一种膜片式光纤高灵敏微空间流速测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种膜片式光纤高灵敏微空间流速测量装置，包括光源、环形器、三明治结构流速传感探头和光谱仪，其中三明治结构流速传感探头由弹性薄膜、有孔耐热玻璃、平板耐热玻璃三者组成；平板耐热玻璃的中心点垂直固定有陶瓷插芯，三明治结构中的有孔耐热玻璃短侧边刻有凹槽、中心刻有通孔，弹性薄膜内表面和平板耐热玻璃内表面形成F‑P腔用于感应微空间内流速的变化；本发明专利技术通过流经有孔耐热玻璃的流体流动产生的压力带来弹性膜片形变，导致F‑P腔的腔长变化，实现流体流速的测量；本发明专利技术的传感探头小，灵敏度高，结构紧凑，精度高，抗电磁干扰强，能够适应多种微空间流场合的流速测量。

【技术实现步骤摘要】
一种膜片式光纤高灵敏微空间流速测量装置
本专利技术属于光纤传感技术在微空间流速测量的领域，具体涉及一种膜片式光纤高灵敏微空间流速测量装置。
技术介绍
流速测量特别是微空间内的微流速高精度测量需求广泛出现在多个科技领域，如生物分析、化学合成、化学组份的分析、微电子机械系统等等。基于光纤传感技术的流速测量相比较于传统的电学技术有很多优势，如抗电磁干扰、耐腐蚀等。基于光纤F-P干涉型结构的传感器更是把测量的精度进行了很大的提升，膜片式的腔结构设计在微流速测量方面有独特的优势。三明治结构流速传感探头，不仅具有温度不敏感性，同时可以根据测量需求自由更换膜片，以达到最佳性价比，是目前流速测量特别是微空间内微流速测量的最佳选择。
技术实现思路
本专利技术提供了一种膜片式光纤高灵敏微空间流速测量装置，采用三明治结构流速传感探头作为被测流体的敏感单元，以被测微流体穿过有孔的耐热玻璃，使得弹性膜片发生形变，导致弹性膜片和平板耐热玻璃形成的F-P腔长发生变化，通过光谱仪检测F-P腔输出波长的变化来获得流体的流速。>本专利技术通过以下本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种膜片式光纤高灵敏微空间流速测量装置，由光源(1)、环形器(2)、三明治结构流速传感探头(3)和光谱仪(4)组成；其特征在于：三明治结构流速传感探头(3)包括有陶瓷插芯(5)、平板耐热玻璃(6)、有孔耐热玻璃(7)、弹性薄膜(8)；光源(1)的输出端与环形器(2)的输入端连接，环形器(2)的一个输出端与三明治结构流速传感探头(3)连接，环形器(2)的另一个输出端与光谱仪(4)相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种膜片式光纤高灵敏微空间流速测量装置，由光源(1)、环形器(2)、三明治结构流速传感探头(3)和光谱仪(4)组成；其特征在于：三明治结构流速传感探头(3)包括有陶瓷插芯(5)、平板耐热玻璃(6)、有孔耐热玻璃(7)、弹性薄膜(8)；光源(1)的输出端与环形器(2)的输入端连接，环形器(2)的一个输出端与三明治结构流速传感探头(3)连接，环形器(2)的另一个输出端与光谱仪(4)相连。


2.根据权利要求1所述的一种膜片式光纤高灵敏微空间流速测量装置，其特征在于：所述的三明治结构流速传感探头(3)中陶瓷插芯(5)垂直固...

【专利技术属性】
技术研发人员：康娟，朱志成，申屠卓成，王林，
申请(专利权)人：中国计量大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33