【技术实现步骤摘要】
钟表构件的制造方法
本专利技术涉及一种钟表构件的制造方法。
技术介绍
光刻是在钟表构件的制造中常用的技术,特别是可以形成用于制造钟表构件的树脂模具。例如,专利EP2405300记载了使用光刻技术制造至少两层金属零件的方法的实现。文献EP3035125提出了一种使用光刻技术制造多层钟表构件的改进方法。文献EP3260932记载了一种由多晶陶瓷制成的钟表构件的制造方法,在该方法中使用了通过光刻形成的模具。然而,基于所谓的传统光刻的现有技术的这些方法具有以下缺点:不能产生绝对任意的三维形状,例如在微米或甚至纳米尺度上复杂的形状。因此,本专利技术的一个目的是改进现有技术中已知的方法并提出一种用于制造三维的钟表构件的方案,该三维的钟表构件可能具有在微米或甚至纳米尺度上复杂的形状。本专利技术的另一个目的是允许以高度的可靠性和高精度制造钟表构件。
技术实现思路
为此,本专利技术涉及一种钟表构件的制造方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:-由第一光敏树脂制造包括至少一层光敏 ...
【技术保护点】
1.一种钟表构件的制造方法,其中,所述方法至少包括以下步骤:/n-由第一光敏树脂(31)制造(E1)包括至少一层光敏树脂的第一结构(10),该第一结构包括通过穿过至少一个掩模(4)进行的辐照而使所述第一光敏树脂聚合然后使所述第一光敏树脂显影所获得的第一图案;/n-通过向所述第一结构(10)的至少一个表面添加第二光敏树脂(32)来使所述第一结构的所述至少一个表面结构化而使所述第一结构(10)转变(E2)为第二结构(1),所述第二结构(1)旨在至少部分地形成所述钟表构件的制造模具,在于使所述第一结构转变(E2)的这个步骤包括以下步骤:/no在所述第一结构的所述至少一个表面的至少 ...
【技术特征摘要】
20181221 EP 18215100.11.一种钟表构件的制造方法,其中,所述方法至少包括以下步骤:
-由第一光敏树脂(31)制造(E1)包括至少一层光敏树脂的第一结构(10),该第一结构包括通过穿过至少一个掩模(4)进行的辐照而使所述第一光敏树脂聚合然后使所述第一光敏树脂显影所获得的第一图案;
-通过向所述第一结构(10)的至少一个表面添加第二光敏树脂(32)来使所述第一结构的所述至少一个表面结构化而使所述第一结构(10)转变(E2)为第二结构(1),所述第二结构(1)旨在至少部分地形成所述钟表构件的制造模具,在于使所述第一结构转变(E2)的这个步骤包括以下步骤:
o在所述第一结构的所述至少一个表面的至少一部分上施加(E21)所述第二光敏树脂的层;
o使用光子器件根据第二图案在所述第二光敏树脂上进行双光子聚合(E22),以获得三维聚合,所述光子器件包括至少部分地浸入所述第二树脂中的物镜以将光束引导并聚焦在体素上,所述体素限定所述第二图案的形状或几何形状;
o进行显影(E23)以便消除未聚合的第二光敏树脂并获得具有由所述第一图案和所述第二图案限定的形式的所述第二结构。
2.根据前述权利要求所述的钟表构件的制造方法,其中,在于使所述第一结构转变(E2)的步骤包括在所述第一结构的至少一个侧表面(11)上添加所述第二光敏树脂。
3.根据前述任一项权利要求所述的钟表构件的制造方法,其中,在于进行双光子聚合(E22)的步骤能够限定具有优于或等于0.001μm3的三维分辨率和/或优于或等于0.1μm的侧向分辨率的第二图案。
4.根据前述任一项权利要求所述的钟表构件的制造方法,其中,在于制造(E1)所述第一结构的步骤包括以下步骤:
-将所述第一光敏树脂施加(E11)到基板的上表面上,所述基板尤其是由诸如不锈钢的金属、硅、玻璃或陶瓷制成的晶片形式的基板;
-在垂直于或基本上垂直于掩模的方向上,穿过掩模使所述第一光敏树脂曝光(E12),尤其使用UV辐照、X辐照或电子束,以便根据由所述掩模限定的图案使所述第一光敏树脂聚合;
-使所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员:弗洛里安·卡拉姆,亚历山德拉·梅格利,哈维尔·穆尔托内,
申请(专利权)人:劳力士有限公司,
类型:发明
国别省市:瑞士;CH
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