感放射线性树脂组合物及微透镜的形成方法技术

本发明专利技术的目的在于提供一种如下的感放射线性树脂组合物以及使用其的微透镜的形成方法，即使进行140℃以下的加热处理也能够形成具有良好形状的微透镜，且灵敏度、保存稳定性、以及所形成的微透镜的耐化学品性及透明性也良好。本发明专利技术是一种感放射线性树脂组合物，含有如下聚合体、及感放射线性酸产生剂，所述聚合体具有：结构单元(a1)，含有选自由环状醚结构及环状碳酸酯结构所组成的群组中的至少一种；结构单元(a2)，含有选自由酚性羟基及下述式(1)所表示的基团所组成的群组中的至少一种；及结构单元(a3)，含有碳数为8以上且20以下的链状或环状的烷基，被用于全部形成工序中的最大加热温度为140℃以下的微透镜的形成。

【技术实现步骤摘要】
感放射线性树脂组合物及微透镜的形成方法
本专利技术涉及一种感放射线性树脂组合物及微透镜(microlens)的形成方法。
技术介绍
作为传真机、电子复印机、固体摄像元件等的成像光学系统等中的光学系统材料，使用具有1μm～100μm左右的透镜直径的微透镜、或将这些微透镜规则排列而成的微透镜阵列(microlensarray)。另外，在显示装置中，为了提升光提取效率，还采用了针对各像素而言在其光出射侧设置有微透镜的结构。在这种微透镜的形成中，已知有在形成相当于微透镜的图案之后，通过加热处理使其熔融流动(meltflow)，并直接用作透镜的方法等。在所述微透镜的形成中，广泛使用感放射线性树脂组合物(参照日本专利特开平6-18702号公报、日本专利特开平6-136239号公报)。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开平6-18702号公报[专利文献2]日本专利特开平6-136239号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]如上所述，在微透镜的形成中广泛采用如下方法本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微透镜的形成方法，具有以下(1)至(4)的工序；/n(1)将含有如下的聚合体、及感放射线性酸产生剂的感放射线性树脂组合物的涂膜形成于基板上的工序，所述聚合体具有：/n结构单元(a1)，含有选自由环状醚结构及环状碳酸酯结构所组成的群组中的至少一种；/n结构单元(a2)，含有选自由酚性羟基及下述式(1)所表示的基团所组成的群组中的至少一种；及/n结构单元(a3)，含有碳数为8以上且20以下的链状或环状的烷基；/n(2)对所述涂膜的一部分照射放射线的工序；/n(3)对照射了放射线的所述涂膜进行显影的工序；以及/n(4)在140℃以下的温度下对经显影的所述涂膜进行加热的工序；/n

【技术特征摘要】
20181221 JP 2018-2394001.一种微透镜的形成方法，具有以下(1)至(4)的工序；
(1)将含有如下的聚合体、及感放射线性酸产生剂的感放射线性树脂组合物的涂膜形成于基板上的工序，所述聚合体具有：
结构单元(a1)，含有选自由环状醚结构及环状碳酸酯结构所组成的群组中的至少一种；
结构单元(a2)，含有选自由酚性羟基及下述式(1)所表示的基团所组成的群组中的至少一种；及
结构单元(a3)，含有碳数为8以上且20以下的链状或环状的烷基；
(2)对所述涂膜的一部分照射放射线的工序；
(3)对照射了放射线的所述涂膜进行显影的工序；以及
(4)在140℃以下的温度下对经显影的所述涂膜进行加热的工序；



式(1)中，R1及R2分别独立地为氢原子、卤素原子、碳数1～4的烷基或碳数1～4的氟化烷基；其中，R1及R2中的至少任一者为卤素原子或碳数1～4的氟化烷基。


2.根据权利要求1所述的微透镜的形成方法，其中所述感放射线性酸产生剂包含两种以上的化合物。


3.根据权利要求2所述的微透镜的形成方法，其中所述感放射线性酸产生剂包含醌二叠氮化合物、与产生pKa为4.0以下的酸的化合物。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的微透镜的形成方法，其中所述聚合体的重量平均分子量为3,00...

【专利技术属性】
技术研发人员：松村信司，浜口仁，
申请(专利权)人：JSR株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP