【技术实现步骤摘要】
一种真空保持装置及真空器件
本技术涉及一种真空保持装置及真空器件,属于真空设备研究
技术介绍
一般中高真空系统达到理想的真空度通常需要抽几小时的真空,甚至需要稳定过夜,抽真空占据了大部分的维护时间和稳定时间。而进行系统维护时,往往需要卸掉真空,维护结束后再抽真空,耗时非常长,而且频繁的开关机也不利于真空系统的稳定运行,也容易引入污染。真空保持系统是指在真空系统中某些器件需要维护时,可以保持其余部件真空度稳定的一种装置。在现有技术中,可实现免放空的装置一般需要连接气路,通过气体的压力来维持真空度的稳定,操作较为复杂,价格也比较昂贵。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于提供一种真空保持装置,当真空器件需要拆卸维护时,无需连接气路也可保持其余器件真空度的稳定。为了解决上述问题,本技术采用的技术方案如下:一种真空保持装置,包括真空腔、柔性异型芯管和用于装配真空器件的压板,所述真空腔的尾部开设有连接腔体内外的通孔,所述异型芯管的管腔开口正对通孔密封紧贴在真空腔的 ...
【技术保护点】
1.一种真空保持装置,其特征在于:包括真空腔、柔性异型芯管和用于装配真空器件的压板,/n所述真空腔的尾部开设有连接腔体内外的通孔,/n所述异型芯管的管腔开口正对通孔密封紧贴在真空腔的尾部,异型芯管的尾部设有连通内外的狭缝,/n所述压板固接在真空腔上,压板中部开设与异形芯管外形吻合的通槽,所述异形芯管位于通槽内,压板通过通槽将异型芯管紧压在真空腔上。/n
【技术特征摘要】
1.一种真空保持装置,其特征在于:包括真空腔、柔性异型芯管和用于装配真空器件的压板,
所述真空腔的尾部开设有连接腔体内外的通孔,
所述异型芯管的管腔开口正对通孔密封紧贴在真空腔的尾部,异型芯管的尾部设有连通内外的狭缝,
所述压板固接在真空腔上,压板中部开设与异形芯管外形吻合的通槽,所述异形芯管位于通槽内,压板通过通槽将异型芯管紧压在真空腔上。
2.根据权利要求1所述的真空保持装置,其特征在于:
所述异型芯管的管腔在尾部逐渐收缩成直线状。
3.根据权利要求1所述的真空保持装置,其特征在于:
所述异型芯管的尾部为十字形。
...
【专利技术属性】
技术研发人员:王华,董小鲁,张志刚,黎路,郑锦永,任跃,
申请(专利权)人:清谱上海分析仪器有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。