具有可移动平台的微机电装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种具有可移动平台的微机电装置，包含基板、至少一固定座、平台、感测芯片以及至少一弹性元件。固定座设置于基板上。平台包含至少一电极与至少一导电连接层。感测芯片设置于平台上并且包含至少一电性互连元件，电性互连元件连接于平台的导电连接层。弹性元件连接平台与至少一固定座，其包含至少一第一电性通道、第二电性通道以及电性绝缘层。第一电性通道用以传递感测芯片产生的第一电性信号。电性绝缘层设置于第一电性通道及第二电性通道之间。第一电性通道电连接于电性互连元件，且第二电性通道电连接于电极。

【技术实现步骤摘要】
具有可移动平台的微机电装置
本专利技术涉及一种微机电装置，特别是涉及一种包含可移动平台的微机电装置。
技术介绍
以微机电技术为基础的装置具有体积小、重量轻、成本低等优点，在许多领域都有着迫切的应用需求和广泛的应用前景。目前，在摄像技术的领域中，为了解决相机抖动造成拍摄影像模糊的问题，已陆续引入相机的防手震技术。防手震技术包含光学防手震(OIS)与电子防手震(EIS)。其中，使用微机电平台搭载感光元件，并通过微机电平台的位移来补偿相机的偏移，以维持影像的清晰度。感光元件(例如影像感测芯片)与微机电平台整合，并且以打线接合方式将信号传输线连接至感光元件与电路板，而使感光元件产生的影像信号能通过信号传输线传输至电路板。然而，由于信号传输线在微机电平台移动的过程中可能会扯断或脱离，导致采用打线接合方式设置信号传输线会有可靠度的疑虑。
技术实现思路
鉴于以上的问题，本专利技术揭露一种具有可移动平台的微机电装置，有助于解决信号传输线容易扯断或脱离的问题。本专利技术所揭露的具有可移动平台的微机电装置包含一基板、至少本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有可移动平台的微机电装置，其特征在于，包含：/n基板；/n至少一固定座，设置于该基板上；/n平台，包含：/n至少一电极；以及/n至少一导电连接层；/n感测芯片，设置于该平台上，包含至少一电性互连元件，连接该平台的该导电连接层；以及/n至少一弹性元件，连接该平台与该至少一固定座，包含：/n至少一第一电性通道，用以传递该感测芯片产生的第一电性信号；/n第二电性通道；以及/n电性绝缘层，设置于该至少一第一电性通道及该第二电性通道之间；/n其中，该至少一第一电性通道电连接该至少一电性互连元件，该第二电性通道电连接该至少一电极。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有可移动平台的微机电装置，其特征在于，包含：
基板；
至少一固定座，设置于该基板上；
平台，包含：
至少一电极；以及
至少一导电连接层；
感测芯片，设置于该平台上，包含至少一电性互连元件，连接该平台的该导电连接层；以及
至少一弹性元件，连接该平台与该至少一固定座，包含：
至少一第一电性通道，用以传递该感测芯片产生的第一电性信号；
第二电性通道；以及
电性绝缘层，设置于该至少一第一电性通道及该第二电性通道之间；
其中，该至少一第一电性通道电连接该至少一电性互连元件，该第二电性通道电连接该至少一电极。


2.如权利要求1所述的具有可移动平台的微机电装置，其中该基板另包含接地金属面且该至少一弹性元件另包含接地金属层连接至该接地金属面，该至少一第一电性通道的数量是多个，该接地金属层设置于该多个第一电性通道之间，且该多个第一电性通道皆与该接地金属层电性绝缘。


3.如权利要求1所述的具有可移动平台的微机电装置，其中该至少一电性互连元件为至少一导电凸块。


4.如权利要求1所述的具有可移动平台的微机电装置，其中该至少一电性互连元件为至少一导电线。


5.如权利要求1所述的具有可移动平台的微机电装置，其中该感测芯片为影像芯片，该第一电性信号为影像信号。


6.如权利要求1所述的具有可移动平台的微机电装置，其中该第二电性通道用以传输电荷。


7.如权利要求1所述的具有可移动平台的微机电装置，其中该至少一固定座还包含沟槽，该沟槽将该至少一固定座分隔成内固定座及外固定座，使得该内固定座及该外固定座相互绝缘，该至少一第一电性通道电连接该内固定座，该第二电性通道电连接该外固定座。


8.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：许郁文，叶哲恺，郭秦辅，黄肇达，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71