一种带有放置盒的离子风机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带有放置盒的离子风机，涉及除静电仪器技术领域，其技术方案要点是包括机体和用于支撑机体的方形的底座，底座长度方向的两端分别设有与机体侧壁铰接的侧板，机体的一侧开有出风口，底座上滑移设置有用于承载硅片的放置盒。底座朝向机体的侧面沿底座的宽度方向开有滑槽，滑槽与出风口同侧的一端与底座的端面齐平，滑槽的另一端设有封堵块。放置盒的底面设有用于卡入滑槽的滑块，所述滑槽和滑块均呈T字型。放置盒设有用于产生推拉动力以驱使放置盒沿滑槽长度方向滑移的驱动件。还包括放置盒朝向出风口滑移后用于锁定放置盒的锁定结构。本实用新型专利技术具有方便取放放置盒，不需要单独存放放置盒和离子风机的优势。

【技术实现步骤摘要】
一种带有放置盒的离子风机
本技术涉及除静电仪器
，具体地说，它涉及一种带有放置盒的离子风机。
技术介绍
随着电子、半导体、光伏产业的发展，各种晶体材料，特别是以单晶硅为代表的高科技附加值材料及其相关高技术产业的发展，使硅片成为当代信息技术产业的支柱，并使信息产业成为全球经济发展中增长最快的先导产业。现有的企业在生产加工硅片的过程中，硅片的表面容易形成静电，静电的产生容易使硅片表面吸附灰尘等杂质，从而给硅片的加工带来不便。现有授权公告号为CN205142643U的中国专利公开了一种可固定机身倾斜角度的离子风机，包括风机机身和风机支架，风机机身的正面设有离子出风口，风机机身的两个侧面设置有手拧旋钮，风机机身通过手拧旋钮铰接在风机支架上，还包括固定螺钉，风机支架下部设有固定孔，固定螺钉安装在固定孔中，风机机身侧面的下部设有角度调整孔，固定孔到手拧旋钮的距离与角度调整孔到手拧旋钮的距离相等。上述公开专利中的离子风机既能随时调节风机机身倾斜角度又能固定风机机身倾斜角度。但是，在利用上述公开专利中的离子风机消除硅片上的静电时，需要另外本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有放置盒的离子风机，包括机体(1)和用于支撑机体(1)的方形的底座(21)，底座(21)长度方向的两端分别设有与机体(1)侧壁铰接的侧板(22)，所述机体(1)的一侧开有出风口(11)，其特征在于：所述底座(21)上滑移设置有用于承载硅片的放置盒(3)，所述底座(21)朝向机体(1)的侧面沿底座(21)的宽度方向开有滑槽(211)，所述滑槽(211)与出风口(11)同侧的一端与底座(21)的端面齐平，滑槽(211)的另一端设有封堵块(212)；/n所述放置盒(3)的底面设有用于卡入滑槽(211)的滑块(31)，所述滑槽(211)和滑块(31)均呈T字型；/n所述放置盒(3)设有用于产...

【技术特征摘要】
1.一种带有放置盒的离子风机，包括机体(1)和用于支撑机体(1)的方形的底座(21)，底座(21)长度方向的两端分别设有与机体(1)侧壁铰接的侧板(22)，所述机体(1)的一侧开有出风口(11)，其特征在于：所述底座(21)上滑移设置有用于承载硅片的放置盒(3)，所述底座(21)朝向机体(1)的侧面沿底座(21)的宽度方向开有滑槽(211)，所述滑槽(211)与出风口(11)同侧的一端与底座(21)的端面齐平，滑槽(211)的另一端设有封堵块(212)；
所述放置盒(3)的底面设有用于卡入滑槽(211)的滑块(31)，所述滑槽(211)和滑块(31)均呈T字型；
所述放置盒(3)设有用于产生推拉动力以驱使放置盒(3)沿滑槽(211)长度方向滑移的驱动件；
还包括放置盒(3)朝向出风口(11)滑移后用于锁定放置盒(3)的锁定结构。


2.根据权利要求1所述的带有放置盒的离子风机，其特征在于：所述滑块(31)靠近封堵块(212)的一端于滑块(31)的侧壁上沿滑块(31)的宽度方向开有凹槽(311)，所述锁定结构包括设于凹槽(311)内的限位条(32)，所述凹槽(311)内设有用于产生驱使限位条(32)脱离凹槽(311)作用力的弹性件；
所述滑槽(211)的侧壁上开有靠近出风口(11)一侧供限位条(32)卡入的限位槽(213)，所述限位条(32)卡入限位槽(213)时，限位条(32...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志卫，张仕俊，石正娟，
申请(专利权)人：苏州新米特电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32