分析装置、分析方法和存储介质制造方法及图纸

技术编号:24797037 阅读:58 留言:0更新日期:2020-07-07 20:40
本发明专利技术提供分析装置、分析方法和存储介质。基于与测量对象中包含的碳化合物的量相关的信息,准确地修正与荧光X射线相关的信息。分析装置(100)包括:X射线测量装置(2)、光学特性测量装置(3)和运算部(4)。X射线测量装置(2)检测从测量对象产生的荧光X射线。光学特性测量装置(3)获取测量对象中包含的碳化合物的荧光X射线以外的光学特性。运算部(4)基于碳化合物的光学特性,计算与测量对象中包含的碳化合物的量相关的信息,并且基于与该碳化合物的量相关的信息,修正与由X射线测量装置(2)测量的荧光X射线相关的信息。

【技术实现步骤摘要】
分析装置、分析方法和存储介质
本专利技术涉及分析装置、分析方法和存储有使计算机执行该分析方法的程序的存储介质,基于从测量对象产生的荧光X射线来获取与该测量对象中包含的元素相关的信息。
技术介绍
以往,公知一种方法,基于从测量对象产生的荧光X射线来分析该测量对象中包含的元素。例如,公知一种装置,由捕集过滤器捕集包含在大气中的漂浮颗粒状物质(例如PM2.5),基于从该捕集的漂浮颗粒状物质产生的荧光X射线,分析漂浮颗粒状物质中包含的元素(例如专利文献1)。该装置能够每隔规定的时间捕集漂浮颗粒状物质并执行连续的分析。现有技术文献专利文献1:日本专利公开公报特开2015-219197号在使用荧光X射线的测量对象的元素分析中,由于测量对象自身吸收测量对象产生的荧光X射线的现象(自吸收)的影响,有时不能准确地执行元素分析。例如,在像漂浮颗粒状物质一样主成分是碳化合物的测量对象的情况下,由于该碳化合物的自吸收,有时不能准确地执行测量对象中包含的碳以外的元素的分析。另外,作为上述碳化合物例如具有黑碳、有机碳本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分析装置,基于从测量对象产生的荧光X射线,获取与所述测量对象中包含的元素相关的信息,所述分析装置的特征在于包括:/nX射线测量装置,测量所述荧光X射线;/n光学特性测量装置,获取所述测量对象中包含的碳化合物的所述荧光X射线以外的光学特性;以及/n运算部,基于所述碳化合物的光学特性,计算与所述测量对象中包含的所述碳化合物的量相关的信息,并且基于计算出的与所述碳化合物的量相关的信息,修正与由所述X射线测量装置测量的所述荧光X射线相关的信息。/n

【技术特征摘要】
20181227 JP 2018-2450401.一种分析装置,基于从测量对象产生的荧光X射线,获取与所述测量对象中包含的元素相关的信息,所述分析装置的特征在于包括:
X射线测量装置,测量所述荧光X射线;
光学特性测量装置,获取所述测量对象中包含的碳化合物的所述荧光X射线以外的光学特性;以及
运算部,基于所述碳化合物的光学特性,计算与所述测量对象中包含的所述碳化合物的量相关的信息,并且基于计算出的与所述碳化合物的量相关的信息,修正与由所述X射线测量装置测量的所述荧光X射线相关的信息。


2.根据权利要求1所述的分析装置,其特征在于,所述光学特性测量装置具有测量所述测量对象的光学特性的传感器。


3.根据权利要求2所述的分析装置,其特征在于,所述传感器是获取所述测量对象的图像数据的图像获取传感器。


4.根据权利要求3所述的分析装置,其特征在于,所述光学特性测量装置具有配置在所述传感器和所述测量对象之间的滤光器。


5.根据权利要求2~4中任意一项所述的分析装置,其特征在于,所述光学特性测量装置具有向所述测量对象照射光的光源。


6.根据权利要求5所述的分析装置,其特征在于,所述光源是白色光源。


7.根据权利要求1~6中任意一项所述的分析装置,其特征在于,所述运算部基于可见光区域中的所述碳化合物的光学特性,计算所述测量对象中包含的黑碳的含量。


8.根据权利要求1~7中任意一项所述的分析装置,其特征在于,所述运算部基于可见光区域中的...

【专利技术属性】
技术研发人员:水野裕介青山朋树松本绘里佳
申请(专利权)人:株式会社堀场制作所
类型:发明
国别省市:日本;JP

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