【技术实现步骤摘要】
一种金属有机杂化钙钛矿铁电体薄膜的制备方法
本专利技术涉及铁电材料制备
,具体涉及一种金属有机杂化钙钛矿铁电体薄膜的制备方法。
技术介绍
为了适应现代社会越来越多的数据需求,一种灵活快速的数据采集与信息记录和非易失性存储器件必不可少,而随着集成电路行业进入深亚微米时代,铁电方面的铁电介质材料也需要更新来适应新工艺的要求。铁电材料是下一代非易失存储器中的重要组成,由于其高存储密度,极快的读写速度以及非破坏性读出的优势,这在铁电器件的应用上具有很高的潜在应用价值,在铁电材料与器件领域有广泛的应用前景。近几年,铁电材料已经扩展到包括有机化合物在内的其他领域,例如在金属有机杂化材料,离子型化合物,以及纯的有机化合物方面已经受到了广泛的关注。其中,金属有机杂化铁电体相比于常规铁电体具有极低的娇顽场值,将其用于制备存储器,具有能耗小、储存信息稳定的优点,并且该材料具备较高的开关比和整流比,这将会使存储器的非易失性更好。但是现有技术中公开的制备方法反应周期长,并且所需温度较高,使其对设备要求高,技术难度大,安全性能差 ...
【技术保护点】
1.一种金属有机杂化钙钛矿铁电体薄膜的制备方法,包括以下步骤:/n1)将4’4-联吡啶、铋源、卤化甲烷和有机溶剂混合,得到前驱体溶液;/n2)将所述步骤1)得到的前驱体溶液涂覆在基底表面,得到涂覆层;/n3)向所述步骤2)得到的涂覆层中加入反溶剂后干燥,得到金属有机杂化钙钛矿铁电体薄膜。/n
【技术特征摘要】
1.一种金属有机杂化钙钛矿铁电体薄膜的制备方法,包括以下步骤:
1)将4’4-联吡啶、铋源、卤化甲烷和有机溶剂混合,得到前驱体溶液;
2)将所述步骤1)得到的前驱体溶液涂覆在基底表面,得到涂覆层;
3)向所述步骤2)得到的涂覆层中加入反溶剂后干燥,得到金属有机杂化钙钛矿铁电体薄膜。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤1)中的铋源包括氯化铋、碘化铋或氧化铋。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤1)中的卤化甲烷包括碘甲烷或氯甲烷。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤1)中4’4-联吡啶、铋源、卤化甲烷的物质的量之比为1:2:1~1:2.5:1.5。
5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:王守宇,贾云东,刘卫芳,雷蕴麟,
申请(专利权)人:天津师范大学,
类型:发明
国别省市:天津;12
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