【技术实现步骤摘要】
低噪声门阀
本专利技术涉及一种门阀，该门阀安装在半导体处理装置中的真空腔中，用于通往该真空腔的门开口的开闭，更加详细地说，涉及一种开闭上述门开口时的噪声少的低噪声门阀。
技术介绍
在半导体处理装置中，通往真空腔的门开口的开闭，例如使用在专利文献1中公开的门阀。此门阀具有对门开口进行开闭的阀板、与该阀板连结的阀轴和经该阀轴对上述阀板进行开闭操作的一对气缸，由该一对气缸经上述阀轴使上述阀板升降，由该阀板对上述门进行开闭。更加具体地说，通过使上述一对气缸的活塞前进后退，经上述阀轴使上述阀板移动到该阀板处于下降了的位置地使上述门开口成为全开的全开位置；上述阀板处于上升了的位置地与上述门开口相向但未将该门开口封闭的中间位置；和上述阀板移动到上述门开口侧而将该门开口堵塞的密闭位置。然而，在上述公知的门阀中，当上述阀板处于上述全开位置时，上述活塞处于前进行程端而与缸壳体的一方的端壁抵接，另外，当上述阀板处于上述密闭位置时，上述活塞处于后退行程端而与缸壳体的另一方的端壁抵接，因此，每当上述阀板反复进行开闭动作时，存在上述活塞...
【技术保护点】
1.一种低噪声门阀，其特征在于，具有开闭门开口的阀板；将前端与该阀板连结的阀轴；和经该阀轴使所述阀板进行开闭动作的驱动机构，/n所述驱动机构具有所述阀轴自由位移地贯通的阀帽；隔着所述阀轴相互平行地安装在该阀帽上的左右一对气缸；和将空气相对于该一对气缸进行供给排出的头侧端口及杆侧端口，/n所述气缸具有固定在所述阀帽上的缸壳体；前进后退自由地收容在该缸壳体的内部的活塞；将基端与该活塞连结，前端向所述缸壳体的外部突出的驱动杆；和形成在所述活塞的一面侧及另一面侧的头侧压力室及杆侧压力室，/n所述头侧压力室通过形成在所述缸壳体及阀帽上的头侧主流路与所述头侧端口连通，所述杆侧压力室通过...
【技术特征摘要】
20181228 JP 2018-2474961.一种低噪声门阀，其特征在于，具有开闭门开口的阀板；将前端与该阀板连结的阀轴；和经该阀轴使所述阀板进行开闭动作的驱动机构，
所述驱动机构具有所述阀轴自由位移地贯通的阀帽；隔着所述阀轴相互平行地安装在该阀帽上的左右一对气缸；和将空气相对于该一对气缸进行供给排出的头侧端口及杆侧端口，
所述气缸具有固定在所述阀帽上的缸壳体；前进后退自由地收容在该缸壳体的内部的活塞；将基端与该活塞连结，前端向所述缸壳体的外部突出的驱动杆；和形成在所述活塞的一面侧及另一面侧的头侧压力室及杆侧压力室，
所述头侧压力室通过形成在所述缸壳体及阀帽上的头侧主流路与所述头侧端口连通，所述杆侧压力室通过形成在所述缸壳体及阀帽上的杆侧主流路与所述杆侧端口连通，
所述阀轴的基端部经轴支承机构支承在所述一对气缸的驱动杆上，所述阀板由所述活塞及驱动杆的前进行程移动到将所述门开口开放的位置，所述阀板由所述活塞及驱动杆的后退行程移动到将所述门开口封闭的位置，
所述气缸还具有头侧空气缓冲垫机构及杆侧空气缓冲垫机构，该头侧空气缓冲垫机构及杆侧空气缓冲垫机构缓和由所述阀板开闭门开口时的冲击，
所述头侧空气缓冲垫机构具有头侧连通路及头侧节流流路和隔断机构，该头侧连通路及头侧节流流路将所述头侧压力室和头侧主流路并列地连结；该隔断机构当后退的所述活塞接近后退行程端时将所述头侧连通路隔断，
所述杆侧空气缓冲垫机构具有杆侧连通路及杆侧节流流路和隔断机构，该杆侧连通路及杆侧节流流路将所述杆侧压力室和杆侧主流路并列地连结；该隔断机构当前进的所述活塞接近前进行程端时将所述杆侧连通路隔断。
2.如权利要求1所述的门阀，其特征在于，
所述头侧空气缓冲垫机构的隔断机构具有从所述头侧压力室的端壁向该头侧压力室内突出的头侧缓冲垫轴；以在所述活塞接近后退行程端时所述头侧缓冲垫轴进行嵌合的方式形成在该活塞上的凹状的头侧缓冲垫孔；和将该头侧缓冲垫孔的内周和所述头侧缓冲垫轴的外周之间密封的头侧缓冲垫填料，在所述头侧缓冲垫轴的内部形成了所述头侧连通路，
所述杆侧空气缓冲垫机构的隔断机构具有形成在所述杆侧压力室的端壁上的凹状的杆侧缓冲垫孔；在所述活塞接近前进行程端时嵌合在该杆侧缓冲垫孔内的杆侧缓冲垫轴；和将所述杆侧缓冲垫孔的内周和该杆侧缓冲垫轴的外周之间密封的杆侧缓冲垫...
【专利技术属性】
技术研发人员：下田洋己，小川浩司，宇田川浩，长尾格，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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