一种光刻胶喷涂设备制造技术

技术编号:24711023 阅读:52 留言:0更新日期:2020-07-01 00:34
本实用新型专利技术公开了一种光刻胶喷涂设备,包括主机和喷涂装置,所述主机的左端中部设置有散热孔,所述主机的前端左右侧螺栓固定有把手,所述主机的前端左侧位移两个把手之间设置有控制面板,所述控制面板的右方镶嵌有脉冲调节钮,本实用新型专利技术便捷抓取装置由加强筋、混合室和扩散室组成,固定套通过套接口套接固定在机体上,当进行工作时,徒手抓住提手将喷涂装置带起进行喷涂工作,通过不同位置的徒手改变喷涂装置的位置,通过抓取面积较小,使振动产生的阻力降低,工作人员工作时手部抓取较为轻松省力,通过便捷抓取装置使进行工作时,使手部不会抓取难受,而且产生的振动阻力也大大降低。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶喷涂设备
本技术属于光刻胶相关
,具体涉及一种光刻胶喷涂设备。
技术介绍
光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展,更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954年由明斯克等人首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸脂就是用于印刷工业的,以后才用于电子工业现有的技术存在以下问题:通过盘体设备对光刻胶进行喷涂,通过超声波驱动电源将喷涂装置内的光刻胶打散成微米进行喷涂,但喷涂装置设备较大,喷涂时抓取比较费力,而且产生的振动导致手部酸痛,降低工作效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种光刻胶喷涂设备,以解决上述
技术介绍
中提出通过盘体设备对光刻胶进行喷涂,通过超声波驱动电源将,喷涂装置内的光刻胶打散成微米进行喷涂,但喷涂装置设备较大,喷涂时抓取比较费力,而且产生的振动导致手部酸痛,降低工作效率的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种光刻胶喷涂设备,包括主机和喷涂装置,所述主机的左端中部设置有散热孔,所述主机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻胶喷涂设备,包括主机(2)和喷涂装置(8),其特征在于:所述主机(2)的左端中部设置有散热孔(1),所述主机(2)的前端左右侧螺栓固定有把手(3),所述主机(2)的前端左侧位移两个把手(3)之间设置有控制面板(6),所述控制面板(6)的右方镶嵌有脉冲调节钮(5),所述脉冲调节钮(5)的右下方镶嵌有急停键(4),所述主机(2)的左方通过导波管连接有喷涂装置(8),所述喷涂装置(8)的后侧套接有便捷抓取装置(7),所述便捷抓取装置(7)包括提手(71)、固定套(72)和套接口(73),所述固定套(72)的左端贯穿有套接口(73),所述固定套(72)的外端均匀设置有提手(71),所述主机...

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶喷涂设备,包括主机(2)和喷涂装置(8),其特征在于:所述主机(2)的左端中部设置有散热孔(1),所述主机(2)的前端左右侧螺栓固定有把手(3),所述主机(2)的前端左侧位移两个把手(3)之间设置有控制面板(6),所述控制面板(6)的右方镶嵌有脉冲调节钮(5),所述脉冲调节钮(5)的右下方镶嵌有急停键(4),所述主机(2)的左方通过导波管连接有喷涂装置(8),所述喷涂装置(8)的后侧套接有便捷抓取装置(7),所述便捷抓取装置(7)包括提手(71)、固定套(72)和套接口(73),所述固定套(72)的左端贯穿有套接口(73),所述固定套(72)的外端均匀设置有提手(71),所述主机(2)与外部电源电性相连。


2.根据权利要求1所述的一种光刻胶喷涂设备,其特征在于:所述喷涂装置(8)包括进液口(81)、法兰(82)、喷嘴(83)、振动子(84)和机体(85),所述机体(85)的前端设置有振动子(84),...

【专利技术属性】
技术研发人员:佟新廷
申请(专利权)人:昆山虹灿光电材料有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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