【技术实现步骤摘要】
液晶显示装置及其形成方法
本专利技术涉及液晶显示,尤其涉及一种液晶显示装置及其形成方法。
技术介绍
液晶显示装置以体积小,重量轻,低辐射等优点被广泛应用于各种领域。液晶显示面板是液晶显示装置中最主要的组成部分。所述液晶显示面板包括阵列基板(TFT基板)、与所述阵列基板相对的彩色光阻层(CF基板)、位于所述彩色光阻层和阵列基板之间的间隔柱(PhotoSpacer,PS)、以及填充于相邻间隔柱之间的液晶。其中,所述彩色光阻层用于将通过液晶层的白光转化为不同颜色的光束,各不同颜色的光束重新汇聚形成图像画面。所述间隔柱用于使阵列基板和彩色光阻层之间保持一定的距离,以留有液晶注入空间,便于保持像素电极和公共电极之间电场的均匀性,避免影响液晶的灰阶显示。为了制作具有更高清晰度和更高分辨率的液晶显示装置,要求所述间隔柱的高度均一性较好。然而,现有技术形成的间隔柱的高度均一性较差。
技术实现思路
本专利技术解决的技术问题是一种液晶显示装置及其形成方法,以提高间隔柱高度的均一性。为解决上述技术问题, ...
【技术保护点】
1.一种液晶显示装置的形成方法,其特征在于,包括:/n提供第一基板;/n在所述第一基板表面形成矩阵层,所述矩阵层内具有沿相互垂直的第一方向和第二方向呈阵列排列的若干个第一开口,所述第一开口底部暴露出第一基板;/n形成平行于第一方向的若干光阻层,各光阻层位于所述第一开口内以及沿第一方向排列的若干矩阵层表面;/n去除矩阵层上的部分所述光阻层,在所述光阻层内形成第二开口,所述第二开口沿第一方向的尺寸小于沿第二方向的尺寸;/n在所述第二开口上形成间隔柱。/n
【技术特征摘要】
1.一种液晶显示装置的形成方法,其特征在于,包括:
提供第一基板;
在所述第一基板表面形成矩阵层,所述矩阵层内具有沿相互垂直的第一方向和第二方向呈阵列排列的若干个第一开口,所述第一开口底部暴露出第一基板;
形成平行于第一方向的若干光阻层,各光阻层位于所述第一开口内以及沿第一方向排列的若干矩阵层表面;
去除矩阵层上的部分所述光阻层,在所述光阻层内形成第二开口,所述第二开口沿第一方向的尺寸小于沿第二方向的尺寸;
在所述第二开口上形成间隔柱。
2.如权利要求1所述的液晶显示装置的形成方法,其特征在于,所述第二开口沿第一方向上的尺寸与第二开口沿第二方向上的尺寸的比为:1:2~1:4。
3.如权利要求1所述的液晶显示装置的形成方法,其特征在于,沿第一方向上,所述间隔柱的尺寸大于第二开口的尺寸,且沿第二方向上,所述间隔柱的尺寸小于第二开口的尺寸。
4.如权利要求1所述的液晶显示装置的形成方法,其特征在于,所述第二开口的形成方法包括:形成第一掩膜层,所述第一掩膜层包括半透光区;以所述第一掩膜层为掩膜,对所述光阻层曝光显影,去除所述半透光区光阻层形成第二开口。
5.如权利要求1所述的液晶显示装置的形成方法,其特征在于,形成所述第二开口之后,形成所述间隔柱之前,还包括:在所述光阻层表面以及第二开口内形成平坦化层,所述平坦化层充满第二开口;所述间隔柱位于第二开口内平坦化层的表面。
6.如权利要求5所述的液晶显示装置的形成方法,其特征在于,所述间隔柱顶部表面到平坦化层顶部表面的最大尺寸为:2微米~5微米。
7.如权利要求1所述的液...
【专利技术属性】
技术研发人员:陆晨欢,王达兴,徐广军,范刚洪,
申请(专利权)人:上海仪电显示材料有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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