分析装置、分析方法和存储介质制造方法及图纸

技术编号:24797037 阅读:55 留言:0更新日期:2020-07-07 20:40
本发明专利技术提供分析装置、分析方法和存储介质。基于与测量对象中包含的碳化合物的量相关的信息,准确地修正与荧光X射线相关的信息。分析装置(100)包括:X射线测量装置(2)、光学特性测量装置(3)和运算部(4)。X射线测量装置(2)检测从测量对象产生的荧光X射线。光学特性测量装置(3)获取测量对象中包含的碳化合物的荧光X射线以外的光学特性。运算部(4)基于碳化合物的光学特性,计算与测量对象中包含的碳化合物的量相关的信息,并且基于与该碳化合物的量相关的信息,修正与由X射线测量装置(2)测量的荧光X射线相关的信息。

【技术实现步骤摘要】
分析装置、分析方法和存储介质
本专利技术涉及分析装置、分析方法和存储有使计算机执行该分析方法的程序的存储介质,基于从测量对象产生的荧光X射线来获取与该测量对象中包含的元素相关的信息。
技术介绍
以往,公知一种方法,基于从测量对象产生的荧光X射线来分析该测量对象中包含的元素。例如,公知一种装置,由捕集过滤器捕集包含在大气中的漂浮颗粒状物质(例如PM2.5),基于从该捕集的漂浮颗粒状物质产生的荧光X射线,分析漂浮颗粒状物质中包含的元素(例如专利文献1)。该装置能够每隔规定的时间捕集漂浮颗粒状物质并执行连续的分析。现有技术文献专利文献1:日本专利公开公报特开2015-219197号在使用荧光X射线的测量对象的元素分析中,由于测量对象自身吸收测量对象产生的荧光X射线的现象(自吸收)的影响,有时不能准确地执行元素分析。例如,在像漂浮颗粒状物质一样主成分是碳化合物的测量对象的情况下,由于该碳化合物的自吸收,有时不能准确地执行测量对象中包含的碳以外的元素的分析。另外,作为上述碳化合物例如具有黑碳、有机碳和褐碳等主成分的元素是碳而化学结构或性质不同的各种物质。例如,由烧荒等物质的燃烧产生的漂浮颗粒状物质以有机碳为主成分。此外,难以准确地对测量对象中包含的碳化合物进行定量,并且难以准确地把握碳化合物的自吸收的影响。其结果,不能准确地修正由X射线检测器检测的荧光X射线,从而不能高精度地分析测量对象中包含的元素。
技术实现思路
本专利技术的课题在于在基于从测量对象产生的荧光X射线的元素分析中,准确地计算与测量对象中包含的碳化合物的量相关的信息,并且基于与该碳化合物的量相关的信息,准确地修正与荧光X射线相关的信息。以下,作为用于解决课题的手段对多种方式进行说明。这些方式能够根据需要任意组合。本专利技术的一种方式的分析装置是基于从测量对象产生的荧光X射线获取与该测量对象中包含的元素相关的信息的装置。分析装置包括X射线测量装置、光学特性测量装置和运算部。X射线测量装置测量荧光X射线。光学特性测量装置获取测量对象中包含的碳化合物的光学特性。运算部基于碳化合物的光学特性,计算与测量对象中包含的碳化合物的量相关的信息。此外,运算部基于与碳化合物的量相关的信息,修正与由X射线测量装置测量的荧光X射线相关的信息。由此,能够基于该碳化合物的光学特性,准确地计算与测量对象中包含的碳化合物的量相关的信息,并且能够基于利用光学特性计算的与碳化合物的量相关的信息,准确地修正与受到碳化合物的自吸收的影响的荧光X射线相关的信息。光学特性测量装置可以具有对测量对象的光学特性进行测量的传感器。由此,能够测量在测量对象中包含的碳化合物的光学特性。上述传感器可以是获取测量对象的图像数据的图像获取传感器。由此,能够将测量对象的较宽范围的光学特性获取为图像数据。光学特性测量装置可以具有配置在图像获取传感器和测量对象之间的滤光器。由此,能够获取特定波长区域中的碳化合物的光学特性。光学特性测量装置可以具有向测量对象照射光的光源。由此,能够获取更清晰的碳化合物的光学特性。光源可以是白色光源。由此,能够清晰地获取较宽波长区域中的碳化合物的光学特性。运算部可以基于可见光区域中的碳化合物的光学特性,计算测量对象中包含的黑碳的含量。由此,能够基于测量对象中包含的黑碳的含量,修正与从测量对象产生的荧光X射线相关的信息。运算部可以基于可见光区域中的碳化合物的光学特性,计算测量对象中包含的有机碳的含量。由此,在有机碳的含量的比例大的情况下,能够基于可见光区域的光学特性来计算有机碳的含量。运算部可以基于红外区域中的碳化合物的光学特性,计算测量对象中包含的有机碳的含量。由此,能够基于测量对象中包含的有机碳的含量,修正与从测量对象产生的荧光X射线相关的信息。运算部可以基于红外区域中的碳化合物的光学特性,计算测量对象中包含的黑碳的含量。由此,在黑碳的含量的比例大的情况下,能够基于红外光区域的光学特性来计算黑碳的含量。上述分析装置可以还包括捕集测量对象的捕集过滤器。由此,能够在由捕集过滤器捕集的状态下执行测量对象中包含的元素的分析。本专利技术的另一种方式的分析方法是基于从测量对象产生的荧光X射线,获取与该测量对象中包含的元素相关的信息的方法。分析方法包括以下步骤。◎检测荧光X射线的步骤。◎获取测量对象中包含的碳化合物的荧光X射线以外的光学特性的步骤。◎基于碳化合物的光学特性来计算与测量对象中包含的碳化合物的量相关的信息的步骤。◎基于与碳化合物的量相关的信息来修正与荧光X射线相关的信息的步骤。由此,能够基于该碳化合物的光学特性,准确地计算与测量对象中包含的碳化合物的量相关的信息,并且能够基于利用光学特性计算的与碳化合物的量相关的信息,准确地修正与荧光X射线相关的信息。本专利技术的又一种方式的存储介质是存储有使计算机执行上述分析方法的程序的存储介质。基于从测量对象产生的荧光X射线来获取与该测量对象中包含的元素相关的信息时,能够基于该碳化合物的光学特性,准确地计算与测量对象中包含的碳化合物的量相关的信息,并且能够基于利用光学特性计算的与碳化合物的量相关的信息,准确地修正与荧光X射线相关的信息。附图说明图1是表示分析装置的结构的图。图2是表示多个光源的配置的一例的图。图3是表示运算部的构成的图。图4是表示由捕集过滤器捕集的颗粒状物质的图像数据的一例的图。图5是表示第一图像数据的亮度的累计值与颗粒状物质的捕集量的关系的图。图6是表示亮度直方图与碳化合物的含量的关系的一例的图。图7是表示分析装置的整体动作的流程图。图8是表示颗粒状物质的分析动作的流程图。附图标记说明100分析装置1捕集过滤器1a送出滚筒1b卷取滚筒2X射线测量装置21X射线源23检测器3光学特性测量装置31图像获取传感器33滤光器33a可见光滤光器33b红外光滤光器35光源37板状部件4运算部41CPU43存储装置45显示器47接口5捕集部51吸引泵53吸引口55排出口6捕集量测量部61β射线源63β射线检测器A大气Br1第一亮度Br2第二亮度FP颗粒状物质IM1第一图像数据IM2第二图像数据P1第一位置P2第二位置P3第三位置PE1第一峰值PE2第二峰值SC1第一校准线SC2第二校准线VA视野区域ΔBR亮度差具体实施方式1.第一实施方式(1)分析装置的结构(1-1)概要下面,利用图1说本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分析装置,基于从测量对象产生的荧光X射线,获取与所述测量对象中包含的元素相关的信息,所述分析装置的特征在于包括:/nX射线测量装置,测量所述荧光X射线;/n光学特性测量装置,获取所述测量对象中包含的碳化合物的所述荧光X射线以外的光学特性;以及/n运算部,基于所述碳化合物的光学特性,计算与所述测量对象中包含的所述碳化合物的量相关的信息,并且基于计算出的与所述碳化合物的量相关的信息,修正与由所述X射线测量装置测量的所述荧光X射线相关的信息。/n

【技术特征摘要】
20181227 JP 2018-2450401.一种分析装置,基于从测量对象产生的荧光X射线,获取与所述测量对象中包含的元素相关的信息,所述分析装置的特征在于包括:
X射线测量装置,测量所述荧光X射线;
光学特性测量装置,获取所述测量对象中包含的碳化合物的所述荧光X射线以外的光学特性;以及
运算部,基于所述碳化合物的光学特性,计算与所述测量对象中包含的所述碳化合物的量相关的信息,并且基于计算出的与所述碳化合物的量相关的信息,修正与由所述X射线测量装置测量的所述荧光X射线相关的信息。


2.根据权利要求1所述的分析装置,其特征在于,所述光学特性测量装置具有测量所述测量对象的光学特性的传感器。


3.根据权利要求2所述的分析装置,其特征在于,所述传感器是获取所述测量对象的图像数据的图像获取传感器。


4.根据权利要求3所述的分析装置,其特征在于,所述光学特性测量装置具有配置在所述传感器和所述测量对象之间的滤光器。


5.根据权利要求2~4中任意一项所述的分析装置,其特征在于,所述光学特性测量装置具有向所述测量对象照射光的光源。


6.根据权利要求5所述的分析装置,其特征在于,所述光源是白色光源。


7.根据权利要求1~6中任意一项所述的分析装置,其特征在于,所述运算部基于可见光区域中的所述碳化合物的光学特性,计算所述测量对象中包含的黑碳的含量。


8.根据权利要求1~7中任意一项所述的分析装置,其特征在于,所述运算部基于可见光区域中的...

【专利技术属性】
技术研发人员:水野裕介青山朋树松本绘里佳
申请(专利权)人:株式会社堀场制作所
类型:发明
国别省市:日本;JP

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