【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及陶瓷蒸发器。用金属、特别是铝涂敷柔性基底之最经常使用的方法是高真空带状涂敷法(tape coating)。所述待涂敷的基底在冷却辊上通过，并同时暴露于铝蒸气，该铝蒸气则在所述基底表面上沉积成薄的金属层。为产生所需要的恒定蒸气流，通过直接通入电流将陶瓷蒸发器--蒸发皿加热至约1450℃。连续送入铝线，在陶瓷表面上液化，然后在约10-4mbar的真空下蒸发。在金属化单元中，设置一系列的蒸发皿，其方式是在基底的整个宽度上沉积均匀厚度的铝层。陶瓷蒸发皿的化学组成通常为45-55重量％的TiB2、25-55重量％的BN以及0-20重量％的AIN。许多专利都描述了此等组合物(例如US-A-3,915,900或者US-A-4,089,643之第1栏第10和11行及第2栏第5行中引用的专利)。蒸发皿的常规形状是以长方形截面为基础的。该蒸发皿的宽度和长度根据所需要的蒸发速率来选择，所述蒸发速率通常为约0.35-0.40g Al cm-2·min-1。已证明长方形的截面是有用的，这是因为它即使在高温时仍能够保持高的机械稳定性，而且制造费用不高。具有非长方形截面的蒸...
【技术保护点】
用于蒸发金属的蒸发器，其在进行金属蒸发的区域中的截面面积大于相同宽度和高度之三角形蒸发器的相应截面面积，同时在该具体的区域中具有比相同宽度和高度之长方形蒸发器更小的最小周长。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：马丁塞弗特，
申请(专利权)人：ESK制陶两合公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
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