键合端。)等。Ra10中的脂环式烃基的碳原子数优选为3~16。作为芳香族烃基,可以举出苯基、萘基、蒽基、联苯基、菲基等芳基等。作为通过组合而形成的基团,可以举出将烷基与脂环式烃基组合而得的基团、将烷基与芳香族烃基组合而得的基团、以及将芳香族烃基与脂环式烃基组合而得的基团等。作为将烷基与脂环式烃基组合而得的基团,例如可以举出甲基环己基、二甲基环己基、甲基降冰片基等烷基环烷基、以及环己基甲基、金刚烷基甲基、金刚烷基乙基、降冰片基乙基等环烷基烷基。作为将烷基与芳香族烃基组合而得的基团,例如可以举出苄基、苯乙基、苯丙基、三苯甲基、萘甲基、萘乙基、对甲基苯基、对叔丁基苯基、甲苯基、二甲苯基、异丙苯基、均三甲苯基(mesityl)、2,6-二乙基苯基、2-甲基-6-乙基苯基等芳烷基。作为将芳香族烃基与脂环式烃基组合而得的基团,例如可以举出苯基环己基等芳基-环烷基、对金刚烷基苯基等具有脂环式烃基的芳香族烃基。以式(3)表示的基团优选为酸不稳定基团。所谓酸不稳定基团,是指具有离去基团、并因与酸的接触而离去基团脱离从而形成亲水性基团(例如羟基或羧基)的基团。在以式(3)表示的基团为酸不稳定基团的情况下,优选为以式(3A)表示的基团。[式(3A)中,Ra1、Ra2及Ra3各自独立地表示碳原子数1~8的烷基或碳原子数3~20的脂环式烃基;或者Ra1及Ra2可以相互键合并与它们所键合的碳原子一起形本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抗蚀剂组合物,其包含羟基由以式(3)表示的基团取代了的线型酚醛树脂、产酸剂、猝灭剂和溶剂;/n

【技术特征摘要】
20181227 JP 2018-2444821.一种抗蚀剂组合物,其包含羟基由以式(3)表示的基团取代了的线型酚醛树脂、产酸剂、猝灭剂和溶剂;



式(3)中,Ra10表示碳原子数1~20的烃基;*表示键合端。


2.根据权利要求1所述的抗蚀剂组合物,其中,
线型酚醛树脂为苯酚线型酚醛树脂。


3.根据权利要求1所述的抗蚀剂组合物,其还包含具有以式(2)表示的基团的树脂;



式(2)中,Ra1’及Ra2’相互独立地表示氢原子或碳原子数1~12的烃基,Ra3’表示碳原子数1~20的烃基;或者
Ra1’表示氢原子或碳原子数1~12的烃基,Ra2’及Ra3’相互键合并与它们所键合的碳原子及氧原子一起形成碳原子数2~20的杂环基;所述碳原子数1~12的烃基、所述碳原子数1~20的烃基及所述碳原子数2~20的杂环基中所含的亚甲基任选由氧原子或硫原子置换;*表示键合端。


4.根据权利要求3所述的抗蚀剂组合物,其中,
具有以式(2)表示的基团的树脂为包含以式(a1-2)表示的结构单元的树脂;

【专利技术属性】
技术研发人员:杉原昌子肥后睦子
申请(专利权)人:住友化学株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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