一种带有放置盒的离子风机制造技术

技术编号:24737805 阅读:67 留言:0更新日期:2020-07-01 01:05
本实用新型专利技术公开了一种带有放置盒的离子风机,涉及除静电仪器技术领域,其技术方案要点是包括机体和用于支撑机体的方形的底座,底座长度方向的两端分别设有与机体侧壁铰接的侧板,机体的一侧开有出风口,底座上滑移设置有用于承载硅片的放置盒。底座朝向机体的侧面沿底座的宽度方向开有滑槽,滑槽与出风口同侧的一端与底座的端面齐平,滑槽的另一端设有封堵块。放置盒的底面设有用于卡入滑槽的滑块,所述滑槽和滑块均呈T字型。放置盒设有用于产生推拉动力以驱使放置盒沿滑槽长度方向滑移的驱动件。还包括放置盒朝向出风口滑移后用于锁定放置盒的锁定结构。本实用新型专利技术具有方便取放放置盒,不需要单独存放放置盒和离子风机的优势。

【技术实现步骤摘要】
一种带有放置盒的离子风机
本技术涉及除静电仪器
,具体地说,它涉及一种带有放置盒的离子风机。
技术介绍
随着电子、半导体、光伏产业的发展,各种晶体材料,特别是以单晶硅为代表的高科技附加值材料及其相关高技术产业的发展,使硅片成为当代信息技术产业的支柱,并使信息产业成为全球经济发展中增长最快的先导产业。现有的企业在生产加工硅片的过程中,硅片的表面容易形成静电,静电的产生容易使硅片表面吸附灰尘等杂质,从而给硅片的加工带来不便。现有授权公告号为CN205142643U的中国专利公开了一种可固定机身倾斜角度的离子风机,包括风机机身和风机支架,风机机身的正面设有离子出风口,风机机身的两个侧面设置有手拧旋钮,风机机身通过手拧旋钮铰接在风机支架上,还包括固定螺钉,风机支架下部设有固定孔,固定螺钉安装在固定孔中,风机机身侧面的下部设有角度调整孔,固定孔到手拧旋钮的距离与角度调整孔到手拧旋钮的距离相等。上述公开专利中的离子风机既能随时调节风机机身倾斜角度又能固定风机机身倾斜角度。但是,在利用上述公开专利中的离子风机消除硅片上的静电时,需要另外配备放置盒用于承载硅片,再将放置盒放置于离子风机出风的一侧,利用离子风机向放置盒内吹风以消除硅片上的静电。在不需要消除静电时,就需要将放置盒和离子风机单独存放,使用时再分别取出,存在使用不便的缺点。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本技术的目的在于提供一种带有放置盒的离子风机,其具有方便取放放置盒,不需要单独存放放置盒和离子风机的优势。为实现上述目的,本技术提供了如下技术方案:一种带有放置盒的离子风机,包括机体和用于支撑机体的方形的底座,底座长度方向的两端分别设有与机体侧壁铰接的侧板,所述机体的一侧开有出风口,所述底座上滑移设置有用于承载硅片的放置盒,所述底座朝向机体的侧面沿底座的宽度方向开有滑槽,所述滑槽与出风口同侧的一端与底座的端面齐平,滑槽的另一端设有封堵块;所述放置盒的底面设有用于卡入滑槽的滑块,所述滑槽和滑块均呈T字型;所述放置盒设有用于产生推拉动力以驱使放置盒沿滑槽长度方向滑移的驱动件;还包括放置盒朝向出风口滑移后用于锁定放置盒的锁定结构。通过采用上述技术方案,需要消除硅片上的静电时,可驱动放置盒朝向离子风机的出风口一侧滑移,将硅片放在放置盒内,调整好离子风机的出风口朝向放置盒的角度后,启动离子风机即可消除硅片上的静电。不需要消除硅片上的静电时,可推动放置盒沿滑槽的长度方向滑移,使放置盒位于机体的正下方,避免放置盒伸出底座的端部而占用较多的空间。与现有技术中需要单独存放放置盒和离子风机相比,本方案中具有方便取放放置盒,不需要单独存放放置盒和离子风机的优势。进一步地,所述滑块靠近封堵块的一端于滑块的侧壁上沿滑块的宽度方向开有凹槽,所述锁定结构包括设于凹槽内的限位条,所述凹槽内设有用于产生驱使限位条脱离凹槽作用力的弹性件;所述滑槽的侧壁上开有靠近出风口一侧供限位条卡入的限位槽,所述限位条卡入限位槽时,限位条远离限位槽的一端位于凹槽内;所述限位条远离凹槽的一端设有朝向封堵块的导向面,所述限位条卡入限位槽时,所述导向面的一部分位于限位槽内、另一部分位于凹槽内。通过采用上述技术方案,放置盒朝向离子风机的出风口一侧滑移时,限位条移动至限位槽位置时,限位条在弹性件的驱使下可卡入限位槽,从而达到锁定放置盒的目的,防止放置盒滑出滑槽。另外,需要推动放置盒滑移至机体的正下方时,导向面可引导限位条脱离限位槽,从而解除对放置盒的锁定,使得放置盒能够沿滑槽的长度方向滑移。进一步地,所述弹性件为压缩弹簧,所述压缩弹簧的两端分别连接于凹槽底部和限位条。通过采用上述技术方案,压缩弹簧产生的弹力作用于凹槽底部和和限位条,使得限位条具有脱离限位槽的趋势,从而使得放置盒在朝向离子风机的出风口一侧滑移的过程中,限位条在压缩弹簧的驱动下卡入限位槽,从而达到锁定放置盒的的目的,防止放置盒滑出滑槽。进一步地,所述导向面为斜面。通过采用上述技术方案,需要推动放置盒滑移至机体的正下方时,导向面可引导限位条脱离限位槽,从而解除对放置盒的锁定,使得放置盒能够沿滑槽的长度方向滑移。进一步地,所述放置盒包括底板和设于底板上的四块连接板,四块所述连接板两两连接形成方形的容纳槽;所述连接板远离底板的一端朝向远离容纳槽的方向倾斜设置。通过采用上述技术方案,连接板倾斜设置,可利于出风口吹出的风吹到放置盒内,降低连接板阻挡风被吹入放置盒内的可能性。进一步地,所述驱动件为设于放置盒外侧壁上的把手。通过采用上述技术方案,便于工作人员握住把手拉动或推动放置盒沿滑槽的长度方向滑移。进一步地,所述底座与出风口同侧的侧壁上设有搭钩,所述放置盒与出风口同侧的侧壁上设有用于与搭钩配合使用的搭扣。通过采用上述技术方案,不需要使用放置盒时,可将放置盒滑移至机体的正下方,将搭钩搭接在搭扣上,从而防止放置盒朝向离子风机的出风口一侧滑移,降低放置盒占用较多空间的可能性。综上所述,本技术具有以下有益效果:1、通过在底座上滑移设置有用于承载硅片的放置盒,需要消除硅片上的静电时,拉动放置盒朝向出风口一侧滑移;不需要消除硅片上的静电时,推动放置盒位于机体的正下方,降低放置盒占用较多空间的可能性,从而具有方便取放放置盒,不需要单独存放放置盒和离子风机的优势;2、通过设置限位条和限位槽,使得放置盒在朝向出风口一侧滑移的过程中,限位条卡入限位槽内可以实现锁定放置盒的目的,防止放置盒滑出滑槽。附图说明图1为实施例中一种带有放置盒的离子风机的整体结构示意图;图2为实施例中放置盒和底座的爆炸图一;图3为图2中A部分的放大图;图4为实施例中放置盒和底座的爆炸图二。图中:1、机体;11、出风口;2、支架;21、底座;211、滑槽;212、封堵块;213、限位槽;22、侧板;221、手拧旋钮;3、放置盒;301、底板;302、连接板;303、容纳槽;31、滑块;311、凹槽;32、限位条;321、导向面;33、压缩弹簧;34、把手;4、搭钩;41、搭扣。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步详细说明。实施例:一种带有放置盒的离子风机,参照图1,包括方形的机体1和用于支撑机体1的支架2,支架2包括位于机体1下方的底座21。底座21的两端分别设有一块与机体1侧壁铰接的侧板22,机体1的两个侧面设置有手拧旋钮221,机体1通过手拧旋钮221与侧板22铰接。机体1的一侧开有出风口11,需要调节出风口11的角度时,可通过旋松或拧紧手拧旋钮221进行调节。参照图2,底座21上滑移设置有一个方形的放置盒3,底座21的顶面沿底座21宽度方向开有滑槽211,放置盒3的底面设有卡入滑槽211的滑块31,滑槽211和滑块31均呈T字型。滑槽211的长度等于底座21的宽度,滑槽211与出风本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有放置盒的离子风机,包括机体(1)和用于支撑机体(1)的方形的底座(21),底座(21)长度方向的两端分别设有与机体(1)侧壁铰接的侧板(22),所述机体(1)的一侧开有出风口(11),其特征在于:所述底座(21)上滑移设置有用于承载硅片的放置盒(3),所述底座(21)朝向机体(1)的侧面沿底座(21)的宽度方向开有滑槽(211),所述滑槽(211)与出风口(11)同侧的一端与底座(21)的端面齐平,滑槽(211)的另一端设有封堵块(212);/n所述放置盒(3)的底面设有用于卡入滑槽(211)的滑块(31),所述滑槽(211)和滑块(31)均呈T字型;/n所述放置盒(3)设有用于产生推拉动力以驱使放置盒(3)沿滑槽(211)长度方向滑移的驱动件;/n还包括放置盒(3)朝向出风口(11)滑移后用于锁定放置盒(3)的锁定结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种带有放置盒的离子风机,包括机体(1)和用于支撑机体(1)的方形的底座(21),底座(21)长度方向的两端分别设有与机体(1)侧壁铰接的侧板(22),所述机体(1)的一侧开有出风口(11),其特征在于:所述底座(21)上滑移设置有用于承载硅片的放置盒(3),所述底座(21)朝向机体(1)的侧面沿底座(21)的宽度方向开有滑槽(211),所述滑槽(211)与出风口(11)同侧的一端与底座(21)的端面齐平,滑槽(211)的另一端设有封堵块(212);
所述放置盒(3)的底面设有用于卡入滑槽(211)的滑块(31),所述滑槽(211)和滑块(31)均呈T字型;
所述放置盒(3)设有用于产生推拉动力以驱使放置盒(3)沿滑槽(211)长度方向滑移的驱动件;
还包括放置盒(3)朝向出风口(11)滑移后用于锁定放置盒(3)的锁定结构。


2.根据权利要求1所述的带有放置盒的离子风机,其特征在于:所述滑块(31)靠近封堵块(212)的一端于滑块(31)的侧壁上沿滑块(31)的宽度方向开有凹槽(311),所述锁定结构包括设于凹槽(311)内的限位条(32),所述凹槽(311)内设有用于产生驱使限位条(32)脱离凹槽(311)作用力的弹性件;
所述滑槽(211)的侧壁上开有靠近出风口(11)一侧供限位条(32)卡入的限位槽(213),所述限位条(32)卡入限位槽(213)时,限位条(32...

【专利技术属性】
技术研发人员:李志卫张仕俊石正娟
申请(专利权)人:苏州新米特电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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