机械辅具及其进行靶材包装的方法技术

一种机械辅具及其进行靶材包装的方法，所述机械辅具包括：移动部，所述移动部包括至少两个移动单元，所述移动单元平行排布；所述移动单元包括：支撑轴及高度调节装置，所述高度调节装置适于调节所述支撑轴的高度。本发明专利技术有助于提高对靶材进行包装的作业效率。

【技术实现步骤摘要】
机械辅具及其进行靶材包装的方法
本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种机械辅具及其进行靶材包装的方法。
技术介绍
溅射镀膜属于物理气相沉积方法制备薄膜的工艺之一，具体是指利用高能粒子轰击溅射靶材表面，使得所述溅射靶材的原子或分子获得足够的能量逸出，并沉积在基材或工件表面，从而形成薄膜。所述溅射靶材包括靶材本体和背板，所述靶材本体与所述背板固定连接，所述靶材本体是高能粒子轰击的目标材料，所述背板用于固定支撑所述靶材本体。在形成溅射靶材后，一般需要对溅射靶材进行洁净清洗，并利用包装袋对洁净清洗后的溅射靶材进行真空包装，以防止溅射靶材受到污染，避免溅射靶材表面与空气中的氧气发生氧化反应，从而保证溅射靶材的镀膜质量。但是，现包装溅射靶材的作业效率低。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种机械辅具及其进行靶材包装的方法，有助于提高对靶材进行包装的作业效率。为解决上述问题，本专利技术提供一种机械辅具，包括：移动部；其中，所述移动部包括至少两个移动单元，所述移动单元平行排布；所述移动单元包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机械辅具，其特征在于，包括：移动部；/n其中，所述移动部包括至少两个移动单元，所述移动单元平行排布；/n所述移动单元包括：支撑轴及高度调节装置，所述高度调节装置适于调节所述支撑轴的高度。/n

【技术特征摘要】
1.一种机械辅具，其特征在于，包括：移动部；
其中，所述移动部包括至少两个移动单元，所述移动单元平行排布；
所述移动单元包括：支撑轴及高度调节装置，所述高度调节装置适于调节所述支撑轴的高度。


2.如权利要求1所述的机械辅具，其特征在于，所述移动单元还包括：旋转驱动装置，所述旋转驱动装置位于所述支撑轴的端部，适于驱动所述支撑轴旋转。


3.如权利要求1或2所述的机械辅具，其特征在于，所述移动单元间隔排布或相邻接排布。


4.如权利要求2所述的机械辅具，其特征在于，还包括：滚柱，所述滚柱设于所述移动部的一侧，所述滚柱与所述支撑轴相平行。


5.如权利要求2所述的机械辅具，其特征在于，每一所述移动单元中，所述旋转驱动装置的数量为一个或两个。


6.如权利要求2所述的机械辅具，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，丁向前，赵剑，杨立明，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33