一种块状氟化物的成型方法技术

本发明专利技术实施方式公开了一种块状氟化物的成型方法，包括如下步骤：将氟化物粉料和除氧剂充分混合后装入每个石墨坩埚，使真空炉内部的真空度达到10‑3Pa以上，然后以50℃/小时升温至300℃，恒温两小时，再以50℃/小时升温至不小于氟化物粉料的熔点，恒温10小时使氟化物粉料充分熔化；熔化后将每个石墨坩埚以5mm/hr的速度下降，下降距离大于若干个石墨坩埚总高的20mm以上，进行原位退火处理，退火结束后以5～20℃/小时降至室温，得到氟化物的烧结块料。通过调节获得较高的恒温区间，并对石墨坩埚进行原位退火处理，增加了单次烧结产量的同时避免原料高温时挥发，烧结后的块料便于打磨及粉碎，有效提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种块状氟化物的成型方法
本专利技术涉及晶体生长领域，特别涉及一种块状氟化物的成型方法。
技术介绍
现有技术中，氟化物粉料烧结采用单层坩埚、单温区加热器的方式烧结，为了提高单次烧结产量，加热器高度通常较高，坩埚内顶部和底部温度差异较大，导致当坩埚底部原料熔化时，顶部原料挥发量过大，损失较多。同时单坩埚烧出的块料体积过大，给后期打磨加工造成不便。
技术实现思路
本专利技术实施方式的目的在于提供一种块状氟化物的成型方法，减少了原料的挥发量，使得烧结后的块料便于打磨及粉碎，有效提高了生产效率。为解决上述技术问题，本专利技术的实施方式提供了一种块状氟化物的成型方法，包括如下步骤：将若干个石墨坩埚由上而下层叠设置于真空炉内，围绕若干个石墨坩埚设置加热器，加热器位于真空炉内，石墨坩埚均具有开口，且石墨坩埚的底部位于相邻的石墨坩埚的开口内；最顶端的石墨坩埚的开口处盖设一坩埚盖；将氟化物粉料和除氧剂充分混合后装入每个石墨坩埚，抽真空使真空炉内部的真空度达到10-3Pa以上，然后以50℃/小时升温至300℃，恒本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种块状氟化物的成型方法，其特征在于，包括：/n将若干个石墨坩埚由上而下层叠设置于真空炉内，围绕若干个所述石墨坩埚设置加热器，所述加热器位于所述真空炉内，所述石墨坩埚均具有开口，且所述石墨坩埚的底部位于相邻的所述石墨坩埚的开口内；最顶端的所述石墨坩埚的开口处盖设一坩埚盖；/n将氟化物粉料和除氧剂充分混合后装入每个石墨坩埚，抽真空使所述真空炉内部的真空度达到10-3Pa以上，然后以50℃/小时升温至300℃，恒温两小时，再以50℃/小时升温至不小于所述氟化物粉料的熔点，恒温10小时使所述氟化物粉料充分熔化；熔化后将每个石墨坩埚以5mm/hr的速度下降，下降距离大于若干个所述石墨坩埚总高的20...

【技术特征摘要】
1.一种块状氟化物的成型方法，其特征在于，包括：
将若干个石墨坩埚由上而下层叠设置于真空炉内，围绕若干个所述石墨坩埚设置加热器，所述加热器位于所述真空炉内，所述石墨坩埚均具有开口，且所述石墨坩埚的底部位于相邻的所述石墨坩埚的开口内；最顶端的所述石墨坩埚的开口处盖设一坩埚盖；
将氟化物粉料和除氧剂充分混合后装入每个石墨坩埚，抽真空使所述真空炉内部的真空度达到10-3Pa以上，然后以50℃/小时升温至300℃，恒温两小时，再以50℃/小时升温至不小于所述氟化物粉料的熔点，恒温10小时使所述氟化物粉料充分熔化；熔化后将每个石墨坩埚以5mm/hr的速度下降，下降距离大于若干个所述石墨坩埚总高的20mm以上，进行原位退火处理，退火结束后以5～20℃/小时降至室温，得到氟化物的烧结块料。


2.根据权利要求1所述的块状氟化物的成型方法，其特征在于，所述下降所述石墨坩埚的步骤包括：
首先以2.0～3.0mm/hr的速度，所述石墨坩埚下降50～80mm；
其次以1.0～2.0mm/h...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐超，刘晓阳，张钦辉，
申请(专利权)人：北京首量科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11