一种在工件表面形成微结构的加工方法及控制系统技术方案

本发明专利技术所涉及的在工件表面形成微结构的加工方法，包括：S1、提供浸入至电解液中的金属材料作为阴极，阴极上形成有贯通该阴极的贯通微结构；S2、提供工件作为阳极，依据阴极上的贯通微结构通过激光‑电解复合加工工件，以在工件的表面形成所需要的微结构。在阴极上形成有贯通该阴极的贯通微结构，有效提高了激光‑电解复合加工以在工件的表面形成所需要的微结构过程中激光能场和电化学能场的耦合率，从而实现采用低能量密度的激光束便可有效促进材料的电化学溶解速度，以在几乎不影响加工定域性和加工表面质量的同时，提高微细电解加工的加工效率和加工稳定性，且易于实现大面积微结构的柔性制备。

【技术实现步骤摘要】
一种在工件表面形成微结构的加工方法及控制系统
本专利技术涉及一种在工件表面形成微结构的加工方法及控制系统。
技术介绍
随着现代科技的不断进步，精密化、微型化已成为工业、民用以及军用产品的主流发展方向，而微细加工技术是实现产品精密/微型化的支撑技术，因此受到了广泛的关注。微细电解加工技术(ECMM)是一种基于电化学阳极溶解原理对金属材料进行减材加工的微细制造方法。与其他微细加工方法相比(机械加工、激光加工、电火花加工等)，ECMM具有其独特的优势，包括：工具阴极无损耗(可重复使用)、加工表面质量高(无应力和变质层、无飞边和毛刺等)、加工过程与材料的机械性能无关(可加工几乎所有的金属材料)、可达到亚微米尺度的加工定域性(采用超短脉冲电源)等。ECMM已成为目前微细制造领域最具发展潜力的加工方法之一。但是，ECMM也具有其不足之处，其中最为突出的是其加工效率相对较低(加工速度一般为1.0～8.0μm/s，甚至更小)，尤其是当采用超短脉冲电源进行微细电解加工时，虽然其加工定域性得到大幅提高，但加工速度却受到极大的限制，通常仅为0.1～0.5μm/s。因本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在工件表面形成微结构的加工方法，其特征在于，所述方法包括：/nS1、提供浸入至电解液中的金属材料作为阴极，所述阴极上形成有贯通该阴极的贯通微结构；/nS2、提供工件作为阳极，依据所述阴极上的贯通微结构通过激光-电解复合加工所述工件，以在所述工件的表面形成所需要的微结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种在工件表面形成微结构的加工方法，其特征在于，所述方法包括：
S1、提供浸入至电解液中的金属材料作为阴极，所述阴极上形成有贯通该阴极的贯通微结构；
S2、提供工件作为阳极，依据所述阴极上的贯通微结构通过激光-电解复合加工所述工件，以在所述工件的表面形成所需要的微结构。


2.如权利要求1所述的在工件表面形成微结构的加工方法，其特征在于，所述贯通微结构的加工方法：通过激光原位加工所述金属材料以在所述金属材料上形成所述贯通微结构。


3.如权利要求1所述的在工件表面形成微结构的加工方法，其特征在于，所述贯通微结构为微孔、微槽及微孔阵列中的一个。


4.如权利要求1所述的在工件表面形成微结构的加工方法，其特征在于，所述工件表面的微结构为多微孔、微孔阵列、直线式微槽、曲线式微槽、直线式微槽阵列、曲线式微槽阵列中的一个。


5.如权利要求2所述的在工件表面形成微结构的加工方法，其特征在于，所述金属材料为金属薄板，在“激光原位加工”中，所述金属薄板弯曲形成具有曲面的底部，激光的焦点聚焦在所述底部的上表面的中心。


6.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺海东，刘楠，王春举，孙宇，孙立宁，宁学中，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32