磁场检测装置和磁场检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术的磁场检测装置具备：磁检测元件，具有沿着第一方向的灵敏度轴；调制线圈，可以对磁检测元件施加第一频率的交流磁场，第一频率的交流磁场包括与第一方向正交的第二方向的分量；以及解调部，对来自磁检测元件的第一频率的输出信号进行解调，并且根据输出信号的振幅检测磁检测元件受到的被测定磁场的强度。

【技术实现步骤摘要】
磁场检测装置和磁场检测方法
本专利技术涉及一种具备磁检测元件的磁场检测装置和使用磁检测元件的磁场检测方法。
技术介绍
迄今为止，提出了通过对巨磁电阻效应元件施加交流磁场来对外磁场发挥高检测分辨率的磁电阻效应型传感器(例如参照专利文献1)。另外，提出了具有对磁传感器集中磁通量的构造的MEMS器件(例如参照专利文献2)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平11-101861号公报专利文献2：美国专利第7、915、891号说明书
技术实现思路
然而，在这样的磁场检测装置中，期望对磁场具有更高的检测分辨率。因此，期望提供一种具有更高的检测分辨率的磁场检测装置。并且，期望提供一种能够用更高的检测分辨率检测磁场的磁场检测方法。作为本专利技术的一种实施方式的磁场检测装置，具备：磁检测元件，具有沿着第一方向的灵敏度轴；调制线圈，可以对磁检测元件施加第一频率的交流磁场，第一频率的交流磁场包括与第一方向正交的第二方向的分量；以及解调部，对来自磁检测元件的第一频率的输出信号进行解调，并且根据输本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁场检测装置，具备：/n磁检测元件，具有沿着第一方向的灵敏度轴；/n调制线圈，可以对所述磁检测元件施加第一频率的交流磁场，所述第一频率的交流磁场包括与所述第一方向正交的第二方向的分量；以及/n解调部，对来自所述磁检测元件的所述第一频率的输出信号进行解调，并且根据所述输出信号的振幅检测所述磁检测元件受到的被测定磁场的强度。/n

【技术特征摘要】
20181225 JP 2018-2414091.一种磁场检测装置，具备：
磁检测元件，具有沿着第一方向的灵敏度轴；
调制线圈，可以对所述磁检测元件施加第一频率的交流磁场，所述第一频率的交流磁场包括与所述第一方向正交的第二方向的分量；以及
解调部，对来自所述磁检测元件的所述第一频率的输出信号进行解调，并且根据所述输出信号的振幅检测所述磁检测元件受到的被测定磁场的强度。


2.根据权利要求1所述的磁场检测装置，其中，
所述解调部具有高通滤波器，所述高通滤波器使小于所述第一频率且大于等于第二频率的频率分量通过。


3.根据权利要求2所述的磁场检测装置，其中，
所述解调部进一步具有相位检波电路，所述相位检波电路参照所述第一频率的方波取出相位检波信号，所述第一频率的方波的相位与来自所述磁检测元件的所述输出信号的相位相同。


4.根据权利要求3所述的磁场检测装置，其中，
所述解调部进一步具有低通滤波器，所述低通滤波器使所述相位检波信号中的被测定分量平滑化且使其通过。


5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：清野浩，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP