【技术实现步骤摘要】
连续循环负压法净化CZ炉系统
本技术涉及一种净化CZ炉,具体地说是一种连续循环负压法净化CZ炉系统,属于净化CZ炉领域。
技术介绍
随着多晶硅行业的的快速发展,现有的除尘器多为车间整体空气除尘或是小型静电除尘仪,对于生产车间局部工序会产生粉尘的场合无法做到集中快速除尘,生产所产生的粉尘对车间环境造成污染,并容易对操作人员的健康造成危害。市面上现有的除尘设备,其大多都是采用风机或者是静电除尘,其在工作过程中除尘效果一般,排出的气体中仍然会夹杂着很多的颗粒物,且即使有些大型的除尘设备除尘效果很好,但是其成本较高,占地面积较大,因而现有的除尘设备还有待于改进。
技术实现思路
为了解决上述问题,本技术设计了一种连续循环负压法净化CZ炉系统,达到了CZ炉要求的除尘效果,减少了环境危害,节约了人力物力,提高了生产的经济效益,并且减轻了制造者的经济负担,增加企业经济效益。本技术的技术方案为:连续循环负压法净化CZ炉系统,包括料仓过滤器,所述料仓过滤器主要由储料仓、净气室组成,采用离心、沉降和过滤袋过 ...
【技术保护点】
1.连续循环负压法净化CZ炉系统,其特征在于:包括料仓过滤器,所述料仓过滤器主要由储料仓、净气室组成;所述储料仓内设有72个筒式过滤袋,所述净气室设置在所述储料仓的上方,所述净气室与定容罗茨泵的入口相连,通过过滤袋的干净气流在净气室汇集,进入真空泵入口,所述净气室出口端装有高负压安全放空阀,当真空度上升到15″汞柱时,安全放空阀会自动打开吸入空气;所述净气室内还装有压缩空气脉冲反吹装置,用于随时清理过滤袋。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.连续循环负压法净化CZ炉系统,其特征在于:包括料仓过滤器,所述料仓过滤器主要由储料仓、净气室组成;所述储料仓内设有72个筒式过滤袋,所述净气室设置在所述储料仓的上方,所述净气室与定容罗茨泵的入口相连,通过过滤袋的干净气流在净气室汇集,进入真空泵入口,所述净气室出口端装有高负压安全放空阀,当真空度上升到15″汞柱时,安全放空阀会自动打开吸入空气;所述净气室内还装有压缩空气脉冲反吹装置,用于随时清理过滤袋。
技术研发人员:刘志娇,贺琪,
申请(专利权)人:新疆东方希望新能源有限公司,
类型:新型
国别省市:新疆;65
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